高精度、簡易フィードバック付、ロングストローク

高精度、簡易フィードバック付、ロングストローク

磁気スケール、磁気ヘッドを電動アクチュエータに取り付け、繰り返し位置決め精度±30μm（社内テストデータ）を実現 1）最大ストローク8500mm（1mm単位での注文が可能） 2）繰り返し位置決め精度±30μm（社内テストデータ）：磁気スケール付 3）最大位置決め点数：250点 4）分解能5μmの磁気スケールを採用し、簡易フィードバックを実現 5）使用最高速度：4m/sec 6）アクチュ...

メーカー・取り扱い企業： フエスト株式会社

ヤマハロッドタイプ単軸ロボット

低コストと高機能を両立したロッドタイプ単軸ロボット

■コンパクト・・・ＹＭＳシリーズのビルトインモータは、カップリングレス構造のコンパクト設計。業界同クラス最短の全長を実現しました。 ■高いメンテナンス性・・・ビルトインモータはボールネジに直接設置する構造ながら、モータのみの取り外しも可能。高いメンテナンス性を確保し、万一の場合も短時間での復旧が可能です。 ■長寿命・・・ボールネジナット部には高含油ファイバーネットによる潤滑装置、ロッド支持部に...

メーカー・取り扱い企業： ヤマハ発動機株式会社 ロボティクス事業部

342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズ

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

3度以内 ○位置決め時間：ノッチサーチ 4秒以内(持ち直し動作無しの場合) ○センサ：耐真空限定反射型ファイバセンサ ○耐真空度：1.33x10＾-6Pa ○駆動方式：エンコーダ付き２相パルスモータ ○ユーティリティ：電源：DC24V 7A ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

防水対応3軸円筒座標型ロボット　SWHR3156シリーズ

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

部防水構造にVシール使用 ○部品の接合部はバイトンパッキンによりシール ○Z軸部防水構造にジャバラ使用 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

よりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○2相パルスモータ仕様も選択可能 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○ウェーハ保持:落し込み、エッジグリップチャック ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットDTVHR4000シリーズ

長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能

インアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○使用環境:不活性ガス雰囲気・温度:摂氏50度以下で使用可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

半導体用ロボット　SCR3100S-PM

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100S…

インには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○ウェーハ保持:...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STHR4000シリーズ

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

ンアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STCR4000Sシリーズ

2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

ンアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SHR3000シリーズ

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

インには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニタ装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3000CSシリーズ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

インには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3100S-PMシリーズ

省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

インには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル