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26件 - メーカー・取り扱い企業
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8件 - カタログ
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パルスモーターと専用マイクロステップ駆動回路の組み合わせにより消費電力…
パルスモータと専用マイクロステップ駆動回路の組合せにより、消費電力を抑えた低価格のロボットです。 制御部をロポット本体に内蔵したオールインワン構造でコンパクト化を実現。 セットアップもティーチングも簡単に行なえ、作業効率がアップします。 ○エコノミカル 実用性を損なうことなく、製造ラインのロポット化を低価格で実現 ○省エネルギー パルスモータとマイクロステップ駆動制御をの組み合わせに...
メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社
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人手不足に対応する、幅広いラインナップとアプリケーション。生産設備の可…
セル生産はもちろん自動ラインへの組込をも視野に入れたジャノメの多機能卓上ロボットです。 フィールドバスへの対応、カメラ組み込みを容易にしたソフトウェア、外部モータを2個まで制御できるなど、多彩な機能でさまざまな製造シーンをけん引します。 ●剛性アップ より高速に、より正確に作業を行え、長期間安心してお使い頂けるよう剛性を強化し高速時の軌跡性能を安定させました Z機構にカメラを取り付けた...
メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社
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真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット
『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した 平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。 アーム部はアルピカ処理済み。 エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、 パラレルI/O制御が可能です。 【特長】 ■耐熱使用：アームにリフレクタ(熱反射板)の設置 ■アーム部はアルピカ処理済 ■エンコーダ付2...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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高精度、簡易フィードバック付、ロングストローク
磁気スケール、磁気ヘッドを電動アクチュエータに取り付け、繰り返し位置決め精度±30μm（社内テストデータ）を実現 1）最大ストローク8500mm（1mm単位での注文が可能） 2）繰り返し位置決め精度±30μm（社内テストデータ）：磁気スケール付 3）最大位置決め点数：250点 4）分解能5μmの磁気スケールを採用し、簡易フィードバックを実現 5）使用最高速度：4m/sec 6）アクチュ...
メーカー・取り扱い企業： フエスト株式会社
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クランプハンド用制御ラインを装備！ロボット＋スライダシステム
は、リンク式シングルアームロボットと スライダからなるシステムです。 クランプハンド用制御ラインを装備。 前後方向の端面をクランプし、基板を保持します。 全軸エンコーダ付2相パルスモータを装備しています。 【特長】 ■基板保持：前後方向の端面をクランプ ■全軸エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■各種センサ装備 ■RS232C制御又はパラレルI/O制御 ※詳し...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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低コストと高機能を両立したロッドタイプ単軸ロボット
■コンパクト・・・ＹＭＳシリーズのビルトインモータは、カップリングレス構造のコンパクト設計。業界同クラス最短の全長を実現しました。 ■高いメンテナンス性・・・ビルトインモータはボールネジに直接設置する構造ながら、モータのみの取り外しも可能。高いメンテナンス性を確保し、万一の場合も短時間での復旧が可能です。 ■長寿命・・・ボールネジナット部には高含油ファイバーネットによる潤滑装置、ロッド支持部に...
メーカー・取り扱い企業： ヤマハ発動機株式会社 ロボティクス事業部
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342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズ
真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能
3度以内 ○位置決め時間：ノッチサーチ 4秒以内(持ち直し動作無しの場合) ○センサ：耐真空限定反射型ファイバセンサ ○耐真空度：1.33x10＾-6Pa ○駆動方式：エンコーダ付き２相パルスモータ ○ユーティリティ：電源：DC24V 7A ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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防水対応ダブルアームクリーンロボット『WR2154-300』
テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセン…
です。 【特長】 ■アーム部：テフロンコーティング 高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ■ウェハ保持：セラミックスチャックによる真空吸着 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■制御：RS232C通信制御またはパラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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低消費電力100W以下！搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を…
【特長】 ■従来比1/3以下の質量を実現 ■クリーン対策：下部カバー側面から吸引する独自構造 ■低消費電力100W以下を達成 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現！
リーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。 【特長】 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ■真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用 ■アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式 ※詳しくはPDF資...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適
部防水構造にVシール使用 ○部品の接合部はバイトンパッキンによりシール ○Z軸部防水構造にジャバラ使用 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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設計・製作時間を約60％削減！速0.3秒の高速サイクルタイムを実現！シ…
振動を与えず慣性を吸収して動作する”カム曲線”で長期間の安定搬送を 実現しました。外的要因を受けず、10年たっても確実な安定搬送を 繰り返します。 ユニットなので、設計時間を大幅に短縮できます。 また、エア調整がコントローラで一括設定できカンタンです。 パルス制御モータで高速搬送もでき、エンドユーザーからの要望が多い サイクルタイムの短縮ができます。 その他詳細は、カタログをダウンロ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミスミ
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真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ
STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます
よりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○2相パルスモータ仕様も選択可能 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○ウェーハ保持:落し込み、エッジグリップチャック ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットDTVHR4000シリーズ
長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能
インアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○使用環境:不活性ガス雰囲気・温度:摂氏50度以下で使用可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100S…
インには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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業界随一のコストパフォーマンスを誇るステッピングドライバを提供します。…
MRシリーズは顧客ニーズのために、低価格と高品質を実現するために新しく設計されました。 新しい機能も追加され、あらゆる分野のさまざまな製品に応用できる最適なドライバーです。 年間1,000台程度の使用で、圧倒的なコストパフォーマンスを誇ります！ 【主な特長】 ・新型32ビットのARMを採用 ・クロック周波数：2MHz ・自動カレントダウン ・８段階の駆動電流の切り替え機能 ・マ...
メーカー・取り扱い企業： コアレスモータ株式会社 本社
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ステッピングモータのコストダウン用のステッピングドライバを提供します。…
MRシリーズは顧客ニーズのために、低価格と高品質を実現するために新しく設計されました。 新しい機能も追加され、あらゆる分野のさまざまな製品に応用できる最適なドライバーです。 年間1,000台程度の使用で、圧倒的なコストパフォーマンスを誇ります！ 【主な特長】 ・新型32ビットのARMを採用 ・クロック周波数：2MHz ・自動カレントダウン ・８段階の駆動電流の切り替え機能 ・マ...
メーカー・取り扱い企業： コアレスモータ株式会社 本社
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【 MR7A】２相ステッピングモータドライバ #ステッピング
AC電源向けのステッピングドライバを提供します。コストダウンに最適な２…
MRシリーズは顧客ニーズのために、低価格と高品質を実現するために新しく設計されました。 新しい機能も追加され、あらゆる分野のさまざまな製品に応用できる最適なドライバーです。 年間1,000台程度の使用で、圧倒的なコストパフォーマンスを誇ります！ 【主な特長】 ・新型32ビットのARMを採用 ・クロック周波数：2MHz ・自動カレントダウン ・８段階の駆動電流の切り替え機能 ・マ...
メーカー・取り扱い企業： コアレスモータ株式会社 本社
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卓上型シングルアームクリーンロボット『AR1300-220』
稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献！超コンパクトなクリーンロボッ…
収納できます。 【特長】 ■モータドライバをロボット底部に収納可能 ■稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献 ■基板保持：ウェハを真空吸着 ■各種センサ装備 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ
真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○ウェーハ保持:...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。
ンアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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直動式ダブルアームクリーンロボット『LR31000-600』
高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速搬送！ダブルアームクリーンロ…
。 【特長】 ■コンパクトボディ、ロングストローク ■横スライド軸と簡単にドッキングできる設計 ■スライド軸：インクリメンタルエンコーダ仕様サーボモータ制御可能 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。
ンアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能
インには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニタ装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
インには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3100S-PMシリーズ
省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。
インには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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