モジュール開発 | イプロスものづくり

PR半導体・センサパッケージングや半導体モジュールの開発・試作、小中規模量…

当社では、半導体ベアチップ実装、マイクロ接合技術による小型実装モジュールの開発から、小中規模の量産までワンストップでサポートします。カメラの受託製造も承っています。こんなことでお困りの方、お気軽にお問い合わせください！【モジュール開発・実装技術開発サービス】 ■実装基板の小型化をしたいが専門化がいない。 ■新たに実装工法を開発したい。【試作サービス】 ■原理試作・エンジニアリングサ...

メーカー・取り扱い企業：マイクロモジュールテクノロジー株式会社

スマートディスプレイ－直観的なGUIを開発、ホストとシンプル接続

PRCTP搭載の高解像度広視野角TFT液晶モジュール。GUIとタッチを直感…

画面サイズ 3.5/4.3/5.0/7.0/10.1インチ、主要なサイズをカバーしたCTP搭載の高解像度広視野角TFT液晶モジュールです。開発環境（GUI作成ツールと開発キット）が用意されており、PC上でソフトウェア言語を使用せずに操作性のよいGUIを短期間で作成できます。 GUI作成ツールには、画面に表示するオブジェクト（ボタン、メーター、アイコン等）が多数用意されており、タッチ機能を...

メーカー・取り扱い企業：株式会社デンシトロン

太陽電池セル外観検査装置

出力線のズレ、セル間のピッチ、セルのカケ・クラックなどを高精度で検査

PV-Module外観検査システムは、PVモジュールを高画素のラインセンサカメラを使って撮像し、不良品を検出してNG信号を出し、「出力線のズレ」や「セル間のピッチ」、｢セルのカケ・クラック｣などを高精度で検査します。モジュール用ガラス検査や樹脂封止後の気泡検査等、モジュール製作工程のあらゆる外観検査工程のご相談を承ります。また、自社開発の検査ソフトウェアのため、納入後の追加や変更にも、迅速に対応い...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒューブレイン

インクジェットヘッドコントローラー基板の開発受託

インクジェットヘッドコントローラー基板です。業界で唯一、ノズル毎の駆動…

【インクジェット飛翔観測装置を用いたＤＰＮによる精密吐出制御技術】　ＫＭ２５６／１２８ヘッド仕様に準拠します各社ヘッドによる印刷機開発スタータキット・リコーＧＥＮ５　コントロールＡＭＰ・印刷ソフトのセット　　⇒　総額￥５３０万円　（２個のヘッド制御基板版）　　ＧＥＮ５を２ヘッドコントロールＡＭＰ基板　　＠４５万円　　※．ＵＳＢインターフェース／エンコーダ同期　　※．...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ワイ・ドライブ

Microchip　マイクロコントローラ『ATtiny1607』

tinyAVR 0シリーズ！コンパクトで多機能、幅広いアプリケーショ…

『ATtiny1607』ファミリは、コアから独立したハードウェアベースの周辺モジュール（CIP）と、低消費電力機能を備え、効率的なリアルタイム制御やセンサーノードアプリケーションに好適なマイクロコントローラです。 8～24ピンまでのラインアップで、産業機器、コンシューマ、家電、車載などの幅広いアプリケーションに対応可能。豊富なアプリケーションノートと使い勝手の良い評価ボー...

メーカー・取り扱い企業：グローバル電子株式会社

卓上型マニュアルワイヤーボンダ『IBOND5000』

ウェッジ/ボール設定を簡単に切り替え可能！銅ボンディングにも対応 ※世…

『IBOND5000』は、プロセス開発、生産、研究等で使用される高度な卓上型マニュアルワイヤーボンディング（ダイボンディング）装置です。柔軟性を高めるための調整可能なワークホルダーの高さが特長。オプトエレクトロニクスモジュール、ハイブリッド/ MCM、マイクロ波製品、チップオンボードなどを含むすべてのボンディングアプリケーションで高い歩留まりと優れた再現性を有しています。【ラインナ...

メーカー・取り扱い企業： Micro Point Pro ltd株式会社本社

多目的ダイボンダ・フリップチップボンダ『pico 2』

接着剤・はんだ・熱圧着・超音波などの様々な実装プロセスに対応！迅速かつ…

『pico 2』は、3μm以内の搭載精度を持つ多目的ダイボンダーです。素早いセットアップと簡単な操作で、企業の研究室や大学での迅速かつ柔軟な製品開発やプロトタイプ作成に適しています。また、モジュール方式を採用した設計思想により、新しい機能が必要になった場合は、装置耐用年数を通して、装置導入後でも後付けが可能であり簡単に使い始めることができます。【特長】 ■試作・研究開発分野に於い...

メーカー・取り扱い企業：ファインテック日本株式会社

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

パワー半導体モジュールの世界市場の調査レポート

『無料サンプル』を入手可能！関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

2023年9月20日に、YHResearchは「グローバルパワー半導体モジュールのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、パワー半導体モジュールの世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別、地域別、国別に分類されます。売上、価格、市場シェア、成長率などに焦点を当て、競合環境、競合他社、市場ランキング、技術動向、新製品開発など、市場内の競...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

パワー半導体　ICテスター　CTT3700

低価格、高精度を実現するために日本メーカーのテスターから海外メーカーの…

昨今、パワー半導体の供給何がささやかれる中、工場の増産ラインが強化されています。様々な半導体製造装置が使用される中で、製造された製品は最終的に電気的特性のテストをしなければなりません。パワー半導体の大きな市場でもある日本。電気的特性のテスターも日本メーカーが供給しているなかで、なかなかテスター自体の価格が下がってこないのが、現状。CCTECHの CTT3700は2000V/100A対応のMOSF...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

【用途事例】光通信デバイス実装とパッケージング

試作開発から量産対応まで！製造技術で高歩留りを確保

ファインテック社は高精度ダイボンディング装置の製造に特化し、常に先端の技術を追求しています。その革新的なノウハウにより、微細部品実装に対応致します。「FINEPLACERシリーズ」は装置の基本コンセプトであるモジュール構成により、マニュアル機、セミオート機、フルオート機の各装置に、柔軟にボンディングプロセスを付加することが出来ます。多目的用途ダイボンディング装置は、試作...

メーカー・取り扱い企業：ファインテック日本株式会社

【ニーズに合わせた開発】真空張り合わせ装置・ACF圧着装置

半導体装置メーカーならではの、技術＆知恵を駆使して、高い品質・生産性を…

大宮工業は、お客様の開発されたデバイスをモジュール化する等、製品開発のご支援をさせて頂きます。自社オリジナルの真空張り合わせ装置やACF圧着装置があり、カスタマイズ対応もでき、開発のみならず、量産プロセスまでワンストップでの対応も可能。半導体装置メーカーならではの、技術＆知恵を駆使して、高い品質・生産性を実現します。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。【...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社営業本部営業課

マイクロマニピュレータ AMS-1000

小部品を、数グラムで把持・μｍの位置決めが可能です。

数グラムで把持・μmの位置決めが可能。 ●精密対象動作を保証（特許出願中） ★詳しくは、資料・カタログを上記ボタンよりご請求ください。＝＝＝＝＝　特　長　＝＝＝＝＝ ◆研究及び小ロット精密組立作業用に最適。　各種モジュールの取り付けが可能。 ◆独自開発の小型XYZステージにより顕微鏡周辺での作業性が格段にアップします。占有容積が、従来の１／８以下を実現。（ガイドレー...

メーカー・取り扱い企業：アクテス京三株式会社技術センター

[開発事例]複数の通信デバイスに対応したRF-ICテスタの開発

PXI-RFモジュールを使用し複数の通信デバイスに対応したRF-ICテ…

今日の通信デバイスは１つの製品に複数の通信規格が使用されるようになり、たとえばスマートフォンなどのデバイスはW-CDMA、GPS、Bluetooth、WiFi、NFC等の複数のプロトコルを搭載しており、周波数帯も検査項目も様々です。また、通信機器の低価格化、製品のライフサイクルが短くなっているなど、１つの通信デバイス試験に対するRF試験のコストを削減する必要があります。そのため、株式会社...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ペリテック神奈川エンジニアリングセンター、東京営業所、ベトナム事業所

ECOIC ICテスター　-市販製品の1/10コストで機能構築-

市販製品の1/10コストで機能構築した高機能ICテスタ

【ペリテックのオリジナルICテスター『ECOIC』】ペリテックでは、NI製品を採用し、ICテスタの機能を市販製品の1/10コストで構築。オリジナルブランド「ECOIC」としてご提供しています。市販のICテスターは数千万という非常に高価でありながら、実際にはその一部の機能しか使われていませんでした。そこで、ペリテックでは本当に必要な機能のみを構築していくことを可能にし、高性能、短...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ペリテック神奈川エンジニアリングセンター、東京営業所、ベトナム事業所

【資料進呈中！】半導体試験に関する6つの主な課題解決事例集

半導体試験に関する課題の解決事例を背景・課題・導入・成果の4項目で分か…

当資料では、半導体試験に関する6つの主な課題解決事例をケースごとに掲載しております。例えば「テスタ老朽化で稼働維持が困難になったケース」や、「テスト開発や測定モジュール開発のリソースが不足のケース」など。背景・課題・導入・成果の4項目で分かりやすく解説しております。当資料は無料進呈中です。下記のダウンロードよりご確認ください。【掲載概要】 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社菱進テック

ソフトエッチング装置【nanoETCH】＜30W低出力

＜30W（制御精度10mW）低出力RFエッチングによる、精細でダメー…

【nanoETCH（ナノエッチ）】Model. ETCH5A ＜30W（制御精度10mA）低出力RFエッチングによる、精細でダメージレスなエッチング処理を実現。 2010年グラフェン発見でノーベル賞受賞者率いるマンチェスター大学グラフェン研究グループとの共同開発製品。 ...【特徴・主なアプリケーション】 • 2D（遷移金属カルゴゲナイド, 材料転写後のグラフェン剥離）：表面改質...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

成膜システム

高生産性の成膜システムを提供しております

当社では、ガラス、金属箔、ウェハ、ポリマーフィルム、フレキシブルガラスといった材料に薄膜機能層を成膜するための先進的な成膜装置を開発・製造しています。長年にわたって太陽電池に関わり、結晶および薄膜ソーラーパネルの世界的トップ企業に高生産性の成膜システムを提供。当社の成膜は高性能、軽量、フレキシブルなコンポーネント製造に寄与し、医療、自動車、照明、産業用電子機器および家電...

メーカー・取り扱い企業：フォンアルデンヌジャパン株式会社

全自動高精度ダイボンダ『FINEPLACER femto2』

量産および試作開発で優れた高精度搭載精度を発揮。 ※ボンディングに関…

『FINEPLACER femto2』は、搭載精度0.3μm＠3sigmaを実現した全自動の高精度ダイボンディング装置です。熱共晶方式、超音波方式など各種実装方式、アプリケーションに対応し、製品開発から本格的な製造に用途が変わる際にも継続して安定したアセンブリプロセスを実現します。【特長】 ■UHDビジョンアライメントシステムによる高精度アライメント ■統合型プロセ...

メーカー・取り扱い企業：ファインテック日本株式会社

マスクレスアライナー『MLA300』

プロダクション向け高性能マスクレスアライナー

MLA300は、研究開発アプリケーション、ラピッドプロトタイピング、および少量から中量生産の領域では既に標準となっているマスクレスアライナーの工業生産バージョンです。MLA300は、生産工場で期待される高スループットと高可用性を維持しながら、2 µmのラインアンドスペースの高解像度を実現します。ワークフローを簡素化するための自動化に対応するために、ウェーハロボットとロードポート、および生産環境用...

メーカー・取り扱い企業：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

【光が生み出す可能性を『付加価値』や『形』に】レイトロン株式会社

光半導体の開発・生産！低価格でありながら、高品質な製品をモットーとし、…

レイトロン株式会社は、光を操る設計・開発ノウハウを活かし、製品のご提供を行っている会社です。リモコン受光ユニット「ROMシリーズ」をはじめに、光リンクモジュールやLED照明など、様々な製品を取り扱っております。低価格でありながら、高品質な製品をモットーとし、お客様の要望に応じたカスタマイズ製品等も承っておりますので、お気軽にお問い合わせください。【取扱製品】...

メーカー・取り扱い企業：レイトロン株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。グローブ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適蒸着・スパッタ・アニール等全て…

OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン, TMD（遷移金属ダイカルコゲナイド）などの2D材料における成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。 MiniLab-026/090-GBでは、PVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省ス...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

３次元誘導加熱・温度解析ソフトウエア／μ-TM

複雑な加熱コイル形状に威力、高周波加熱、温度、発熱、磁場分布が見える！

誘導加熱は様々な機械装置で利用されています。クッキングのＩＨヒーティングお始め、機械加工、プレス、鋳造に至ります。課題は誘導加熱コイルが複雑な配置をしておりモデル定義が困難なこと、温度依存性を考慮した解析でなければ、実際の温度分布と差が出てしまう等があります。 μ-ＴＭは誘導加熱専用モジュールとする事で、これら課題に挑戦しています。【特長】・誘導加熱コイルによる磁場解...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミューテック

DimatixインクジェットヘッドSG/PQ/QS/QE基板

Fujifilm Dimatix社富士フィルムインクジェットヘッド駆動…

Fujifilm Dimatix社富士フィルム　インクジェットヘッド駆動コントローラ基板です。SG/PQ/QS/QEを制御可能です。パルス幅可変可能です　ヘッド駆動波形生成ソフト（オプション）があります。吐出周期最大20kHz　搬送系エンコーダと同期可能。印刷用PCと専用PCIe基板で接続可能。　　最大10ヘッド可能です。印刷にはBitMAPデータが使用できます。　印刷制御ソフトも...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ワイ・ドライブ

８９００型シリーズ　脱気装置

装置のロングライフ運転に成功しました。脱気装置の高耐久性は、送液ポンプ…

大きな真空変動もなく、安定した溶存酸素を取り除いた溶媒を、送液ポンプに供給する高性能な脱気装置を開発しました。パルスモータと独自の制御ソフトの組合せ、そして装置作動中は常時大気導入機構の自己クリーニング方式で真空ポンプの長寿命が実現できました。脱気モジュールの透過膜は、高性能テフロンAF（アモルファス　フルオロポルマー）を使用しています。AF素材はエアー透過率にとても優れています。よって、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＡＱＵＡＴＨ

OTEC / 電解研磨装置 EF FLEX

イエローゴールド、レッドゴールド、ホワイトゴールド、シルバーのための …

EF Flexは、イエローゴールド、レッドゴールド、ホワイトゴールド、シルバーのための革新的な電解研磨装置です。この装置により、複雑形状の宝飾品に対する研磨処理を短時間で行うことができます。複雑で美しいディテールはそのままに、内部の形状も素晴らしい仕上がりになります。これにより手作業による研磨は最小限に抑えられ、表面の品質が大幅に向上します。また、モジュール設計により、個別に制...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シーケービー

【総合カタログ無料プレゼント】ディップコーター、ナノインコーター

実験・開発用卓上ディップコーター(ディップコーティング装置)、ナノイン…

◆◆今なら総合カタログ無料プレゼント中です。◆◆ 簡易(速度の可変で)に、低コストで、薄膜を均一にコーティングするディップコーターや、離型剤を定着させるナノインコーターなど、薄膜コーティング技術のディップ方式を、豊富なラインアップで、多くの分野に展開し用途に応じて選択できます。様々なプロセスに対応する3次元タイプのナノスピードディップコーター、両面同時に薄膜を形成することがで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＳＤＩ

オプティマイズドDCテストシステム

シバソクは、1974年に国内初のリニアテスターを発売以来、常に時代のニーズに合ったICテスターを国内外半導体メーカに納入してきている。今やリニアIC、車載用などの高電圧・大電流デバイスやミックスドシグナル用として国内のトップシェアを誇るWL25/WL27、世界No.1シェアのPDPドライバーICテスターS230など豊富な製品ラインアップを有している。 2007年4月発売のWL05VZは、シバソク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シバソク

パワー半導体テスタ　CTT3280

Siレベルの低電圧向けのディスクリート向けのパワー半導体テスタ。16サ…

CTT3280FはMOS、ダイオード等のディスクリートパワー半導体のテストに最適です。16サイトを同時に使用することによりスループットを上げることが可能です。対応電圧は1000V/10Aまで。テストプログラムはC言語で開発をすることが可能で、プログラムを用意に作成することが可能です。...● テストヘッド内に13枚のモジュールの搭載が可能 ● 1000V/10A、パラメータテスト用に16サイトを...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

SIVAテストフレームワーク

半導体のテストフェーズを統一化して作業効率UP

　SIVAは半導体テストに特化したテストフレームワークです。統一フレームワークで管理することで、プログラムの再利用性を高め、新規テストの開発も少ない時間とコストで製作を可能にします。開発から生産まで統一フレームでテストするため、高い品質管理を行えます。　ペリテックではLabVIEWプログラム言語で機能ごとにモジュール化したプログラムを作成して、TestStandでテストシーケンスを構築...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ペリテック神奈川エンジニアリングセンター、東京営業所、ベトナム事業所

協立テストシステム株式会社　事業紹介

協立テストシステムはあらゆる基板の検査に対応させていただきます。

今や最先端の情報機器から電装製品・家庭電化製品に至るまで、あらゆる電子・電気機器にプリント基板が使われておりますが、それらプリント基板のテストに協立テストシステムの種々テスターが使われております。今後もプリント基板製作技術の更なる進歩により、必要となるテスターも変化・進歩してまいりますが、私どもは常にご使用になるお客様のニーズに応え、新技術を駆使した新製品の開発、ご提供を続けてまいります。 ...

メーカー・取り扱い企業：協立テストシステム株式会社

ブロードモーションセンサ

低周波振動から機械振動までを1つでカバー

傾斜を含むDC成分および振動数0.1Hz ～ 1000Hzまでの加速度0.1gal ～ 6Gを3軸出力するIMVオリジナルセンサーです。...振動は地面や建物の揺れから設備機械の振動まで様々存在し、目的に応じた最適なセンサーを選定する必要があります。特に低周波微振動は高価なサーボ式加速度センサーが主流であり、機械振動の測定に使用される圧電式加速度型センサーや動電式速度型センサーでの共用は困難で...

メーカー・取り扱い企業：ＩＭＶ株式会社

真空蒸着装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【技術資料】マルチエミッターモジュールアセンブリ

マルチエミッターモジュールのアセンブリ・ボンディングに関する情報を詳し…

切断、溶接、マーキングなどの用途において、ファイバー・レーザー・ソリューションが従来の方法に取って代わることが増えています。近年、半導体レーザーチップの製造コストは継続的に削減されていますが、今現在の唯一にして最大のコスト要因は、組み立て（アセンブリ）とパッケージングにあり、その大きな原因となっているのが、CoSをヒートシンクに取り付けるセカンドレベルパッケージングにおける手作業による工程です。こ...

メーカー・取り扱い企業：ファインテック日本株式会社

高精度フリップチップボンダー：lambda2

FINEPLACER lambda 2 は、高精度ダイボンダー・フリッ…

lambda2（ラムダ2）は、小型卓上サイズながら0.5ミクロンの搭載精度を実現した、高精度ダイボンダー・フリップチップボンダーの新しいスタンダードモデルです。フェースダウン（フリップチップ）とフェースアップの両方式に対応すると共に、熱共晶、超音波、接着剤方式、UVキュアリングなど様々なボンディング技術に柔軟に対応することが可能です。ソフトウェアも独自開発されており、詳細なパラメーターやプ...

メーカー・取り扱い企業：ファインテック日本株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。グローブ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。グローブ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社