ユニット式 | イプロスものづくり

PRインターフェックスWeek東京に出展します。ニッチだけど新しい、費用対…

ジャパンマシナリーは、「インターフェックスWeek東京」に出展いたします。一つのカテゴリーに収まりきらない製品群を持つ当社のブースでは、商品開発、プロセス開発、生産技術、製造、保全までのすべてのご担当者様必見です。わずか1μL/秒の極小領域対応のシングルユース対応シングルユースマイクロドージングポンプ「QB2-SD」や、ゲームチェンジャーとなる世界最小クラスの顕微ラマン分光センサー...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンマシナリー株式会社

【パネルカット工事不要】制御ボックスクーラー『ヒカリラクール』

PR【旧モデルから冷却性能22%アップ！】マグネット脱着式！パネルカット工…

『ヒカリラクール』は、マグネット脱着式の制御ボックスクーラーです。ペルチェモジュールの採用で「省スペース冷却」が可能。緊急時のバックアップ用としてマグネット脱着式が活きます。また、制御ボックス本体にパネルカットの必要がないため、ミスト粉塵などがボックス内に侵入することを防げます。【V2 MODEL】冷却機能はアップさせ本体サイズはよりコンパクトに！旧モデルと比較して風量は88%...

メーカー・取り扱い企業：光精工株式会社本社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

真空非磁性ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することができます。...駆動源に回転式超音波モータ（ＵＳＭ）を採用した真空非磁性対応ＵＳＭ駆動ユニットです。【特長】　◇回転式超音波モータを採用し、真空や非磁性環境に対応　◇動作毎のユニットで組合せ自由な軸構成　◇環境や精度グレードによるモデル分けでコストパフ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

基板・フィルム用クリーンマシーン

非接触駆動を実現！除塵力変動を失くしたフィルムクリーンマシーン

メイン駆動部に強力なマグネットを使用することで非接触駆動を実現したテープ転写式除塵装置です。　新品テープ〜テープ終了時の、自重変化による除塵力の変化を失くし、安定した除塵力を得られるようになりました。 ●非接触駆動で、ギヤの摩擦・ロールユニットの出し入れによる発塵を予防。 ●ゴムロールの直接加圧方式にすることでテープの始まりから終わりまで　安定した除塵能力を発揮。 ●加圧調整バルブで、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エム・エル・シー

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインスコール』

小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールです。

ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインスコール』は、大型液晶ガラス洗浄に最適なバー型高スループットタイプです。洗浄エリアは2210mmまでセレクト可能で、液晶ガラス等の枚葉式洗浄に最適です。バー型、ノズル噴射の洗浄方式で、洗浄液は空中でのノズル噴射式のため、洗浄槽液内での再汚染がありません。微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

AVEVA冗長化セット提供（Stratus ztC Edge）

AVEVAとストラタスのセット構成で提供！お客様は設定不要！即使用可能…

操業監視制御システムの冗長化をためらっていませんか？ MXTのAVEVA冗長化ソリューションは、ストラタスと組み合わせ、セットで提供しますので、お客様の設定作業は不要です。すぐに使用できるソリューションです。従来と比べて、設定が楽、シンプルな構成、かつ堅牢な冗長化を実現できます。運用保守では、高度なIT知識は不要です。故障したユニットは丸ごと交換、プラグイン保守。ユニット交換後は...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エム・エックス・テクノロジーズ（MXT）東京事務所/大阪事務所

AVEVA冗長化セット提供（Stratus ztC Edge）

AVEVAとストラタスのセット構成で提供！お客様は設定不要！即使用可能…

操業監視制御システムの冗長化をためらっていませんか？ MXTのAVEVA冗長化ソリューションは、ストラタスと組み合わせ、セットで提供しますので、お客様の設定作業は不要です。すぐに使用できるソリューションです。従来と比べて、設定が楽、シンプルな構成、かつ堅牢な冗長化を実現できます。運用保守では、高度なIT知識は不要です。故障したユニットは丸ごと交換、プラグイン保守。ユニット交換後は...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エム・エックス・テクノロジーズ（MXT）東京事務所/大阪事務所

自動スピン洗浄装置

クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置

オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート) =============================================== ＜仕　様＞ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ搬送…大気3軸クリーンロボットクリーンユニット…ＨＥＰＡフィルター洗浄…ブラシ、MS標準装備オプション…高圧ジェットノ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

株式会社プレテック　会社案内

高周波・超音波洗浄を事業領域として産業と生活を支えるマザーツールを提供

株式会社プレテックは、飛躍的に進化する技術革新の中で、常に独自性のある先端技術開発企業というビジネスモデルを確立すべく、日々研究開発活動を推進しています。プレテックの提供する製品群は、半導体ウェハーメーカー、半導体デバイスメーカー、フォトマスクメーカー、液晶メーカー、プラスチックレンズメーカー、磁気ディスクメーカーといった製品メーカー向け洗浄装置（特注品）と、同業である洗浄装置メーカー向け洗浄機器...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインソニック』

各種ウェハーの基板洗浄や各種フォトマスク、磁気ディスク等の洗浄に最適

ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインソニック』は、サブミクロン以下のパーティクルを除去し、特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させ、ワークにダメージを与えません。多彩な周波数を選択可能（750/1000/1500/2000ｋHz）で、微細な出力調整ができ、1W刻みの安定した出力調整が可能です。最大出力がアップし、洗浄エリアの拡大が可能です。また、通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

プラズマ/サーマルALD装置『Fiji G2』

500℃ウエハステージ！プラズマダメージの無いリモートICPソース採用

『Fiji G2』は、サーマル式とプラズマ式の研究開発用ALD装置です。プラズマ源にICPリモートプラズマを採用し、基板搬送に真空ロードロックを搭載し、高品質の酸化膜、窒化膜、メタル膜の ALD膜が成膜できる設計。また、簡易除害ユニットALD Shield Vapor Trapを標準搭載しており、プラズマガスラインは最大6ラインとなっております。【特長】 ■50...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ

アルミ線/リボンワイヤ対応ウェッジボンダ PowerFusion

【高い生産性と信頼性を実現】ダイレクトドライブモーションシステム、高機…

テクノアルファが取り扱うK&S社製ウェッジボンダー PowerFusionをご紹介します。 PowerFusionはリードフレームパッケージデバイス用フルオートウェッジボンダーで、ベルトレスの最新ダイレクトドライブモーションシステムや高機能画像認識システムを採用しており、従来に比べ生産性（UPH）と信頼性が大幅に向上しました。また、ライン構成に合わせ、1ヘッドタイプから最大6ヘッドまでのボ...

メーカー・取り扱い企業：テクノアルファ株式会社

インライン式周波数調整装置「SFE-X2012」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

インライン式周波数調整装置「SFE-X2012」は、処理室と取出室を別にし、イオンソースもＨ／Ｌを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。ＳＦＥ‐Ｂ０３に搭載したＩＧＦ－２０１型１００ｍｍビームのイオンソースを２基搭載しています。イオンソース１台あたり最大２４個、計４８個同時処理が可能です。ＳＦＥ－Ｂ０３で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

フィルム貼付装置｜セミオートマウンター「FM-903S」

最大8インチまでのセミオート式テーブルトップタイプ・ウェハーマウンター

オペレーターはワークのセットと取出しのみで、後の作業は全て自動運転いたします。テープ/フィルムの貼付け作業の安定と歩留り向上に貢献いたします。 ...■特長・自動貼付け、オートフィルムカット機構。・貼付け圧力/可変。・貼付けスピード可変。・貼付けローラー自動平衡機能。・オプション：ヒーターユニット、静電気対策。・テーブルトップタイプ ■メリットウェハーマウンター...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社

サーマルALD装置『Savannah G2』

研究開発用、小規模バッチ用！簡易除害ユニットALD Shield Va…

『Savannah G2』は、シンプルで使いやすく研究開発から少規模の量産まで対応可能な柔軟性のあるサーマル式のALD装置です。高い成膜性能をシンプルなシステムで実現しており、用途と予算に合わせた構成選択可能。ご要望の際は、当社へお気軽にご相談ください。【特長】 ■高い成膜性能をシンプルなシステムで実現 ■超高アスペクト比(＜2000：1)対応モード ■用途と...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ

ガスフィルター用ジャケットヒーター

２００℃の高温でガスフィルターをベーキングする画期的なベーキングヒータ…

(株)ピュアロンジャパン製ジャケットヒーターです。コントローラーユニットには、加熱防止インターロック機能と断線検出機能がついているため安全です。フィルターから簡単に着脱できます。温度・時間などの設定は遠隔操作できるデジタル式コントローラーにより操作が簡単です。ヒーターユニットは薄型・軽量でスペースを取りません。...【特徴】 ○最高使用温度は２００℃です。 ○電源はＡＣ１００Ｖです。 ○...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ

フィルム表面改質装置（ロールtoロール式）

高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置

・機能性フィルム、有機EL研究用フィルム改質装置・幅200～300mmのフィルムに対応・常圧プラズマ発生装置を中央に左右往復搬送が可能・ガイドフィルム挿入、または保護フィルム合わせ巻取りモードを選択・搬送速度0.1～1m/min（実際は4m/min達成) ...・全面樹脂カバーとHEPAユニットでクリーン度を保持・改質時に放出されるオゾン、N2ガスを封じ込め、オ　ゾン吸着...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

半導体関連装置　バッチ式洗浄装置

5,6インチ共用カセットレス処理

架台のユニット化により、現場での復帰作業の効率化を実現。装置コンフィング等の大掛かりな改造も短時間での現場工事が可能。...【特徴】 ○オートハンドラーによる枚数ロット同時処理 ○各槽温度コントロール機能付 ○鏡面反転機構 ○ハーフピッチ処理対応 ○ファイナル槽に比抵抗値モニタリング ●詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：セファテクノロジー株式会社京都事業所

ナノインプリント装置

繰り返し精度＝20nm!!!

UV式／熱硬化式 300ｍｍウエハー対応の装置です。金型の平行出し、加圧、ＵＶ照射、離型し、高精度繰り返し位置決め精度にてステップ＆リピートし、リソグラフィーの代替パターニングとして（テラバイト光ディスク、ＬＥＤ、マイクロレンズ、拡散フィルム、高密度パッケージ等）に最適です。研究開発用、量産に対応いたします。超高精度　　繰り返し精度＝20nm .....

メーカー・取り扱い企業：株式会社清和光学製作所

UV(紫外線)フィルム硬化装置｜LED光源仕様「UVC-708」

波長365nmのUV-LEDを使用、常温照射、低ランニングコストです！

『UVC-708』は、波長365nmのUV-LEDを使用した、コンパクトな LED光源UVフィルム硬化装置です。 UV-LEDの特長である常温照射、低ランニングコストはそのままに、 8インチウェハに対して全面照射を可能としました。【特長】 ■365nmのUV-LEDを使用し、常温照射、低ランニングコスト ■小型、テーブルトップサイズ ■簡単ボタン操作 ■LEDユニット...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社

サーマルALD装置『Phoenix G2』

量産に必要な多くの安全対策仕様！コンパクトな装置サイズで成膜温度50～…

『Phoenix G2』は、中規模量産に適したサーマル式のALD装置です。優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザインで、多用途に対し容易に使用可能。また、セミオートローダー又は真空ロードロックに対応しており、適切なチャンバーサイズ(＜370mm×470mm)となっております。【特長】 ■優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ

千住金属工業　リフロー炉 SNR-850MB

マイクロボール専用微風循環式N２リフロー炉

SNRシリーズで好評の機能を搭載したマイクロボール実装用リフロー炉です。...【特徴】 ○遠赤外線＋微風熱風循環方式により効率の良い加熱を実現 ○加熱部フラックス回収機構搭載でクリーンな炉内状態を保つ ○さらに効率を上げた新断熱構造により低消費電力・CO２削減 ○機密性の高いマッフル構造で炉内酸素濃度全ゾーン100ppm以下に管理可能 ○冷却部には冷却用チラーユニットを標準内蔵 ○30...

メーカー・取り扱い企業：千住金属工業株式会社

スピンソニッククリーナー

サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄。

◆薬液対応ファインジェット＆EDジェットにより高い洗浄能力を実現 ◆非接触洗浄(プラシレス洗浄)によりメンテナンスフリーとダメージレスを実現 ◆１ステージで各洗浄・乾燥工程を可能に ◆完全常温プロセスのためヒーターを必要とせず、消費電力を大幅にカット ◆機能別のユニット構成により設置面積のコンパクト化と自由度の高いレイアウトを実現...ウェハー横置き、枚葉式ファインジ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

ウェーハを真空吸着方式で取り扱います。従来、作業者が手で行っていたウェーハのハンドリング作業を、この装置を使用することで、品質の向上を図ることができます。...・反転機能付きのツインアームロボットを使用することにより、効率よくウェーハの搬送が行えます。・P/N判定は接触式にて行います。・検査ステージではウェーハの吸着前後の傾斜（片側最大約45°） 360°回転ユニット全体...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

キャリアレス洗浄装置

全自動キャリアレスウエハー洗浄装置

搬送キャリアよりウエハーを抜き出しウエハーのみを洗浄する事が可能なキャリアレス式洗浄装置です。...多種多様な薬品仕様で製作可能。装置寸法も設置スペース合わせ検討致します。キャリアストック数、温水加熱器、薬液供給ユニット濃度計等オプション追加可能。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ワイ・エムテクノロジー京都本社

ロードロック式周波数調整装置「SFE-B03-II」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

ロードロック式周波数調整装置「SFE-B03-II」は、省スペース・高精度・低価格、タクトタイム0.4 s/pcs以下を実現しました。（※SMD3.2 × 2.5, 24 MHz, H1000 ppm/s, L50 ppm/s の場合）新型イオンガン (ビーム幅: 100 mm) 搭載で、標準24～32個同時処理が可能となりました。高精度・高安定・高再現性の搬送機構により、2.0 × 1...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空