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42件 - メーカー・取り扱い企業
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111
100nm分解能で位置決め！リニアエンコーダによる位置フィードバックで…
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。 外部...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製…
当社が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および 真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。 フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、 ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。 【大気用システムの特徴】 リニア...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分…
光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)
【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバー内で使用可能です。 リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…
真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能のZ軸用位置…
光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィー...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能の位置決めス…
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能、位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 100mmの範囲を...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空対応】最小分解能0.00001°で±4°動作できるエンコーダ内蔵…
光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能微小回転ステージです。 0.00001°分解能でストロークは±4° アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 回転方向の調整用に適しています...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダーの波長を扱う...
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真空中で使用可能！回転方向調整用ステージ
光学式リニアエンコーダを内蔵しており、ステージの可動部分の位置を検出することができるため、その位置情報をもとにコントローラが降るクローズドループ制御を行うため位置の再現性に優れています。 分解能はコントローラ...
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【真空対応】リニアエンコーダ内蔵で10nm分解能のZ軸用位置決めステー…
光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 10nm分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を用意。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm
光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストローク...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】高分解能かつストロークが長い位置決めステージ
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自...
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【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れてお...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【昇降ステージ】リニアエンコーダ内蔵により10nmの高分解能・高い位置…
光学式リニアエンコーダを内蔵した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 独自の設計により、Z軸にありがち...
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総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）第5版
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステ…
シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決...
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm…
光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により10nm…
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用し...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステー…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位...
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【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めが...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)
[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が１台でできます。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等な特徴を備えています。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボール...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れていま...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…
位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】10nm分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して位置検出誤差を少なくし、コントローラへ位置情報をフィードバックすることで高い分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 10nm 』...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【100mmストローク】ロングストロークかつ高分解能な位置決めステージ
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダで位置を検出してフィードバック制御を行っているため分解能・位置再現性・位置保持性に優れています。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステ…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114
100nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-114はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応してい...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応していま...
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411
50nm分解能で位置決め！フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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検査や研究を効率化！5nm分解能で位置決め制御ができます。
5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空で使える】エンコーダ内蔵の高分解能位置決めステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れて...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に サブミクロン分解能で位置決め 可動…
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、サブミクロン分解能（0.1μm or 0.05μm）の再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できま...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空で使える】サブミクロン分解能のフィードバックステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージのテーブルの位置を検出して、コントローラに位置情報をフィードバックしているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空対応】サブミクロン分解能で動作範囲50mmの位置決めステージ
ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 50mmの範囲を動...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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