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MAX300mm×300mmまでのガラス基板へ加工可能!Si、Pt、T…
当社では、『リフトオフ加工』を承っております。 エッチング加工が困難な薄膜をパターン加工する技術で、必要とする逆の パターンをレジスト形成し、必要膜の成膜実施。成膜後、レジスト除去します。 有効エリアが...
メーカー・取り扱い企業: テクノプリント株式会社
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光導波路ウェハ受託製造及び各種ウェハ受託加工サービス!世界トップクラス…
解堆積(FHD)、高温アニール ■フォトリソ技術: 縮小ステッパー露光、非接触等倍露光、コーターデベロッパー ■微細加工技術: ガラスRIE、メタルRIE、ガラス・Si-Deepエッチング、リフトオフ ■ウェハ後工程技術: ダイシング、端面研磨、光ファイバ接続、薄膜波長板(λ/2、λ/4) ■評価技術: 走査型電子顕微鏡、ガラス膜厚屈折率測定、精密寸法測定、導波路光学特性評価 【適...
メーカー・取り扱い企業: NTTデバイスオプテック株式会社
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