研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

レーザー加工機　『カスタマイズ可』『サンプル加工無償実施』

お客様の要望に合わせたレーザー発振器を選択し、さまざまなレーザー加工用…

素)、 LT(リチウムタンタレイト)/LN(リチウムナイオベイト)、GaN(窒化ガリウム)、各種ガラス、ポリイミド、ペットなど ◎加工事例　スクライブ(溝堀)、切断、穴あけ、トリミング、リフトオフ 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 西進商事株式会社

ナノリソグラフィシステム『NanoFrazor Scholar』

卓上型ナノリソグラフィ直描システム

術は、複雑なナノパターンの描画およびイメージングに使用される超シャープな加熱可能なプローブにあります。 加熱されたチップは、レジストの局所昇華によって任意の高解像度ナノ構造を作成します。その後リフトオフやエッチングのような標準的なパターン転送方法を適用することができます。 またプローブ先端近傍に備えられたセンサーでイメージングを行いながら、パタニングへのフィードバックとトポロジー情報を取得で...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

スピン枚葉処理装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置

　　《新型》のスピンプロセッサーに発展応用させて搭載済みです。 ■SPM、APM、HPM、DHFといったRCA処理に最適。 ■塩化第2鉄、HF/HNO3等のエッチングプロセスにも対応 ■リフトオフ・レジスト剥離にも対応。 ■従来型平置きSpin枚葉として、安価システム構築可能 ■薬液の掛捨て処理に最適 ■クロスコンタミフリー 　◎SPM処理時は基板直上で新液の硫酸と過水の混合ミキ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？ ・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離 ・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

ナノリソグラフィシステム『NanoFrazor Explore』

高機能ナノリソグラフィ直描システム

ープな加熱可能なプローブにあり、複雑なナノパターンの描画およびイメージングを可能としています。 加熱されたプローブの先端は、レジストの局所昇華によって任意の高解像度ナノ構造を作成します。その後リフトオフやエッチングのような標準的なパターン転送方法を適用することができます。 またプローブ先端近傍に備えられたセンサーでイメージングを行いながら、パタニングへのフィードバックとトポロジー情報を取得で...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

《新型》UDSスピン枚葉装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向…

【その他の特長】 ■TAIKO基板等の極薄脆弱基板での処理も可能 ■リフトオフ/有機系のUDSプロセッサーも併せて参照ください。 ■従来方式のスピン枚葉装置も併せて参照ください。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング