レジスト | イプロスものづくり

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】・洗浄液は純水のみ使用・他社製品に比べ純水の使用量が少ない【高い洗浄能力】・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム（オプション）超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

自動レジスト現像装置（枚葉式）デベロッパー Developer

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…

枚葉式フォトレジスト現像装置です。パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！また、厚膜レジスト現像～微細なパタ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…

枚葉式で現像、全面露光（反転露光、イメージリバーサル）、ベーク、クーリング機能を搭載。リフトオフ用レジストで逆テーパーの角度を決める重要なPEB。当社独自プログラムで逆テーパー角度を安定させます！また、ネガレジストの露光後ベークに使用することで安定プロセスが得られます。マニュアル機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【半導体分野へご提案】表面検査装置・レジスト・精密位置制御

弊社が得意とする【半導体分野向けソリューション】をお客様に合わせてご提…

弊社が得意としているナノオーダーの表面解析機器の他、半導体プロセス向けのレジスト液、マスクレス露光装置、精密位置制御装置をご提案致します。...

メーカー・取り扱い企業：日本カンタム・デザイン株式会社

マニュアル・レジスト／塗布現像装置

ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能。

ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能な簡易型のレジスト塗布、現像装置。マニュアル装置でありながら、ケミカルフィルタ、レジスト温調、現像液温調、塗布室の雰囲気温調・湿度制御などの各種オプションの搭載も可能です。基板サイズは最大300mmΦまで対...

メーカー・取り扱い企業：リソテックジャパン株式会社

枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

『自動レジスト塗布現像装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布現像装置です。装置内にレジスト塗布チヤンバーと現像チヤンバーを設けています。 レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行いま...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

【アルマイト銘板の事例】レジスト加工銘板

量産性に優れている！レジスト加工にて製作した事例をご紹介

レジスト加工銘板を製作した事例をご紹介いたします。量産性に優れ主に工業用として広く使われております。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。【事例概要】 ■レジスト加工 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社重森産業社

【アルマイト銘板の事例】レジスト加工銘板(2)

工業用として広く使用！レジスト加工銘板を製作した事例をご紹介

レジスト加工にて製作した事例をご紹介いたします。量産性に優れ主に工業用として広く使われております。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。【事例概要】 ■レジスト加工 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社重森産業社

粉体提供可能なネガ型レジスト　H-SiOx

電子ビーム描画装置、EUV露光装置、ナノインプリント・リソグラフィ用途…

AQM社のH-SiOxは粉体・溶液2種類を提供可能なネガ型のレジストです。 Dow XR-154やFOXと同等の性能を提供可能です。粉体・溶液はそれぞれに特徴がございます。【粉体】長期間の保管が可能：1年間保存可能なので長期間において少量ずつのご使用が...

メーカー・取り扱い企業：オプトシリウス株式会社

EBレジストの世界市場レポート2023-2029

EBレジストの世界市場規模、シェア、動向分析の調査レポート2023-2…

2023年7月26日に、QYResearchは「グローバルEBレジストに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。EBレジストの市場生産能力、生産量、販売量、売上高、価格...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

書籍『レジスト材料の基礎とプロセス最適化』

半導体、ディスプレイ、プリント基板等で欠かせないフォトレジスト材料に…

本書では、フォトレジスト技術に関する幅広い分野をカバーし、実用書としても有意義な内容を構成しています。具体的には、フォトレジスト材料、プロセス、評価・解析、処理装置までを幅広く網羅し、パターン欠陥などの歩留まり改善や...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シーエムシー・リサーチ

電子ビームレジストの世界市場調査レポート2024

『無料サンプル』を入手可能！関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル電子ビームレジストのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を2月1日に発行しました。本レポートでは、電子ビームレジスト市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、電...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

コンパクト！手動フォトレジスト現像装置（マニュアルデベロッパー）

少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式の…

当製品は、枚葉式のマニュアル現像機です。薬液BOXと処理カップ部分の本体が一緒になったコンパクト仕様です。マニュアル機をお客様のニーズに合わせて設計から製造・販売しています。研究開発目的としてだけでなく少量多品種の製品を扱うお客様にご利用いただいております。 TMAH等多彩な薬液に実績があります。【特長】 ■低価格を実現 ■コンパクト！ ■パドル、1流体スプ...