【自動化対応】ルーター式基板分割機『SAM-CT34XJ』

PR〈国内製〉基板の供給・分割・排出を自動化（最大400×300mmに対応…

当社のルーター式基板分割機に、高速・高精度で切断でき、 自動化（マニュアルでの操作も可能）にも対応した『SAM-CT34XJ』が新製品としてラインアップに加わります。 基板の供給・切断・排出を自動で行えるのはもちろん、 カメラで基板を表示しながら簡単にティーチングが可能。 画像処理機能による、切断位置の自動補正にも対応しています。 【特長】 ■ルータービットの高さを自動で切り替...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サヤカ

◆パイロット　ファインセミックス◆　＜展示会出展＞

PR高純度アルミナ、ジルコニアのセラミックスで微細孔・多孔貫通孔の押出成形…

パイロットはシャープ芯の押出成形技術を生かし、 微細な貫通孔のセラミックス製造を得意としています。 単孔のパイプ状から多孔のフィルター状の物まで製作いたします。 外径Φ0.2～Φ8、内径Φ0.005～、長さ120mm程度までの 高純度アルミナ、ジルコニア、窒化アルミを提供。 異なる孔径の組合せや異なる外形状と内形状の組合せなども可能ですので お気軽にご相談ください。 【セラミックの性質】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パイロットコーポレーション

スライス画像(FIB-SEM/医用/連続切片)位置合わせソフト

ExFact Slice Alignerは、5種類の自動位置合わせ、2…

ExFact Slice Alignerは、スライス画像(FIB-SEM/医用画像/連続切片画像)の位置合わせソフト。面倒な手作業の位置合わせも、5種類の自動位置合わせで、あっという間に終了。 29種類のパワフルな一括画像処理。5種類の表示モードで手動位置合わせも柔軟に行えます。ExFact V...

メーカー・取り扱い企業： 日本ビジュアルサイエンス株式会社

【分析事例】燃料電池等の窒素ドープカーボン材料窒素の置換位置評価

ケミカルシフトを利用して窒素の置換位置の同定や定量的な分離が可能です

燃料電池の電極触媒であるPtに替わる材料として、窒素（N）原子を導入したカーボン材料が注目を集めており、その触媒活性にはカーボン材料中に存在するNの置換位置が大きく関わっています。XPS分析では、Nの結合状態や置換位置の違いによりケミカルシフトが生じるN1sスペクトルの評価を行うことで、Nがどの位置のCと置換されたのかの同定や定量的な分離が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

PCB基板・FPC基板解析サービス＜部品掲載位置＞

回路での使われ方、部品の仕様が確認可能！当社のPCB基板・FPC基板解…

当社のPCB基板・FPC基板解析サービスでは、部品ごとに部品表や回路図と 共通の番号を割り振り、各部品の搭載位置を示します。 部品番号は「回路図」や「部品表」と共通の番号なので、回路での使われ方、 部品の仕様が確認可能。 未実装（NM：Non Mount）の場合は、「NM000」のように未実装箇...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エルテック

2色成形の流動解析技術

効率の良いモノづくりが可能！成形不具合を事前に検証できます

成形シュミレーションにより金型製作前に各事象について予測が出来、 効率の良いモノづくりが可能になります。 「ウエルド位置の予測」では、ゲートの設定によりウエルドラインの 変化が確認でき、「冷却回路位置の予測」では、熱の溜りやすい位置を 予測し的確な冷却回路の設定ができます。 その他にも「樹脂の溶け出し位置の...

メーカー・取り扱い企業： ユニオン合成株式会社

技術情報誌 202303-02 イオンモビリティ質量分析計

東レリサーチセンターで導入したイオンモビリティ質量分析計の特徴と、ジス…

析技術の最新情報です。 【要旨】 イオンモビリティ質量分析計は、従来型の質量分析計では分離不可能な同一質量の構造異性体の分離が可能であることから、抗体医薬品やADCの特性解析、糖鎖構造解析、結合位置解析、ペプチドマッピング、核酸医薬品の不純物分析、オリゴヌクレオチドのバイオアナリシス、バイオマーカーの網羅的な解析などの様々なアプリケーションへの活用が期待できる。ここでは、東レリサーチセンターで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

［EBIC］電子線誘起電流

試料内部の電界構造（半導体の接合構造）に関する情報を得ることができる手…

でドリフトされることで起電流として外部に取り出すことができます。 この起電流をEBIC（Electron Beam Induced Current）と呼び、SEM像と併せて取得することでpn接合の位置や空乏層の広がりを可視化することが可能です。 ・ｐｎ接合部や結晶欠陥(転位、積層欠陥など)の評価が可能。 ・SEM像と重ねることで、接合や結晶欠陥の位置を特定可能。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ラミネートフィルム異物分析事例

異物の位置と異物の成分に着目！異物部の断面作製を行い、元素分析を実施し…

ラミネートフィルムを裏面側より確認すると黒い異物が確認されたため、 この黒色異物について発生層の特定や成分分析を行いました。 最初に解析の目的に応じて手法を検討致します。 今回は異物の位置と異物の成分に着目し、異物部の断面作製を行い 元素分析を実施する方針となりました。 【事例概要】 ■ラミネートフィルムを裏面側より確認すると黒い異物が確認された ■黒色異物について発生層...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【分析事例】パワートランジスタ（DMOSFET）の拡散層評価

ゲート・ソース層・ボディ層の位置関係がわかります

市販パワートランジスタ(DMOSFET) について、ポリSi ゲートとn型ソース層およびp型ボディ層の形状・位置関係を調べました。 AFM像と重ねることでゲートとの位置関係も知ることができます。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

顕微ラマンによる多層材料分析

ラマン分光法による深さ方向への測定！多層膜の表面から各層の材料分析が可…

当社の「顕微ラマン分光光度計」は共焦点光学系が採用されており、 顕微鏡のように深さ方向に焦点位置を変化させることで、多層膜の表面から 各層の材料分析が可能です。 顕微ラマン分光光度系の共焦点機能を用いて、ラマンレーザー光の焦点を 深さ方向に変化させることができます。 また、焦点...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

角度分解HAXPES測定

HAXPES：硬X線光電子分光法

HAXPESでは、試料表面から深い位置まで（～約50nm）の情報を得る事が可能です。さらに2次元検出器を用いた角度分解測定により、広い光電子取出角で取得したデータを、角度すなわち検出深さを変えた情報に分割することができます。これにより、...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

衛星測位分析ツール「GPS-Studio」

GPS/GNSS位置測位の誤差を可視化

GPS/GNSSを用いた位置測位では、伝搬過程での誤差が生じます。 特に都市部においては建物の反射・回折が大きく影響します。GPS-Studioは、電離層誤差、対流圏誤差、マルチパス誤差をシミュレーションし、手軽にGPS/GN...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社構造計画研究所

『RAISING法によるランダムインテグレーション解析サービス』

国立感染症研究所との共同研究により開発。 外来DNAの挿入位置の決定…

『RAISING法』は、ゲノム中の外来DNAの挿入位置を検出する方法です。 少ないDNA量で再現性の高い測定結果がスピーディーに得られます。 ウイルスゲノム挿入部位、ウイルスベクター挿入部位、 創薬ターゲットとなりうる融合遺伝子の検索、 ゲ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファスマック

【分析事例】ギア表面発錆原因調査

工程で使用された洗浄液との関係を調査！洗浄液を濃縮し顕微FT-IRの透…

ギア製造工程内で錆発生。工程で使用された洗浄液との関係を調査しました。 洗浄液を濃縮し、顕微FT-IRの透過法で分析したところ、ギア錆部（歯先・ 側面）の有機物における全赤外吸収帯の位置と洗浄液の赤外吸収帯位置が 一致しました。 尚、無機分についてエネルギー分散型X線分析を実施し、同一元素を 検出しました。 【事例概要】 ■調査材：ギア製造工程内で錆発生、工程で使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

【分析事例】半導体のイオン化ポテンシャル評価

UPS：紫外光電子分光法

半導体では、価電子帯立ち上がり位置(VBM)と高束縛エネルギー側の立上り位置(Ek(min))より、イオン化ポテンシャルを求めることが可能です。 表面有機汚染除去程度のArイオンスパッタクリーニング後に測定を行っています。 ■価...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

有機物の分子構造を、もっとはっきりさせてみませんか？

NMR分析で類似分子構造の化合物を区別し、側鎖、置換基の結合位置や枝分…

株式会社アイテスでは、フタル酸エステル類の1H NMR分析を行っております。 類似分子構造の化合物を区別し、側鎖、置換基の結合位置や 枝分かれ構造などの構造解明にNMR分析は有効な手法です。 有機合成、高分子合成において、狙った分子構造物を得られたのかの確認には 必須の分析で、 医薬品、サプリメント、食品、繊維など、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【分析事例】PL・TEMによるSiCパワーデバイスの結晶欠陥評価

PLマッピングで検出した結晶欠陥の高分解能TEM観察

PL（フォトルミネッセンス）マッピングでは、発光箇所から結晶欠陥位置の特定が可能です。 更に同一箇所を高分解能STEM観察（HAADF-STEM像）を行うことで積層欠陥を捉えることができます。 本事例では、市販のSiCパワーデバイスについてPLマッピングとS...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】界面および深さ方向分解能について

SIMS：二次イオン質量分析法

シングとスパッタ表面の凹凸（ラフネス）の影響を受けるためです。検出している不純 物は、混ぜ合わされた深さまでの平均化した情報となり、深さ方向に幅を持った領域のイオンを検出します。 そのため、界面位置は一般に主成分元素のイオン強度が50％になる位置と定義しています。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【資料】流動解析とは？解析方法5種類を紹介！

ゲート位置や金型構造の妥当性を主にアニメーション形式で事前に確認可能で…

などに活かすことが可能。 「充填解析」をはじめ、「保圧冷却解析」や「繊維配向解析」、 「ソリ変形解析」、「金型冷却解析」があります。 【特長】 ■充填解析：流動パターンからウエルドの位置・ガスベントの位置の予測 ■保圧冷却解析：樹脂温度や圧力、冷却時間から成形後の収縮歪みを予測 ■繊維配向解析：ガラス繊維配向によるソリ発生の予測 ■ソリ変形解析：収縮率・変位量・ヒケ・真円度・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゲートジャパン

プラスチック成型・プラスチック金型　樹脂流動解析

潜在的な製造上の不具合を回避し、高品質な製品をより早く市場に投入するこ…

社ではAutodesk Moldflowを使用して、プラスチック部品、射出成形、 および射出成形のプロセスを検証し、最適化するための各種射出成形 シミュレーションを行います。 肉厚、ゲート位置、材料、形状が製造性に与える影響を調査。 実際の製造を行う際にどの様な状況になるのかを把握する事で潜在的な 不具合を回避、あるいは既に起きている問題の原因を突き止めることができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社フィロソフィー

ファスマックシーケンス解析

新しい解析技術を用いたDNAシーケンサー！将来的にはサンガー法のような…

サンガー法によるDNA解析は広く普及している技術であり、現在は遺伝子診断と いったかたちで一般の人にも少しずつ認知されつつあります。 サンガー法の次の世代という位置づけで、新しい解析技術を用いた DNAシーケンサーが各社から発売されており、解析技術も日々進歩している状況。 ファスマック社は、イルミナ社のMiSeqでの受託サービスを行うことによって、 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グライナー・ジャパン

【DL可/DSC】熱分析における事例集2

チョコレートを徹底的に科学分析し食感、溶け方の違いを探っています。製品…

【掲載内容詳細（抜粋）】 ■チョコレートのDSC測定1（結晶型の推定） 　・目的：チョコレートの融解挙動を測定する 　・手法：示差走査熱量計（DSC）による測定 　・結果：ピーク位置から結晶型を推定できた ■チョコレートのDSC測定2（製品間の比較） 　・目的：チョコレートの融解挙動を測定する 　・手法：示差走査熱量計（DSC）による測定 　・結果：ピーク位置から結晶型...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

【分析事例】糖鎖修飾タンパク質の特性解析（LC-TOFMS）

バイオ医薬品の開発・品質確認を効率的に進めることが可能です！

LC-TOFMS（液体クロマトグラフ飛行時間型質量分析）法は、 タンパク質の特性解析（分子量分析、ペプチドマップ、糖鎖分析など）に有用です。 IgG抗体の糖鎖（グリコフォーム・糖鎖付加位置）のLC-TOFMS法による分析・解析の事例をご紹介いたします。 ■分析試料　IgG抗体 ■分析方法　LC-TOFMS法 ■分析結果 ・グリコフォーム（糖鎖部分が異なるタンパク質）解...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネカテクノリサーチ 本社、東京営業所、名古屋営業所、大阪分析センター、高砂分析センター

パワーデバイスの故障解析

ダイオード、MOS-FET、IGBT等のパワーデバイスの不良箇所特定・…

A 　　　　　　　　　低倍最大視野：6.5mm角 ・エミッション解析：　～2kV　まで対応 　　　　　　　　　　感度：数nA 　　　　　　　　　　低倍最大視野：6.5mm角 ・特定位置精度：　±0.3um、試料厚1.5um～0.1um ・機械研磨SEM観察：　大きな破壊箇所・異物・広範囲の観察 ・拡散層観察：　TEM試料加工前に不良箇所近傍にて観察可能 　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

パワー半導体の解析サービス

故障箇所→拡散層評価を含めた物理解析/化学分析までスルー対応いたします…

【故障箇所特定から拡散層評価や結晶構造などの物理解析まで対応】 ■裏面発光/ OBIRCH解析による故障箇所特定 ■故障箇所への高精度位置特定、FIB加工 ■不良箇所のFIB/LV-SEM観察、EBIC解析による拡散層形状評価 ■TEM観察による結晶構造観察、元素分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【原産地証明事例】天然エビ

輸入エビが国産エビと誤ってラベル付け！オーストラリア産か輸入品かを確認…

で代用国産と謳い産地偽造を行い、消費者に 高い金額で販売した事例や国産エビが輸入エビと混合/希釈され、 国産として販売される事例が発生しました。 天然/天然捕獲のクルマエビは、特定の地理的位置(漁獲枠で認可された 漁業地域)で捕獲され、微量元素分析を実施。微量元素データを用いて 参照データベースを構築し、サンプルを照合することで、オーストラリア産 なのか、それとも輸入品なのかを確認...

メーカー・取り扱い企業： 日本流通管理支援機構株式会社

［SEM］走査電子顕微鏡法

高倍率観察(30万倍程度まで)が可能

で装置に搬入可能（装置による） ・SEMにオプションを組み合わせることにより、様々な情報を得ることが可能 　EDX検出器による元素分析が可能 　電子線誘起電流（EBIC）を測定し、半導体の接合位置・形状を評価 　電子後方散乱回折（EBSD)法により、結晶情報を取得可能 　FIB加工とSEM観察の繰り返しにより、立体的な構造情報を取得可能（Slice & View） 　冷却観察・雰囲気制...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ロックイン発熱解析法

ロックイン発熱解析法は、電流経路中の僅かな温度上昇を検出します

故障箇所を特定する半導体故障解析装置となります。高感度赤外検出器にて検出した発熱画像と、IRコンフォーカルレーザ顕微鏡で取得した高解像度なパターン画像を重ね合わせて表示することにより、高感度かつ高い位置精度で故障箇所を迅速に特定します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［IC］イオンクロマトグラフ法

イオンクロマトグラフ法は液体試料中のイオン成分を検出する手法です

る方法です。 検出器には電気伝導度検出器、電気化学検出器、UV検出器、蛍光検出器、質量分析計等が用いられます。 カラムで分離した各イオン成分の保持時間はイオン成分ごとに異なるため、ピーク位置（保持時間）を標準試料と比較することで定性分析を行うことができます。また、測定強度と溶液中のイオン成分濃度が比例関係となるため、濃度既知の標準溶液との比較によりイオン成分の定量分析が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［AFM］原子間力顕微鏡法

ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測

。 走査の過程で、探針が試料表面に近づくと探針の振動振幅は減少し、逆に遠ざかると増加します。この変化を打ち消して、ある一定の振動振幅を保つように探針の高さを制御しながら走査する方法です。 探針の位置は、探針にレーザーを照射し、その反射光をフォトディテクタで検出することで行います。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

OBIRCH分析（光ビーム加熱抵抗変動法）

OBIRCHは、光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗…

OBIRCHは、光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗が変化することを利用して、異常箇所の特定を行う手法です。 ・配線やビア内のボイド・析出物の位置を特定可能。 ・コンタクトの抵抗異常を特定可能。 ・配線ショート箇所を特定可能。 ・DC電流経路を可視化。 ・ゲート酸化膜微小リークを捉えることが可能。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

照明・光学解析受託サービス

照明器具などのデータから光学解析用モデルを作成。「照明Simulato…

形式） ピーク値、最小値、平均値 受光面に到達した全光線についての座標、傾き、エネルギー（CSVまたはテキスト形式） 数値データから等照度曲線 IESデータ テスト光線時の各面ごとの交点（位置: X, Y, Z　傾き-方向余弦- X, Y, Z）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベストメディア

【分析事例】化学修飾XPSによる水酸基の定量

高分子フィルムの水酸基評価

高分子フィルムの接着性や濡れ性といった特性を制御するにあたって、表面に存在する極性官能基(アルコール基)を定量的に評価することは非常に重要です。XPSは定量的な評価に最適ですが、ピーク位置が隣接している酸化状態(C-O-C)と水酸化状態(C-OH)を切り分けて定量することが困難です。 MSTではポリビニルアルコール（PVA）について化学修飾法を用いてアルコール基のみを選択的に反応さ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【資料】EPMA分析例 その2

EPMAによる分析は、PET、PETH分光結晶で検出することができ、1…

EPMAはEDXと比較すると検出分解能が優れています。 EDXでは元素の検出位置が近く、ピーク分離が困難な場合であっても、 EPMAであればピーク分離が可能な場合があります。 当資料は、47Agと17Clのピーク分離についてご紹介。 チップ抵抗器の断面観察や、47Ag...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【分析事例】ABF-STEM観察によるGaNの極性評価

Csコレクタ付STEMにより原子レベルでの観察が可能です

ピタキシャル膜の成長プロセスが異なるほか、結晶の表面物性・化学反応性も異なります。 本資料では、GaNの極性を環状明視野(ABF)-STEM観察により評価しました。その結果、Gaサイト・Nサイトの位置を特定することができ、視覚的にGa極性、N極性の様子を明らかにすることができました。 測定法：TEM 製品分野：パワーデバイス・光デバイス 分析目的：形状評価・構造評価・膜厚評価 詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】化合物へテロ接合界面歪の可視化

FFTM法による格子像解析

Fast Fourier Transform Mapping法は、高分解能TEM像をフーリエ変換し、FFTパターンのスポット位置から結晶の微小な格子歪みを解析、可視化する方法です。FFＴＭ解析により、(1)画像のx, ｙ方向の格子歪みの解析、(2)結晶面方向の格子歪みの解析、(3)結晶面間隔分布、結晶面方位分布の解析、(4)...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察

Csコレクタ付STEMによる高分解能STEM観察

ABF-STEM像（走査透過環状明視野像）により軽元素の原子位置を直接観察することができます。 HAADF-STEM像との同時取得で、より詳細な構造解析が可能となりました。 本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介しま...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

化学反応機構研究所　フタル酸エステル1HNMR

似通った構造の化合物を区別して同定！プロトンの個数、構造の特長などの情…

にはNMR分析やGCMS分析が有効です。 当分析では、積分値からプロトンの個数、ケミカルシフトから官能基など 構造の特長、またカップリングパターンやカップリング定数から周りの プロトンとの位置関係などの情報を得る事ができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【分析事例】多結晶シリコン太陽電池のPLマッピング

太陽電池セルの欠陥の位置を非破壊で特定することができます

太陽電池に禁制帯幅以上のエネルギーの光を照射するとキャリアが生成し、一部は発光性再結合をします。その際の発光をフォトルミネッセンス（PL）と呼びます。しかし、欠陥が存在する箇所では、キャリアが捕捉されPL強度が弱くなります。このことから、PLマッピング測定をすることで、非破壊かつ簡便に欠陥箇所を特定することができます。多結晶シリコン太陽電池セルにおいて、PLマッピング測定を行い、欠陥箇所を特定した...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】化合物積層構造試料のSIMS分析

前処理により化合物層を選択的に除去してから分析が可能

積層構造試料のSIMS分析において、試料表面から深い位置に着目層がある構造では、着目層で深さ方向分解能の劣化や上層の濃度分布の影響を受ける懸念があります。このような場合には、前処理により上層を除去してから分析することが有効です。本資料では、 InP/In...

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【分析事例】SiN膜中水素の結合状態別の定量

赤外吸収法によりSiN膜中のSi-H,N-Hを定量

SIMS等の分析でも、水素濃度を求めることは可能ですが、全水素濃度であり、Siと結合した水素及びNと結合した水素をそれぞれ求めることは出来ません。FT-IRではSi-H伸縮振動とN-H伸縮振動が別の位置にピークを持つため、それらのピークを利用して、それぞれの水素濃度を求めることが出来ます。 Si基板上SiN膜中のSi-H及びN-H濃度を求めた分析事例を下記に示します。...

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【分析事例】表面酸化膜のある異物の状態評価

水酸化アルミニウムAl(OH)3と酸化アルミニウムAl2O3の評価が可…

したい場合、最表面のみを分析すると異物表面に存在する酸化膜の情報となってしまうため、異物そのものの情報が得られないことがあります。 TOF-SIMSにより深さ方向に分析を行うことで、酸化膜より深い位置にある異物そのものの組成・状態評価が可能です。 本資料では、Al系の異物と思われる3箇所の状態を評価した事例をご紹介します。...

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【分析事例】リチウムイオン電池の高分解能X線CT観察

非破壊で電池内部の層構造・異常箇所を確認できます

本資料では、ラミネート型のリチウムイオンポリマー電池をX線CTで分析した事例を紹介します。X線CTを用いることで、20mmx40mmの電池を破壊せずに内部構造を観察し、数μmの異物や空隙の有無・位置を確認することが可能です。 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】バンプの広域断面観察

イオンポリッシュによる断面作製で微小特定箇所の広域観察が可能です

イオンポリッシュ(IP)法では、機械研磨法で問題となっていた加工ダメージ（界面の剥離・硬さの違いによる段差・研磨による傷など）が少ない断面の作製が可能です。加工位置精度も向上し、微小部位を含む広域断面作製も可能です。結晶の損傷が少ないため、綺麗な結晶パターンが得られます。また、機械的応力の影響がないため、内部構造を忠実に保存したまま、AES分析・SEM観察・E...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】リライト材料の層構造分析

無機・有機成分の層構造解析と分子情報の可視化が可能

質量を可視化した事例をご紹介します。 ポイントカードの断面を、TOF-SIMSを用いて分析を行いました。イメージ像により、構成分子や添加剤の存在が確認できました。また、重ね合わせ像によりそれぞれの位置関係が明確となり、構造の把握ができました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】素子分離領域の歪解析

NBD：Nano Beam Diffractionによる微小領域の歪解…

NBD法では電子線が試料中で回折する角度（電子回折スポット位置）の変化から、格子歪に関する知見を得ることができます。任意の晶帯軸入射方向で、デバイスパターンに合わせた測定が可能です。 素子分離領域（LOCOS周辺）のSi基板について測定した結果、熱処理温度・...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST