電動バランサ『ムーンリフタ』＜導入事例付きカタログ進呈＞

PR重量物の搬送・精密位置決めをサポート。手作業と同じ流れでワークを移動で…

『ムーンリフタ』は、重いワークでも“手先の感覚”を活かしたハンドリングで、 安全な作業とスムーズな位置合わせを実現する電動バランサです。 両手でワークを持ち、軽い力で動かすことができるため、 はめ込み中の引っかかり等、微妙な感触まで感じながら作業可能。 接地するまでゆっくり降下したり、手をはなすと直ぐに止まるなど機能も充実。 精密な位置決めが必要な組み付けや、ガラス等の繊細なワークの搬送に好適...

メーカー・取り扱い企業： ユニパルス株式会社

位置補正機構付きテストソケット

PRスマホ/車載などのカメラモジュールの光学中心を常に一定の位置に補正する…

安定したコンタクトは安定した生産を実現します。 カメラモジュール用のテストソケットは弊社が最も得意とする分野です。 【特徴】 ・様々な形状のモジュールに合わせた設計が可能 ・FPCやB to Bコネクタに直接コンタクトが可能 量産ラインの自動検査から評価用の製品検査に対応したソケットを提案/提供致します。その他評価、検査でお困りごとがございましたらぜひご相談ください！ ...当...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＫ

スプリングプランジャー FST-LOCK-HD

位置決め精度が求められるプロセスや、重量ワークの安定した搬送に好適！

スプリングプランジャーは、吸着時の高さ調整や衝撃を緩和するための真空パッド用のアクセサリです。 スプリングプランジャー FST-LOCK-HDは、ストロークを任意の位置で固定することが可能です。ワークを持ち上げた際の自重によるたわみや位置のずれ・ワーク姿勢の変化を防止します。 形状の異なるワークにも柔軟に対応し、同一ハンドでの多品種搬送に好適です。 詳しく...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

3D 吸着クランプシステム SSCB

位置精度が必要な搬送・クランプに対応！エアのみで位置決め高さをセットア…

SSCB は吸着パッドと位置決めピンが一体化したクランプシステムです。 パッドのみでの吸着時に問題であった揺れや位置のばらつきをおさえます。 ワークそのものを基準にピンのポジションを転写したり、3D データを用い、ロボ...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

取り付け位置自由小型ターボ分子ポンプ 74FS

オイルフリー、取り付け位置自由の高圧縮小型ターボ分子ポンプです。

アジレント社製 74FSはオイルフリー、取り付け位置自由な小型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなど...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

耐熱204℃カプラと真空バッグコネクタ　オートクレーブ・乾燥炉用

特殊シールで200℃を超える仕様の耐熱カプラ　VC200(オスメスセッ…

接続は非常に簡単で、メス側のバネ式外輪を引き戻し、カップリングを押し込むだけです。 メス側の外輪を引き、カップリングを押し込むと、リングが元の位置に戻り、カップリングがロックされます。 リングを所定の位置に戻し、カップリングをロックします。カップリングを分離するには、リングを引くと、カップリングはスプリングで分離されます。 クイックリリー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トミタ

CKD 高真空用エアオペレイトバルブ AVB

【太陽電池、ＦＰＤ、半導体製造工程に】長寿命、高耐久性を実現。高い信頼…

ローズの形状最適化により高い耐久性。 アルミボディ採用で軽量化。 実力値300万回の圧倒的な耐久性（当社規定条件にて）。 【設置・配管の自由度アップ】（パート7シリーズ） 4方向の任意の位置に操作ポートを選択可能。 4面すべてに動作位置検出用の超小形スイッチの搭載可能。 【長寿命・低発塵】（パート3シリーズ） バルジ一体成形法により、流路が流線形で表面が滑らかでガス溜りなし。...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

チェックバルブ（落下防止弁）　SVK、SVKG、SVV

エアのリークを抑えて、真空圧を維持！

徴】 ○吸着時の流量を抑制（シート式フリーボールタイプ） →1箇所の真空パッドが外れてもシステム内の真空圧が維持され、吸着ミスを抑制 →真空圧の低下に伴うエネルギー消費がなくなり、省エネ →位置やサイズが均一でないワークの吸着時にもパッドの位置調整が不要 ○取付ネジ径はオネジ・メネジ各5サイズをラインアップ →様々な真空パッドや装置に取付可能 〇コンパクトサイズ →パッドの配置が狭...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

低価格オールメタルアングルバルブ　SERIES 54.1

（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用

にかけ得る許容最大差圧: ≤ 2 bar バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤ 1 bar バルブの寿命: ≥ 1,000 サイクル ベークアウト温度: ≤ 300 °C（開、閉位置において） 加熱および冷却速度: ≤ 60 °C h-1 材質（バルブボディ、メカニズム、ベローズ）: AISI 316L (1.4404, 1.4435) シール（ボンネット、プ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

UHVゲートバルブ　SERIES 10.8

開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態…

サイズ: DN 63-320mm (2 ½“ – 12“) アクチュエータ: クランクハンドルによる手動式、圧空作動式 複動シリンダー、3位置圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS シーリング技術: VAT...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ロック機構付き首振り吸着パッド『フリーロックパッド』

吸着パッドの「革命児」。ワークを取った角度、位置を固定して“そのまま搬…

のハンドリングで対応できます。バッファ搭載モデルはワークの高さ方向に対しても吸着時の高さをロック可能ですので取り出し時の衝撃を最小限にすることが可能となりワークの脱落、ズレを防止できます。これにより位置精度の高い基準ガイドを必要としない安価な設備で精度の高い搬送システムが構築できます。また、吸着姿勢は全方向対応なので通常の上からの吸着はもちろんの事、横面の吸着、下からの吸着で幅広い設備作りに貢献し...

メーカー・取り扱い企業： ヒロタカ精機株式会社

コントロールゲートバルブ　Series 64.2

極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

: 圧力コントロール 百万回 閉/開 200,000 取付け方向: DN63-350 自由 DN400 水平 バルブの開閉位置表示: 目視位置表示付き（機械的およびコントローラに） ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

オールメタルゲートバルブ　SERIES 48.1/48.2

開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応

-頑丈で長いライフサイクル -閉位置で機械的ロック -耐・放射性能 -"Hard on hard"シーリング...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ROBUSCHI真空ブロワー「RB-DV/TRB-DV」

ブロワーがオーバーヒートせずに真空圧力で運転することが可能です。

能 [TRB-DV] ○オイルミストがブロワーの吐出から排出されない ○水冷は必要ない ○コンパクトな設計は車台の上の設置場所に柔軟性を持たせ少ないスペースで済む ○設置が容易 ○正面に位置するのぞき窓はオイルレベルの点検が容易にし、 　また潤滑油の排出と充填も容易にできる配置 →維持管理が容易 ○設置位置とそれを考慮したオープション →左側の開閉ドアと時計回転 →左側の開閉...

メーカー・取り扱い企業： ガードナー・デンバー株式会社 八潮事業所　ブロワー事業部

直線回転導入機『MD16／MD40／MDG40』

MD16/MD40シングルシャフト・MDG40デュアルシャフト直線回転…

『MD16／MD40／MDG40』は、真空中の試料や機器に大気側から 直線運動と回転運動を伝達するトランスファーアームとして使用できる 磁気駆動の直線回転導入機です。 特定の直線位置に設定できる調整可能なストップリングと アクチュエーターをロックするための止めネジが搭載されています。 【特長】 ■シングルシャフト直線回転導入機 　・ロードロックからメインチャンバーへ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

アジレント社製ターボ分子ポンプ 305シリーズ

アジレント社中型 ターボ分子ポンプです。 ワイヤレス通信で動作設定・…

アジレント社製 305シリーズターボ分子ポンプはオイルフリー、取り付け位置自由な中型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなど...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

真空グリッパー　FQE

多品種・多数量の小物ワーク搬送にばっちり！段替えなしで多様なワークの取…

汎用真空グリッパー FQEは、吸着面にスポンジや吸着パッドを使用した小型のロボットハンドです。 隙間のあるワークや位置が定まっていないワーク、様々なサイズのワークの一括搬送等に非常に有効です。 1つのハンドで様々なワークに対応できるため、従来であれば必要だった、ワークに合わせたハンドの設計や交換作業が不要になり、...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

スプリングプランジャー（上下スプリングタイプ） FSTA-HD

上下のスプリングでワーク・装置の負荷を軽減！

スプリングプランジャーは、吸着時の高さ調整や衝撃を緩和するための真空パッド用のアクセサリです。 FSTA-HDシリーズは、上下にバネのあるスプリングプランジャーです。 取付位置より上の部分にもバネがあるため、ワーク上昇時に高さ制限のある場合や、高負荷によって取付フレームが湾曲してしまう場合にも、調整することが可能です。 また、本体のロッドにステンレスを使用しているため、...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

真空グリッパー　FXP/FMP

”段替え”を削減、幅広い業界に対応する汎用ロボットハンド

汎用真空グリッパー FXP/FMPシリーズは、吸着面にスポンジや吸着パッドを使用した大型のロボットハンドです。 真空パッドでは吸着が困難な隙間のあるワークや位置が定まっていないワーク、様々なサイズのワークの一括搬送等に非常に有効です。プレス間搬送ロボットやパレタイジングロボット等の産業用ロボットに取付けて使用します。 真空グリッパーの構成は、真空...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

オーダーメイド式軽量ハンド SLG

オンライン設計システムで最適なハンドを手軽に設計！

と重さを入力します。 2. 搬送動作の選択 搬送動作（垂直移動、水平移動等）や加速度を入力します。 3. 真空パッドの配置 推奨される真空パッドが自動的に配置されます。配置されたパッドの径や位置を変更する事も可能です。 オリジナルのワークの場合、任意のパッドを選択し、配置する事ができます。 4. 真空発生器の有無 真空発生器の有無（一体型、外付け型等）を選択します。 5. 使用する...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

非接触真空パッド　SBS

プリント基板・シリコン型太陽電池・液晶基板・包装資材等の搬送に好適！

が発生しないため、ワークの2枚取りを防止 ・吸着時にエアクッションを挟むため、搬送時のワークとの接触が最小限 ・マークレスゴム製のブレーキパッドが付属（取り外し可） 　横ずれを軽減し、搬送時の位置決めをサポート ・吸着面中央に緩衝用ゴムが付いたタイプもラインアップ。太陽電池用ウェハーやセルなど、壊れやすいワークに対応。 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

真空エジェクター： EJ-SLG-MEDIUM

【軽量・大真空流量】真空エジェクター / EJ-SLGシリーズ EJ-…

• 非集中型用途に理想的 • いくつかの取り付けオプションのおかげで、設置と位置決めが容易 • ロボットまたはEOATへの直接組み込みのために軽量 • G3/8"真空ポート • 組み込み型サイレンサー • 真空ポートは、複数の真空接続（パッド・センサー） • エアー供...

メーカー・取り扱い企業： リンケージ株式会社 東京オフィス

角型ベローズ　RBL60×60

特別な四角型のベローズカップです。小荷物のハンドリングおよびレイヤー全…

します。 ・圧縮変形しにくく、弾性記憶に優れます。 ・DURAFLEX製サクションカップは、ゴムの弾性とポリウレタンの優れた耐摩耗性を兼ね備えた特殊材料から製造されています。 ・長方型カップの位置決めが簡単にできるよう、ロック操作の前のスイベルフィッティングオプションが利用可能です。...

メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社

真空エジェクター、大気圧急速開放弁付 - EJ-ATM

多段タイプの真空エジェクター / EJ-ATM EJ-ATM-LINE…

cの組み込み型真空スイッチ付、 -> 事前設定済み (-30、-50および-70 kPa)、PNPおよびNPNバージョンで利用可能 • 真空ポート、インラインまたはL型 • 1つの3ポート/2位置のバルブで真空エジェクターとATM開放装置を制御します • アルマイト処理済のアルミ製マニホールド • 複数のG1/8"真空ポート • 2つの2段EJ-SMALLカートリッジで利用可能 (EJ...

メーカー・取り扱い企業： リンケージ株式会社 東京オフィス

*高真空ダイカストシステム「VACU2シリーズ」

マルチステージ 真空プロセスにより、ダイカスト(アルミニウム/マグネシ…

ら真空引きを行います。この2段階排気により、従来の1段階排気タイプと比べ、キャビティ内の真空度が劇的に良化、鋳造欠陥をより減少させることが可能です。 •高精度プロセス監視システム 4か所の異なる位置での圧力測定値を監視することで精度の高いプロセス制御が可能です。更に、この圧力値監視システムにより稼働状態を正確に把握することで、生産効率を高めます。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

蒸着モニター / コントローラー （膜厚計）

精密で安定な蒸着をお手伝いいたします

・マルチセンサー機能/標準で２センサの同時計測が可能、8センサまで拡張できます。複数のセンサは水晶寿命時の自動切り替えのバックアップ用として使用したり、複数の位置のレート測定値を平均演算処理してレート/膜厚制御に使用するなどの利用ができます。 ・多種多様な多層膜のプログラムが可能/98種のフィルムプログラムを定義可能で、それらの組み合わせで99ステップまで...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

振子式高真空バルブ　Series 16.2

コンパクトな真空封止用バルブ

サイズ: DN 200-550mm (8“ – 22“) アクチュエータ 圧空作動式: 単動シリンダー 、閉動作はスプリング（NC） 3位置圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC） ボディ材質: アルミニウム 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、ASA-LP、JIS リーク量 ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2

フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ

特長 1. 開および閉位置での機械的なロックです 2. パーティクル発生が少ない 3. 金属と金属が擦れないため、Oリングで摩擦がほとんど起きません 4. 可動部品がありません ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ライボルト社ターボ分子ポンプ

オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。 …

＜主な仕様＞ 排気速度：90 l/s～450 l/s 到達圧力：5×10e-8 Pa フランジ：ICF、ISO-K 取付位置：自由 冷却：自然空冷・強制空冷・水冷 弊社ではライボルト社・ファイファー社・エドワーズ社・アジレント社 のターボ分子ポンプを販売しております。 仕様はカタログ及び弊社のホームページをご...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

真空ゲートバルブ　SERIES 12.1

VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ

カスタムソリューション アクチュエータ -緊急手動操作時ロック可能な電磁弁 -2重リミットスイッチ（開、閉それぞれの位置に2つのリミットスイッチ付き) -耐熱リミットスイッチ: アクチュエータの最高ベークアウト温度140℃ バルブ -お客様の真空システムに挿入取り付け（ボディなし） -表面処理 例: 硬質...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

超高真空導入機、ゼロレングス覗窓

UFC フランジを使用した超高真空対応の各種導入機です。【アルバック／…

2Paから超高真空領域まで使用可能 ○豊富なラインナップ →微小電流用のBNC コネクタ式、 　大電流用、高電圧用など各種ラインナップ [TDU/TSUシリーズ] ○固定が容易 →任意の位置でハンドル部の固定が可能 ○低ガス放出構造 →軸シールは、ステンレス鋼製溶接ベローズを使用し、 　真空中のベアリングは無潤滑で清浄（TDUシリーズ） →TSUシリーズはベアリングを大気側に配...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

Smart film Vacuum Conditioner

PET Filmの前処理　&　Filmの熱収縮の調整　＆ITO膜の連続…

mを無張力で熱処理して0.1%以下の極低熱収縮Filmを生産 • 均一な基板温度に加熱可能 (基材の平坦化) • プラズマ区間（Treatment）がRewinding Chamberに位置してProcess Chamber•の高真空を維持 • Squeeze Valveを利用してProcess Chamberの真空を維持したまま、Winding Chamber Vent 及びFi...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ

ドライスクロールポンプ　IDP-3

オイルフリー、コンパクトデザイン、ハイパフォーマンスを実現したドライポ…

「IDP-3」は、革新的なハーメチックデザインにより、モータ及びベアリング部が 真空スペースの外側に位置するため、吸引されたガスから完全に隔離すること ができます。 システムへのインテグレーションが容易で、多種多様なアプリケーションに対応致します。 バリアン特許のスクロール技術を用い、軽量、コン...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

新開発：1軸/2軸精密ウォブルスティック

精密ウォブルスティックは、超高真空チャンバー内の繊細な操作のために開発…

高真空内でのデリケートで 精密な操作のために特にデザインされており、シャフトの動きが大気圧と 超高真空圧差の影響を受けないので、滑らかに制御が可能です。 ハンドルを放しても、シャフトは同じ位置にとどまります。 UHV-SPMでのチップ及びカンチレバー交換、サンプル搬送、 更にデリケートな取扱いを要求される作業に好適です。 【主な用途】 ■UHV-SPMでのチップ及びカンチ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

ドライポンプ　ＧＸＳシリーズ

半導体プロセスでの経験と実績を基に、最新のテクノロジーを搭載した、工業…

パージ機能の選択や排気ポートの取り出し位置や洗浄オプションを装備しており、 アクセサリ等幅広い選択肢を準備しております。 また、堅牢構造で長期メンテナンスフリー。 高効率インバーターモーターの採用で電力消費量を低減。 詳しくは、カタ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

三双機工の液状材料応用装置総合カタログ

多種多様な液状材料応用装置を取り揃えております。

室用真空注入装置 【その他関連品】 ・注入処理用パレット ・溶剤洗滌ユニット ・部品洗滌ブース ・トリップノズル ・液圧検知器 ・沈殿解消機　　　　他 【制御関連】 ・注入位置コントローラー ・オンラインサービス　他　 ※【カタログダウンロード】より目次が参照頂けます。 資料の送付をご希望の方は【お問い合わせ】よりどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三双機工

流速・流量計測機器　ピトー管式流速・流量計システム FV-21

配管抵抗の小さなピトー管を用いた 経済的な流速流量計システム。

【製品の特長】 ○計測値の移動平均時間の設定が可能　0～18秒 ○流速及び流量表示桁の設定が可能　小数点位置を0～3桁で選定（例 0.000m3N/h） ○流量出力スケーリングの設定が可能　（例 0～300m3N/h→DC4～20mA） ○流量補正演算の標準状態を0°C状態、20°C状態の設定可能（m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所

クリスタルゲージ

圧力単位はPa、Torr、mbarの中から任意に選択！広範囲の圧力測定…

を直読可能 ■2つの不揮発性セットポイントを標準装備(オプションで6点まで可能) ■リークテスト機能により1x10^-5atm・cc/sec以上のリークを検出 ■ゲージヘッドは小型・軽量で取付位置の制限なし ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： バキュームプロダクツ株式会社

『万能小型用 特殊真空吸着パット』

径が比較的小さくクッションのある特殊パットを使用！多品種で小さい品物に…

く操作できます。 また、流路にエアホールがない為にゴミ詰まりがなく、弁に球を 使用しているので、摩擦・故障が少なくメンテナンスが不要です。 【特長】 ■多孔基板とし必要に応じてパット位置を変更可能 ■径が比較的小さくクッションのある特殊パットを使用 ■ワークと真空ポンプ（エジェクタ）距離が離れていても対応可 ■1つの吸引源で同時に多くの真空パットが使用可能 ■電気制御、取付...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社サン・テクニカル

PISCO　ロボットハンド　HML　ピスコ

ロボットにピスコの真空パッドを最大16個取付可能なフレームシステム。

換アタッチメント』を 各ロボットメーカーに合わせて用意。 ⇒※概ね6kg以下の可搬質量のロボットを対象にしております。 曲げ形状により強度を確保。 アルミ素材で超軽量。 バーには、位置決めに大変便利な目盛りを付き。 パッド配置に合わせた特注品も小ロットで対応可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社南出工機 本社

CKD 高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しま…

ローズの形状最適化により高い耐久性。 アルミボディ採用で軽量化。 実力値300万回の圧倒的な耐久性（当社規定条件にて）。 【設置・配管の自由度アップ】（パート7シリーズ） 4方向の任意の位置に操作ポートを選択可能。 4面すべてに動作位置検出用の超小形スイッチの搭載可能。 【長寿命・低発塵】（パート3シリーズ） バルジ一体成形法により、流路が流線形で表面が滑らかでガス溜りなし。...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

ベローズ式回転導入機

ベローズ式回転導入機

度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が２°±０.５°のコンパクト回転導入機と、０.５°の高精度回転導入機の２タイプをご用意致しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

エドワーズ社ターボ分子ポンプ

オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。

"＜主な仕様＞ 排気速度：84 l/s～400 l/s 到達圧力：5×10e-8 Pa フランジ：ICF、ISO-K 取付位置：180°（水平まで） 冷却方法：自然空冷・強制空冷・水冷 弊社ではライボルト社・ファイファー社・エドワーズ社・アジレント社 のターボ分子ポンプを販売しております。 仕様はカタログ及び弊...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

ファイファー社ターボ分子ポンプ

オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。

"＜主な仕様＞ 排気速度：10 l/s～2,950 l/s 到達圧力：5×10e-8 Pa フランジ：ICF、ISO-K、ISO-F 取付位置：自由 冷却方法：自然空冷・強制空冷・水冷 弊社ではライボルト社・ファイファー社・エドワーズ社・アジレント社 のターボ分子ポンプを販売しております。 仕様はカタログ及び弊社のホームページ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社