使用流量 | イプロスものづくり

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燃料流量計『MODEL P001/P002/214-591』

PR広い流量測定範囲と低圧力損失！高圧用ラジアルピストンタイプの高精度燃料…

『MODEL P001/P002/214-591/295』は、高圧用ラジアルピストンタイプの高精度燃料流量計(50MPa耐圧仕様)です。 1000：1以上の燃料流量レンジャビリティーを低圧損で、 0.005～200cc/min(MODEL P001・出力：12000P/cc) 0.06～120L／hr(MODEL P002・出力：1000P/cc) 0.3～600L/hr(MODEL 214...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東洋コントロールズ
小型でも目詰まりしない超微細粒子の噴射用スプレーノズル

PR【アトマックスノズルAM６型】極めて少ない流量の液剤を微細な粒子で…

アトマックスノズルAM6型は、極めて少ない流量の液剤を微細な粒子で噴射する作業に適しております。噴射の圧縮気流量も、従来型のスプレーノズルに比較し小流量で細かな粒子を得ることができます。主な使用用途として、半導体ウェハへ精密スプレイ・電子部品・機能部品材料の製造過程において極少量の噴射・散布、コーティングが挙げられます。 ※詳しいスプレーノズルの詳細は、PDFをダウンロードいただ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アトマックス
大流量ガスフィルター『HF170シリーズ』

20"と40"の長さが選択可能！LCD及び半導体産業のバルクガスアプリ…

『HF170シリーズ』は、PTFEろ材を採用し、直径を大きく設計したフィルターです。高い捕捉効率が保証できると同時に、大流量を実現し、フィルター交換時間の短縮も可能。更に、PPコアセンターとポリエステルネットカバーと組み合わせた設計のため、フィルターの変形を避けられます。【特長】 ■PTFEろ材を採用 ■直径を大きく設計 ■高い捕捉効率を保証 ■大流量を...

メーカー・取り扱い企業：日本コベッタ株式会社
POUガス精製器 NuPure UltraPure Dryer

各種ガス中のH2O（不純物）をppbレベルまで除去いたします (<1p…

NuPure ポイントオブユース（インライン）ガス精製器ドライヤーシリーズ、は各種ガス中のH2O（不純物）をppbレベルまで除去いたします。既存のガスラインに設置していただくだけで使用が可能です。小流量から大流量まで対応可能で、再生して繰り返し使用していただく事が可能です。詳細は弊社までお問い合わせください。（*本製品は高純度ガス用となります）...NuPure ポイントオブユース（インライン）ガ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エムアイティ
大流量セラミックガスフィルター

流量500L/minから3,000L/minまでの一次側バルク・ガスラ…

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。 ...【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○使用可能流体はN2、O2、Ar（バルクガス）です。 ○推奨流量は500〜3,000L/min（60〜180m3/Hr）です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
高濾過精度オールメタルガスフィルター

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。全ての材質にＳＵＳ３１６Ｌを使用。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量までの幅広いラインナップをご用意しております。...【特徴】 ○濾過精度は０.００３μｍです...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
微少流量超小型セラミックガスフィルター

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されて…

取り付けスペースの狭いシリンダーキャビネットや装置などに最適です。...【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○推奨流量は10L/minです。 ○設計圧力は17MPa（2,465PSIG）at20℃です。 ○最高連続使用温度は120℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1900

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。様々な接続タイプをご用意しており、容易に取...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-800シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するた...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
石油バーナー用フィルター【焼結金属フィルター用途事例】

■長所・大流量設計・高精度部品・豊富な形状・カスタマイ…

オイルバーナーは、オイルバーナーは、灯油を熱源とするセントラル・ヒーティング・システムで使用されます。フィルターはノズルを通ってバーナーへ噴霧される前の最終油ろ過として利用されます。素　　材：ニッケル合金プロセス：フィルター ■アプリケーション詳細・最終油ろ過・2 段階ろ過 ■長所・大流量設計・高精度部品・豊富な形状・カスタマイズ設計・...

メーカー・取り扱い企業：ダイアエンタプライズ株式会社本社
低圧力損失メタルガスフィルター

歩留まりを大幅に向上

(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。フィルター構成部材全てにＳＵＳ３１６Ｌを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく高耐熱性を発揮致します。窒素ガス（Ｎ２）をフィルターＩＮ側圧力０．２ＭＰａで流したときのＯＵＴ側圧力損失は△０．０５ＭＰａで９０ＳＬＭの流量を実現しました。また、定常流・脈動下において濾過精度０．００３μｍをＣＮＣで確認、サブミクロンＵＬＳＩ製造で歩留まりを大幅に向上致し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
【耐圧力/高温高性能気体液体用】フィルターMicraSteel

高純度プロセス・腐食性ガス、液体、分析機器用途、真空ポンプによる真空下…

ヘッド材質：SUS316L(内部電解研磨処理) ボウル素材：SUS316L(内部電解研磨処理) 接　続　径：1/8" NPT、1/4" NPT 圧　　　力：10Pa～35MPa 最大使用流量：20 L/min or 50 L/min or 60 L/min 寸　　　法：Φ38～Φ67×96～149H ド　レ　ン：無しエレメント寸法：Φ12～Φ25×32～178H ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社テクネ計測
高純度ガスろ過用フィルター『Gasfenderシリーズ』

0.003μmまでの精密精度！高温高圧の条件でも高精度なガスろ過を実現

『Gasfenderシリーズ』は、電子分野用ステンレス材を採用した製品です。コンパクトな構造で、高温高圧の条件でも高精度なガスろ過を実現。半導体プロセスのガスろ過に好適です。また、大流量、低圧損で優れた耐化学薬品性があります。【特長】 ■大流量、低圧損 ■電子分野用ステンレス材及び内面電解研磨処理 ■優れた耐化学薬品性 ■100%ヘリウムリークテスト ...

メーカー・取り扱い企業：日本コベッタ株式会社
GasPro 高温用ガスフィルター　TEM-700シリーズ

最高使用温度　400℃対応の高性能メンブレンガスフィルター

GasProTEM-700シリーズは、反応性のガスやハロゲン化マイクロエレクトロニクスガス用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、フィルター材質は0.01ミクロン。大流量で低いデルタPが必要なケース、またスペースが限られているところに最適です。本体はグラスファイバーとSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されており、類似サイズのメンブレンフィルターよりも10～20倍高い...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
【高性能気体・液体用】フィルター　Micra Gold

圧縮空気・真空ポンプによる真空下でのろ過、分析機器用途、ガス分析、複数…

ヘッド材質：アルミニウムボウル素材：ポリカーボネート、アルミニウム接　続　径：1/8" NPT、1/4" NPT 圧　　　力：-90PaG～1.6MPa 最大使用流量：20 L/min or 50 L/min 寸　　　法：Φ38～Φ67×96～149H ド　レ　ン：有無選択エレメント寸法：Φ12～Φ25×32～64H ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社テクネ計測
粗取り用オールメタルガスフィルター

幅広い濾過精度に対応

(株)ピュアロンジャパン製　ガスフィルターです。定常流・脈動下において濾過精度０.１〜１０μｍまでの幅広い濾過精度に対応。フィルター構成部材で腐蝕性材料は使用しておりませんので腐蝕や二次生成物の恐れはありません。専用のベーキングヒーターの併用によりＡＰＩＭＳの測定で脱ガス(水分量)１.２ｐｐｂを達成しました。継続使用により０.１ｐｐｂレベルまで可能です。...【特徴】 ○濾過精度は０.１、０...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
低圧力損失ＰＴＦＥガスフィルター

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造

(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.０１μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。...【特徴】 ○濾過精度は０.０１μｍです。 ○推奨流量は４０〜３００Ｌ/ｍｉｎ各種です。 ○最高使用圧力は０.９８ＭＰａ（１４２ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
高耐圧用ＰＴＦＥガスフィルター

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した…

全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.００３μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。...【特徴】 ○濾過精度は０.００３μｍです。 ○推奨流量は４０Ｌ/ｍｉｎ、１５０Ｌ/ｍｉｎ各種です。 ○ハウジング設計圧力は２０.６８ＭＰａ(３,０００ＰＳＩＧ、２１０ｋｇｆ/ｃｍ２)ａｔ２０℃です。 ○最高使用圧力は０.９８ＭＰａ（１４２ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用温度は１２...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイC-22ハウジング製

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性…

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。フィルター構成部材には、フィルターハウジングにハステロイC-22を、そしてフィルターエレメントにはセラミックスを使用しております。これら全ての部材は、HBr、HClなどのハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。...【特徴】 ○濾過精度は0.003μｍ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
ハステロイオールメタルガスフィルター

全ての材質にハステロイを使用

(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去します。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量まで幅広いラインナップをご用意しております。従来のメタルフィルターと比較して圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。...【特徴】 ○濾過精度は０.００３μｍです。 ○推奨流量は１...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1400

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。様々な接続タイプをご用意しており、容易に取...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1300

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。様々な接続タイプをご用意しており、容易に取...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1100

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。様々な接続タイプをご用意しており、容易に取...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1800

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。様々な接続タイプをご用意しており、容易に取...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1200

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。様々な接続タイプをご用意しており、容易に取...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1500

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。様々な接続タイプをご用意しており、容易に取...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-200シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するた...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-400シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するた...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-300シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するた...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-100シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するた...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-500シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するた...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルターTEM-900シリーズ

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。様々な接続タイプをご用意しており、容易に取...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
高精度ガスフィルター『GTFシリーズ』

広いろ過面積！当社の高精度ガスフィルターをご紹介

『GTFシリーズ』は、PTFE メンブレンと超高密度プリーツ技術を採用した製品です。広いろ過面積で、大流量と低圧力損失を実現。最小のろ過精度は0.003μmであり、ガス中の粒子を高い捕捉効率で確実に除去します。また、全品出荷前に完全性試験を行います。【特長】 ■PTFE メンブレンと超高密度プリーツ技術を採用 ■大流量と低圧力損失を実現 ■最小のろ過精度は0....

メーカー・取り扱い企業：日本コベッタ株式会社
高濾過精度低圧力損失ＰＴＦＥガスフィルター

安定した濾過性能

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.００３μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。...【特徴】 ○濾過精度は０.００３μｍです。 ○推奨流量は４０〜３００Ｌ/ｍｉｎ各種です。 ○最高使用圧力は０.９８ＭＰａ（１４２ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用差圧は０.５ＭＰａ（７２.５ＰＳ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ