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【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化(No.2220)
PR【試読できます】-成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄-
書籍名:先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 --------------------- ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか! 新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 --------------------- ■ 本書のポイント 1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社技術情報協会
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PR高真空で使用できる ハーメチックコネクタです!
D-Sub・USB・LAN・HDMI・BNC/SMA/SHV同軸等、各種端子を取り付けたハーメチックコネクタです。オーダーメイドにも対応いたします。 ■高強度・ローアウトガスのエポキシ樹脂で密封し、気密性を保ちます。 ■中高真空~加圧環境で使用できます。 ■D-Subタイプや同軸タイプ、LAN・USB・HDMI・同軸コネクタタイプは標準品でご用意しています。 ■ご希望のケーブル、ハウジ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社テクサム
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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』
一次室の流路にフィルターを内蔵!特に純度の高いガスでも安心してお使いい…
『S-TORRV50/50SHシリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した ...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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用途に合う圧力調整器が見つけやすい!単位換算や用語解説など基礎知識も掲…
当社が取り扱う様々な圧力調整器(減圧弁)の情報をまとめた 選定ガイド『圧力調整器選定の手引き』を進呈中です。 ガス溶断・溶接、アーク溶接、分析装置、半導体製造など 用途別の分類により気になる製品の情報をスムーズにご覧いただけます。 複雑化が進む圧力調整器選定の効率化に、ぜひお役立てください。 【お役立ちポイント】 ◎豊富なラインアッ...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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接ガス部のネジ構造を排除!パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調…
本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いている TORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 【特長】 ■ジボラン専用二段減圧式機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次側低圧用中流量機種!組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンル…
『TORR-150シリーズ』は、接ガス金属部表面粗さがRa0.25μmで、 電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施。 一次低圧用の大流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次室の流路にフィルターを内蔵している液化ガス、腐食性ガス用大流量機種
め、出荷検査を全数に実施。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 【特長】 ■“半導体ガス用圧力調整器の代名詞”とも言える圧力調整器 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテスト...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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電解研磨仕様品の製作も可能!"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言え…
『TORR-50/80シリーズ』は、Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施している高純度ガス用圧力調整器です。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施。一次室の流路に フィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 一次低圧用の中流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。 【特...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次側高圧用中流量機種!一次減圧設備に広くご使用いただいております
『S-TORRV2300シリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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内部リーク発生を低減!一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備…
『TORR-2300シリーズ』は、電解研磨仕様品の製作も可能な 高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施。 一次高圧用の中流量機種として「TORR-1300」よりも流量の求められる 一次減圧...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次側高圧用標準機種!電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整…
『TORR-1300シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次室の流路にフィルターを内蔵!減圧後の設備に幅広く使用可能な圧力調整…
高純度ガス用圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。組立は全数0.3μmクラス1000の クリーンルームで行っています。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 【特長】 ■一次側低圧用標準機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施 ■一次室の流路にフィルターを内蔵...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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半導体ガス用圧力調整器の代名詞!Heリークテストを含め、出荷検査を全数…
『TORR-800シリーズ』は、TORRシリーズで最大級のサイズの圧力調整器です。 通常の圧力調整器と同じ操作感で使用可能な調圧ハンドル式の 「TORR-800Gシリーズ」と、より大きな流量が供給可能なパイロット式の 「TORR-800Mシリーズ」が選択可能。 また、「TORR-800Mシリーズ」よりも更に大流量の供給が可能な 「TORR-800Fシリーズ」もあります。より流量を...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次側低圧用大流量機種!"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧…
『TORR-350シリーズ』は、一次低圧用の大流量機種として液化ガスの 大流量供給設備や大口径配管などでお使いいただける圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、 フィルターを内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 【特長】 ■一...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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小型のアウトレットパネルを設計可能!装置への組み込みにも好適な圧力調整…
【その他の特長】 ■半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリー...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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出荷検査を全数に実施!一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生…
『TORR-2500シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次高圧用の大流量機種として「TORR-2300」よりも流量の求められる ガス供給設備などで使用可能。Heリークテストを含め、出荷検査...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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ご希望の仕様に合わせて都度製作!Heリークテストを含め、出荷検査を全数…
実施。 フィルターを内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 ご希望の仕様に合わせて都度製作しますので、ご用命の際はお気軽に お問い合わせください。 【特長】 ■“半導体ガス用圧力調整器の代名詞”とも言える圧力調整器 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■一次高圧用の大流量機種 ■最大220m3/h(nor)供給可能 ■フィルターを内蔵していな...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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