水素フリーDLC（ta-C）『TETRAスリック』

PR難加工材用の切削工具、半導体向けの極細切削工具などの高硬度化・長寿命化…

水素フリーDLC（ta-C）『TETRAスリック』は、 高硬度で優れた耐摩耗性を実現するコーティングです。 薄膜仕様のため、厳しい精度が求められる加工物に適しています。 高い密着性で長寿命化が実現できるほか、耐熱特性に優れているのも特長です。 【用途例】 ■アルミニウムやチタン等の難加工材用切削工具・極細ドリルなど ■精密金型（半導体封止モールド用金型・レンズ成形・曲げ型・樹脂...

メーカー・取り扱い企業： 日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社

薄くて軽い！ ケイドン「超薄型ボールベアリング」

PRわずか4.76mmの断面寸法を実現。省スペース・軽量化により、設計自由…

ケイドンの『超薄型ボールベアリング』は断面寸法が小さく、省スペース化と軽量化を実現しており、設計の自由度が向上します。 内径は25.4~1016mm、断面寸法は4.76~25.4mmまで幅広くラインアップ。 4点接触型、アンギュラコンタクト型、深溝型があり、特殊環境での使用も可能です。 【特長】 ■専門メーカーとして量産体制を確立しており、短納期にも対応 ■ボールベアリングのため...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社木村洋行

テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社『高機能シール』

超高真空用高機能メタルシールのご用命は当社にお任せください！

当社では、超高真空、半導体、原子力、繊維、自動車、航空宇宙等、 各種産業用高機能メタルシールをご提供しております。 主な製品として、メタル中空Oリングやバネ入りCリング ヘリコフレックス(R)、 メタルCリングなどを取り扱っております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【取扱製品】 ■航空宇宙 　・燃...

メーカー・取り扱い企業： テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社

サクションカップ B5　半導体用EPDM製　新発売

半導体用にEPDM製吸着パットがリリース！

従来のシリコン、クロロプレン製カップに、新たに半導体用EPDM製の材質でリリースをしました。 小さくて薄いワークをはがすための動作に好適で、高さ調整に適しています。 また、導電性シリコンのサクションカップは、静電気対策が必要なワークの取扱いに適し...

メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社

半導体向けドライポンプとオンサイトサービス

SEMICON Japan 2023でサブファブ向け最新ソリューション…

日本ブッシュは「Your Complete Sub Fab Partner（あなたのサブファブ・パートナー）」をテーマに SEMICON Japan 2023に出展し、半導体製造プロセスにおける安定性、安全性、効率性を支援するソリューションをご紹介します。 【みどころ-1】 ハーシュプロセスにおいて従来比２倍の耐久性を誇るドライポンプや、当社特許取得済みのガス除害装置など、最新の真空テクノ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

LEMO■半導体製造装置用コネクタ

「過酷な環境下の使用」にも耐えるLEMOコネクタ。その信頼と実績により…

LEMOコネクタは、 振動・引っ張り・ねじれ・衝撃などにさらされる過酷な環境下での使用に十二分に耐え、 狭い場所での作業や短時間での作業などに特に有効に働いています。 またステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの装置で 数多くのモデルが半導体製造装置で採用されています。 ■下記のような環境下でも使用出来るコネクタをお探しの際は是非お問合せ下さい。 ・高密度...

メーカー・取り扱い企業： 丸紅エレネクスト株式会社

半導体用真空ポンプの世界市場シェア2023

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル半導体用真空ポンプのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を10月20日に発行しました。本レポートでは、半導体用真空ポンプ市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供し...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

感度特性バツグン！『真空制御用レギュレータ』

繰返し性に優れ、広領域の真空制御を実現！配管から外さずに保守も可能！

フェアチャイルド社製『真空制御用レギュレータ』は、極めて高い感度特性で 大気圧近辺の浅い真空域から最大－96.8kPaまで制御可能です。 ラインアップは4種で、いずれも繰返し特性に優れ、安定した制御を実現！ 複ダイアフラム式構造で、適正な面積と柔軟な素材により 感度特性は125Paと超高感度です。 分析装置サンプルガス導入系制御、搬送系制御や各種試験装置、 半導体製造装置及びタ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

【ハーメチックシール】光デバイス用ステム＆キャップ

半導体素子の気密封止にペアで活用！細やかな仕様変更にも柔軟な対応いたし…

ハイジェント株式会社では光通信技術を支える高周波用パッケージを主力に、【半導体レーザ 】【産業用】【光センサー】などのガラス端子（ステム）や多様な工業製品の心臓部を守る水晶振動子用のハーメチックシール製品等をご用意しています。 ガラスとセラミックス加工技術の両方を応用できる強味を生かしながら、用途や材料の特性に応じた製品開発を柔軟に追求。 安定した品質と高度な気密性・絶縁性によって精密電子部品...

メーカー・取り扱い企業： ハイジェント株式会社

メタルシール採用事例：半導体製造用化学物質キャニスター

樹脂製やエラストマー製のシール材質が使えない物質に朗報！メタルシールを…

当社の「HELICOFLEX デルタシール」が化学会社のキャニスター用 シールに採用された事例をご紹介いたします。 化学会社のキャニスター用シールの仕様は、真空と正圧の両方を ヘリウムリークタイトできる信頼性と、耐久性に優れることなので、 樹脂製やエラストマー性の採用はできませんでした。 採用後は、ヘリウムリークタイトを実現し、通常よりも設計締付圧力が 低いことによりボルト荷重が下がり、スペー...

メーカー・取り扱い企業： テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社

半導体分野向け低設計締付圧力Y『超高真空用デルタシール』

デルタシール(HNV HELICOFLEX(R)DELTA) は、超高…

デルタシール(HNV HELICOFLEX(R)DELTA) には、断面の接触側に2つのデルタ形突起があります。 デルタ形突起は、フランジ溝組込時の外被圧縮時につぶれて消えるように 設計されており、デルタシールの設計締付圧力はヘリコフレックスシールに 比べて低い為、エラストマー製Oリングとの交換が可能になります。 漏れ量：*円形の場合10⁻¹²Pa・m³/sec.(10⁻¹¹atm...

メーカー・取り扱い企業： テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社

過酷環境向けメタルシール

加速器をはじめ、航空宇宙、核融合炉など過酷な環境で使用されています！

当社のHELICOFLEX(R)ばね入りCリング・メタルシールは、クリティカルアプリケーション向けの高度な シーリングに対応しています。 標準以外の構造として、締過ぎ防止用内部リミッターを備えている「HL」や ばねに特殊加工を施し低設計締付圧力を実現したタイプ「HNR」などをご用意。 加速器をはじめ、航空宇宙、核融合炉、原子力発電所、極低温、 半導体製造設備など過酷な環境で使用さ...

メーカー・取り扱い企業： テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社

CKD 高真空用エアオペレイトバルブ AVB

【太陽電池、ＦＰＤ、半導体製造工程に】長寿命、高耐久性を実現。高い信頼…

【長寿命・高耐久】（パート７シリーズ） 独自構造により長寿命と使い勝手を向上したスタンダードモデル。 成形べローズの形状最適化により高い耐久性。 アルミボディ採用で軽量化。 実力値300万回の圧倒的な耐久性（当社規定条件にて）。 【設置・配管の自由度アップ】（パート7シリーズ） 4方向の任意の位置に操作ポートを選択可能。 4面すべてに動作位置検出用の超小形スイッチの搭載可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

株式会社アドバンテック　事業紹介

確かな技術力と強固なグローバルネットワークを武器に世界へと挑みます。

株式会社アドバンテックは、国内５拠点、海外８拠点で事業を実施し、半導体及び液晶業界のお客様からご愛顧をいただいております。 半導体装置等で使用されるテスト用ウエアー販売事業や、使用済みのウエハー等を再資源化するリサイクル事業に取り組み、企業様からシリコン材料等の有価廃棄物を買取らせて頂いております。 さらに環境事業での排出権取引やカーボン・オフセット事業、太陽電池関連事業を実施しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アドバンテック 愛媛本社

真空ポンプ用高性能オイル浄化装置『サン・オイルクリーナー』

特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・汚染物を同…

大成技研の『サン・オイルクリーナー』は、半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにしており、油回転真空ポンプ用オイルに混入する酸を中和、ゴミやパーティクル・水分を除去し循環させることで常にオイルをクリーンに保ちます。 特に連続運転され毎月のようにオイル交換をしている油回転真空ポンプでは劇的...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

真空・吸着パッド　UFシリーズ / VMECA

半導体搬送に最適！「UFシリーズ」は薄く傷つきやすい物の搬送にぴったり…

VMECAの真空パッド「UFシリーズ」は、フラットタイプで吸着痕防止の搬送用吸着パッドです。 ■ UFシリーズの特長 －半導体搬送に最適 －吸着面の溝＆薄いリップ部分で、 　薄く傷つきやすいワークの搬送に最適！ 【アプリケーション】 ・薄いフィルム ・ディスプレイ ・半導体 ・薄い金属シート（ホイルシート）など ※詳しくはカタログをご覧いただくか...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タツタ

成形ベローズ NW-KF『CEV-20000』

真空配管用成形ベローズです。NW（KF）フランジ付きです。

『CEV-20000』は、中日技研工業株式会社が取り扱う、 真空配管用成形ベローズです。 真空用の柔軟なベローズにNW（KF）フランジが付いた製品です。 真空配管の寸法調整や誤差吸収、及び振動吸収用として使用できます。 【特長】 ■バネ定数の小さい柔軟なベローズ ■製作口径：NW16～NW100 ■製作全長（ L ）はご指示ください。 ■繰り返し耐久寿命が長い製品です。...

メーカー・取り扱い企業： 中日技研工業株式会社

金属ベローズ（ステンレス製蛇腹）

高い耐圧性と長寿命の『成形ベローズ』、小さなスペースで高い伸縮性を発揮…

『成形ベローズ』 ◆マイクロエレクトロニクス及び半導体製造向け ・真空バルブ向けの高疲労限界メタルベローズ ・高い柔軟性を持つダイアフラム型ベローズ ・高い清浄度が要求される用途向けフレキシブルメタルホース ・光学用途向け精密ベローズ/ アクチュエータ ◆バルブシャフトベローズ ・高品質バルブに使用されるグランドパッキンを使用しないベローズシール ◆真空機器用メタルベローズ ・真...

メーカー・取り扱い企業： ウイツエンマンジャパン株式会社 本社

【取扱製品掲載】パッキン・ガスケット・Oリングのことならお任せ！

事業所連携を行い工業用の封止材・ゴム製品・樹脂製品・金属製品を小ロット…

当資料は、株式会社サンヨーが取り扱う製品を多数掲載しています。 当社は「パッキン」という小さな部品からはじまりましたが、 そこから派生して取扱商品も拡がり、ゴム・樹脂・金属などをアッセンブリー またはユニット化した商品も含め、あらゆる産業に数多くの商品を提供しています。 シール製品をはじめ、配管機材製品や半導体・真空関連、食品医療用製品、 建設機械用部品などをラインアップ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンヨー 大阪支店

磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-451

全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーショ…

「磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-451」は、電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【特長】 ○先進のロータテクノロジ →高いプロセス柔軟性 →オイルフ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No78

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.78です。【アルバッ…

「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.78」は、真空に関する最新技術資料です。 次世代半導体用ナノカーボン材料の開発動向をはじめ、大容量PCRAM 向け量産装置と プロセスの開発や、アルバックにおけるSiC パワーデバイスの量産技術開発進捗 などを掲載しています。 今なら最新技術...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

低価格マスフローコントローラ　MC-10RC series

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備え…

気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

*ドライポンプACPシリーズ

業界トップクラスの基本性能

•クリーンアプリケーション用途 •長期メンテサイクル、約2年半（22,000時間）連続運転が可能　※ACP15は20,000時間 •パーティクルレスでクリーンな排気 •空冷式：冷却水不要　※ACP120Gのみ水冷仕様 •Heリークレート5×10-9 Pa m3/s　⇒ガス回収、ガス循環に最適 ※CPバージョンの場合 •様々なアプリケーション向けに、多彩なラインアップをご用意 1. 標準...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

プを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工具や金型・半導体用治具の生産に多数使用中。 Ｓｉエピタキシャル成長時やエッチング時のの塩素系ガスの排気にも応用可能。 主ポンプのの水封式真空ポンプもALLステンレス製を採用し耐食性にも優れた専用真空排気システム...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

立体製品作成事例集プレゼント

工業素材の各種加工を画像で紹介。59の加工事例が載っている事例集。

平間ゴム機材は、Oリング・指フック・オイレス製品・ベルトなど工業用ゴム製品及びプラスチック製品の販売などを手掛けております。 立体加工の事例集では、各種工業用製品の立体加工の参考事例をご紹介しております。 【事例】 ●ゴム加工 ●シリコン加工 ●プラスチック加工 ●CR加工 ●ウレタン（ウォーター加工） ●打ち抜き加工 ●ミーリング加工 他多数ご紹介しております。 【...

メーカー・取り扱い企業： 平間ゴム機材株式会社

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

ゴムシール製品　納入実績

お客様の要望に応じたオーダーメイド品を設計から量産までお手伝いさせて頂…

ターター用シール(FKM)など 様々な自動車/建設機械用製品を納入。小ロット製品から24h稼働可能な (株)ホロン精工で自動車向け大量品を製造しております。 そのほかにも、産業用、電子/半導体用、医療/食品設備用製品の 納入実績が多数ございます。 【納入実績(一部)】 ＜自動車/建設機械用製品＞ ■ビスカスカップリング用Xリング(FKM) ■カーエアコン　コンプレッサー用シ...

メーカー・取り扱い企業： 正和産業株式会社

第17回"超"モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」を受賞！

17年連続受賞！半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ…

『"超"モノづくり部品大賞』とは、日本のモノづくりの競争力向上を支援 するため、モノづくり日本会議様と日刊工業新聞社様が実施されている、 「産業・社会の発展に貢献する部品・部材を対象に選出している」賞です。 2020年 第17回の"超"モノづくり部品大賞では、「高精度流量バルブ」が 「機械・ロボット部品賞」を受賞いたしました。 「高精度流量バルブ」は半導体製造プロセス用に当社が新...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

株式会社AlphaPlus　取扱製品紹介

真空部品や真空システムの販売などを行っています。

株式会社AlphaPlusは、韓国にある真空部品や真空システムの販売などを行っている会社です。 各種蒸発源や各種の超高真空装備に使用されるイオンポンプなどの「真空部品」、各種蒸着機、金属や無機物薄膜製造に使用されるスパッタリング蒸着機、ベーパライゼーション蒸着機などの「真空システム」、多くの金属や無機物薄膜製造に使用される「スパッタリングガン」などを取り扱っております。 【取扱製品】 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AlphaPlus

株式会社サンヨー　事業紹介

パッキン・ガスケット・Ｏリング・樹脂成型等、最適な御提案を実施します

株式会社サンヨーは「パッキン」という一つの小さな部品からスタートしました。 現在ではその「パッキン」から派生して取扱商品も拡がり、ゴム・樹脂・金属などをアッセンブリーまたはユニット化した商品も含め、あらゆる産業に数多くの商品を提供しています。 これからも個性的な商品を創出し、お客様により多くの感動を与えられるよう常に挑戦していきます。 【営業品目】 ○一般産業機器関連製品 ○半導体・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンヨー 大阪支店

真空レギュレータ

超高感度な真空レギュレータ。大気圧近辺の低真空域も確実に制御

ーフェアチャイルド社製真空制御用レギュレータは極めて高い感度特性を持っています。 ー大気圧近辺の浅い真空域から最大-736ｋPaまで制御することが可能です。 ー製品シリーズはモデル16及び大流量型モデル1600Aからなり、何れも繰返し特性に優れ、安定した制御を保証します。 詳しくはお問合せいただくかカタログをダウンロードください。...ー製品は複ダイアフラム式構造で、適正な面積と柔軟な素...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

高久産業株式会社　事業紹介

クリーンな環境と厳しい品質管理、高い生産性と優れた技術開発力！

多様化する容器形状・内容物、そうした幅広いニーズに応える多彩なパッキング・ソリューションを私たち高久産業は提供しています。 また、その中で蓄積してきた樹脂加工の経験とノウハウをコア技術として、衣食住に関わるものからIT、環境といった分野まで、快適で安全な環境作りに向けたコラポレーションにも取り組んでいます。 この2つの軸が、それぞれに伸展し、ときに交差しながら、新しいアイデアが生まれ多彩な製品...

メーカー・取り扱い企業： 高久産業株式会社