回転ポンプ | イプロスものづくり

PR機械的強度と耐薬品性を兼ね備えたパッキン。非常に高い耐熱サイクルも発揮

『S-5400』は非常に高い耐薬品性を持つ有機繊維をPTFEディスパージョンで処理し、断面角形に編組後、潤滑油で更に処理を行った、機械的強度・耐薬品性を兼ね備えたスペシャルパッキンです。回転ポンプ、撹拌機、ミキサーなどの回転機器での使用に適しています。【特長】 ■優れた耐薬品性を持つ白色系パッキン ■高い機械的強度を持つ繊維を基材に使用し、優れた耐摩耗性を実現 ■...

メーカー・取り扱い企業：ソーワ工業株式会社

【特許技術】静音性に優れた「完全回転バランス型シリンダ装置」

PRシリンダの小型化/静音化でお悩みの方必見。機械的損失を大幅に抑えた高効…

完全回転バランス型シリンダ装置は、従来のレシプロ方式で生ずるピストン往復運動による機械的損失がありません。＜完全回転バランス型シリンダ装置の特長＞ ■従来のピストン運動によるエネルギー損失がありません ■水・オイル無しでの稼働を実現 ■レシプロ方式で見られる振動騒音をおさえました【応用分野】 ■空圧コンプレッサー(エアコン、冷蔵庫等) ■真空ポンプ ■気体・液体等の流体移送ポンプ ■気体圧...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ケイ・アール・アンド・ディ (Ｋ．Ｒ＆Ｄ)

超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』

スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転！スピンコート機ACT-2…

『ACT-200SM-S』は、1,000～60,000rpm±1％以下（試料台Φ20実績値）の超高速回転が可能な卓上型スピンコーターです。薬液の揮発性が高くスピード重視、粘性が高めでより強いスピンが必要、さっと広げてごく薄い膜を得たい・・・そのような課題をお持ちであれば是非超高速回転による遠心力をご検討ください。基板サイズΦ3～Φ50mmに対応し、基板の保持方法は両面テープやピン保...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

信頼性と目的にあわせた個別設計が特徴の真空ポンプユニット大容量と堅牢性が特徴の油回転ポンプ・水封式真空ポンプ・ドライ真空ポンプ・メカニカルブースタを組合せ専用排気装置を個別設計・製作メカニカルブースタ多段化・封液循環ユニット・ダストフィルタ・圧力制御機構など豊富なオプションで幅広...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

モータ・コントローラ一体型BPS-i100ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。コントロ...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP！　4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

4軸同時駆動の卓上型スピンコート機『ACT-220AII-4axis』のご紹介です。 2軸、3軸、4軸同時処理（起動）が可能で、枚様式でありながら4枚同時にスピンコートできます。処理する基板が小型（丸基板の場合はφ100、四角基板の場合は□70mmまで）の場合は是非ご検討下さい。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

超小型スピンコーター　SC-155G

グローブボックス内でも邪魔にならない超小型のスピンコーター

外形寸法　W195mmｘD195mmｘH195mmでグローブボックスのパスボックスも通るサイズです。スピンコーターの基本性能は維持しており、カップ内径も150mmあるので、□70mmまでの試料を処理できます。 ...*試料サイズ：10～70mm角 *試料台　　：１個付属　デルリン製（その他希望に応じます） *回転制御：DCモーター使用 *回転段数：2段階、タイマーデジ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イーエッチシー

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

BPS-4Hポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。電子的にロータ回転数を制御するので、...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

高機能ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ源3源+3系統（MFC制御）、RF/DC PSUの増設（最大2電源まで）...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

親水・洗浄・密着強化『回転式真空プラズマ装置』

乾式で『粉体や固体全面』の『表面改質(親水・洗浄・密着強化)』を一括処…

『粉体や固体全面』など様々な材料の『親水化』『洗浄』『密着強化』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂ける回転式真空プラズマ装置！通常のプラズマ装置はサンプルとプラズマが触れていない底面などの接触部分は処理できず裏返す工程が必要となっていました。本製品はチャンバーが回転する事によりサンプル全面に均一なプラズマ処理一括処理する事ができます。【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

自立型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-700AII』

□360mm、20インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-70…

アクティブの『自立型スピンコーターACT-700AII』はφ500mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の装置です。 1分間の回転数を0～3000の範囲で設定でき、その精度は±2rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パター...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上式マニュアルスピンナー

シンプルデザインの卓上式マニュアルスピンナー

◆シンプルデザイン、コストパフォーマンス ======================================== ＜仕　様＞試料サイズ…Φ2インチ〜 Φ6インチカップ径…Φ300mm 回転範囲…100〜5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…ACサーボモーター回転表示…デジタル回転数設定…液晶タッチパネルレシピ設定…10プログラム×50パタ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

アーク放電型イオンプレーティング装置「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

／6.7×10^-3Paまで15分 ○排気操作方法／自動 ○基板加熱／MAX350℃ ○成膜方法／自動 ○成膜速度／2500Å/min(Tin 100A) ○蒸発電源／10kw ○油回転ポンプ／D-950DK ○高真空ポンプ／TS-440 ○所要水量／18ℓ/min ○所要圧空／0.5MPa以上 ○所要電力／27KVA ○床面積本機／約1300W×1000D×2040H ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

大型機・自立型スピンコーター

大型基板にも対応！研究、実験用にも適したアクティブの自立型スピンコータ…

アクティブのスピンコーターは大型基板にも対応可能です。対応基板サイズ（カップ径）が大きくなると装置サイズも大きく重くなります。卓上にのせると作業高さが使いにくくなるのもあり、自立型として製作しております。自立型はアジャスターを縮めることでキャスターが接地するので移動も楽です。対応基板サイズ（カップ径）の小さい卓上型スピンコーター同様、インターロックセンサー付き安全カバー、基板吸着圧...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』

複数材料の多層膜が成膜可能！高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置…

『AFTEX-6000シリーズ』は、低圧で高密度のECRプラズマ流と、スパッタ粒子を直接反応させることにより、低温・低ダメージで高品質の薄膜を形成します。 ECRプラズマ源2基を搭載し、全自動搬送・成膜ができ、多層膜形成に最適。【特長】 ■広範囲な膜種による多層成膜 ■高屈折率制御が可能 ■高速で成膜が可能 ■低温・低ダメージで高品質、高結晶性 ■基板および成長面のクリ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式…

卓上型マニュアルスピンコーターは、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です。条件設定は操作パネルのタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式 ○条件設定は操作パネルのタッチパネルで実行 ○各処理モード中はタッチパネル上に各モード表示 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

回転体計測向けコネクター『スリップリング』※解説資料を進呈

モーターなど回転体の温度計測に活躍！低ノイズで耐熱性も良好

当社では、回転体の温度やトルク、ひずみ、加速度などの測定で回転体への電力供給や、固定側への計測信号伝送する際に活躍する『スリップリング』を取扱っています。低ノイズのためセンサー信号の微小電圧に対応。回転体の加熱およびリアルタイムでの温度計測が可能です。【特長】 ■低速回転用から高速回転用まで幅広くラインアップ ■中空一体型とセパレート型をご用意 ■－40～120℃...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東測

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

【デモ機貸出中！】卓上型スピンコーター

省スペースなスピンコーター　排気装置もこの一台に内包　インナーカップ方…

『卓上型スピンコーター』は、平滑な基材を高速回転させることで遠心力によって塗膜を生成する装置。主に半導体製造工程で活躍します。塗布サイズはMAXφ150～MAXφ450（卓上型／インナーカップ方式）をラインアップしています。また、デモ機の貸出や実際に弊社にてテスト的に厚み測定を行う事も随時受付ております。ご興味有る方はぜひお気軽にお問合せ下さい。 ※詳しくはカタログダウンロード、...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　スプレー現像装置

【デモ機貸し出し可能！】一度に数枚のワークを処理できます

本機はスピン式のスプレー現像装置で、自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、乾燥を行います。一度に数枚のワークを処理できます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○スピン式のスプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、乾燥を実行 ○一度に数枚のワークを処理可能 ○現像液は予めタンクで電子冷熱機により恒温に保たれポンプで循...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは、200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

プラズマドライクリーナー　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

・卓上型、低コスト、高性能タイプ・実験用から本格量産まで使用可能・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション）・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載・標準油回転ポンプ付標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平...

メーカー・取り扱い企業：ヤマトマテリアル株式会社

高精度・高速回転スピンコーター『ACT-300A II-HS』

MAX12000rpm！高精度な高速回転スピンコート機ACT-300A…

『ACT-300A II-HS』は、MAX12,000±2rpmの高精度・高速回転が可能な卓上スピンコーターです。粘性が高いスピンコート液や揮発しやすいスピンコート液で高速回転で速やかに液を塗り拡げたいなど、標準機の回転数では足りない場合には、是非高速回転をご検討ください。こちらをベースにした特注（オプション追加）も承れますので、お気軽にお問い合わせください。 1ステップの動...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

精密自動滴下スピンコーター『ACT-300AIIS』

㎕レベルで制御可能な精密自動滴下！　卓上型スピンコート機ACT-300…

『ACT-300A IIS』は、マイクロシリンジポンプを搭載したマイクロリットルレベルの精密自動滴下が可能な卓上スピンコーターです。最大15系統の液の滴下が可能で、ご要望に応じてエアブロー、エッジリンス・バックリンス等も搭載できます。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII』

高性能・低価格！6インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-30…

アクティブの人気機種『卓上型スピンコーターACT-300AII』はφ150mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の標準機です。薄膜を得たい基板のサイズがACT-220AII（最安値機種）の範囲内であっても、将来基板サイズが大きくなることを考慮しこちらを選ばれる方も多いです。低価格ながら1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-220AII』

高性能・低価格！研究、実験用にも適した小型のスピンコート機ACT-22…

アクティブの人気機種『卓上型スピンコーターACT-220AII』は弊社のスピンコーター標準機の中で最も小型の手動滴下用スピンコート機です。約18kgと女性でも持てる程度の重さで持ち運びができるため、場所を選ばずご使用いただけます。低価格ながら1分間の回転数を0～7000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

加熱スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII-H』

注目度高し！　試料台の加熱が可能な卓上型スピンコート機ACT-300A…

最近お引き合いの多いアクティブの人気機種『ACT-300A II-H』は、アルミ製試料台の直下にヒーターを内蔵した加熱式の卓上型手動滴下用スピンコーターです。基板をのせる試料台を加熱するので、例えばワックスなどある程度基板が温まっていないと伸展性の悪い液をスピンコートする際に便利です。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-400AII』

□150mm、8インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-400…

アクティブの『卓上型スピンコーターACT-400AII』は□150mm、φ200mm基板まで対応するコストパフォーマンスのよい手動滴下用の標準機です。 1分間の回転数を0～5000（基板サイズ等の条件が合えば6000rpmも可能）の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-450AII』

□180mm、10インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-45…

アクティブの『卓上型スピンコーターACT-450AII』はφ250mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の標準機です。 1分間の回転数を0～5000（ワークによっては6000も可能）の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-500AII』

□220mm、12インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-50…

アクティブの『卓上型スピンコーターACT-500AII』はφ300mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の標準機です。 1分間の回転数を0～5000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パタ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

自立型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-600AII』

□300mm、16インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-60…

アクティブの『自立型スピンコーターACT-600AII』はφ400mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の装置です。 1分間の回転数を0～3000の範囲で設定でき、その精度は±2rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パター...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

マニュアルスピンコーター

シンプルデザインのマニュアルスピンコーター

◆シンプルデザイン、コストパフォーマンス ---------------------------------------- ＜仕　様＞試料サイズ…Φ2インチ〜Φ6インチカップ径…Φ300mm 回転範囲…100-5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…AC サーボモーター回転表示…デジタル回転数設定…液晶タッチパネル薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

ホローカソード方式イオンプレーティング装置　SIH-400T

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

D/Gun　水冷ハース　電源 ○ワーク保持機構　自公転治具 or 公転治具 ○ワーク加熱ヒーター　シースヒーター ○測定系　ピラニー真空計　ペニング真空計 ○排気系　複合分子ポンプ　油回転ポンプ ○バイアス電源　100V-10A ○ボンバード電源　500V-1A ○ガス導入系　4系統【所要諸元】 ○サイズ　本機：約W1340 × D1120 × H1938 ○重量　本...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型

φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付

MSC-300型は、φ2"～φ6"基板対応のディスペンサー付卓上型マニュアル式スピンコーターです。ディスペンスアームを2本備え自動で塗布できます。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ディスペンサー付 ○φ2"～φ6"基板対応 ○卓上型マニュアル式 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-500型

300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式！

MSC-500型は、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式スピンコーターです。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式【仕様】 ○外形寸法：W550×D550×H358 ○モーター：750...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

回転体温度計測を必要とされている方向け【スリップリング資料進呈】

回転体の温度計測で活躍！低ノイズそして耐熱性も良好なスリップリング

当社のスリップリングは、低ノイズのためセンサー信号の微小電圧に対応しており、耐熱性にも優れています。リアルタイムでの温度計測そして加熱を必要とする現場で活躍しています。【特長】 ■低速回転用から高速回転用まで幅広くラインアップ ■中空一体型とセパレート型をご用意 ■－40～120℃の幅広い使用温度範囲 ■適切な製品選定で寿命アップ ■短納期で急なご要望にも対応可能 ■設置環...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東測