クーラント廃液 超省エネ減容化装置【産廃量1/20に削減！】

PRクーラント（水溶性加工油）廃液の95％以上減容化を実現！産業廃棄物処理…

NC旋盤やMCなどを用いた金属加工工程をお持ちの製造業様でのクーラント （水溶性加工油）廃液の削減事例になります。クーラント廃液を産業廃棄物 処理しているため、環境負荷およびコスト削減を実現したいという課題を 抱えていました。ヒートポンプサイクルを利用した超省エネ減容化装置を 利用する事で大幅に廃液を削減しました。 【事例概要】 ■課題 ・クーラント廃液を産業廃棄物処理しているた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンアップ

泡立て専用ミキサー『KZM-90H』

PR3つの撹拌軸で効率化と高品質を実現できる泡立て専用ミキサー

メレンゲ・生クリーム・ジェノワーズ等の泡立てに特化。 なめらかな仕上がり、口どけの良さを実現。 生産現場への落とし込みも容易です。 本体は従来までのステンレスボディを採用。 偏心金物は洗浄性が大幅に向上しております。 【特長】 ■衛生面と安全面の追及 ■仕上がり時間の大幅な短縮 ■仕上がりの品質の違い ■既存のKDM-90(2軸)を3軸へ変更可能 （KDM-90用のステンレスボールはその...

メーカー・取り扱い企業： 関東混合機工業株式会社 本社（東京）、札幌出張所、仙台出張所、名古屋出張所、大阪出張所、福岡出張所

エッチング銘板【特殊メッキによる超耐候性を実現！】

ステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより、超耐候性を実現！最大150…

ることによって腐食（エッチング）させ、そこにできた凹部に塗料を入れて、文字や線・図柄を表現する方法です。当社のエッチング銘板の特徴は、腐食しやすいステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより超耐候性を実現し、耐久性を要求される重電、重工、船舶、工作機、各種産業機器などの銘板に最適です。 【特長】 ■ステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより、超耐候性を実現。 ■国内最大級（1500mm X...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーホー 本社

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

エミネント式現像エッチング剥離ライン

高いエッチング均一性！特許取得の左右交互斜めシャワーで実現しました

東京化工機の『エミネント式現像エッチング剥離ライン』は、 均一性90％以上のエッチング精度を誇る、エッチング剥離ラインです。 標準偏差、上下1.1μmを実現。 銅箔/コア/銅箔：3/40/3μmの安定搬送。 特許取得の左右交互斜めシャワーにより、エッチングの均一性を 実現しました。 【特長】 ■進化したエッチング精度、均一性90％以上...

メーカー・取り扱い企業： 東京化工機株式会社 本社・長野工場

PECプロセス装置

シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹…

メータ設定できます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■10mm□小片チップからφ6インチウェハ ■GaN 低ダメージエッチングが可能 ■シンプル構造で低価格を実現 ■高速な深堀エッチング可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

従来型の容量結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP型）とのハード上の互換性も高く低コスト・高い信頼、稼働率の実現に寄与。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ナイトライドエッチ用　石英ナイトライド・リフラックス・システム　ACCUBATH

ナイトライドエッチ用　石英ナイトライド・リフラックス・システム　ACC…

信頼性と安定性に富んだナイトライドエッチ用　 石英ナイトライド・リフラックス・システム 【特徴】 ○適切な純水供給量により、安定した沸点管理を実現 ○±0.2℃の温度管理を実現 ○アクシアシールTM（オプション）によるシール部の冷却機構により長寿命化、 　30ヶ月の保証を実施 ○Si3N4エッチ（ナイトライドエッチ）のもっ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒロテック 東京営業所

回路形成材料　アデカエイフェススーパーシステム

自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理

回路形成材料「アデカエイフェススーパーシステム」は、専用エッチング液「アデカケルミカＴＦＥ－３０００シリーズ」により、サブトラクティブ法による微細配線を実現します。ピッチ２５μｍ以下ＣＯＦにおいて、高エッチファクターの回路形成を可能にします。自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理により、安定したファインエッチングを提供します。詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

Ion Beam Delayering装置/半導体物理解析

半導体故障解析 歩留まり解析 リバースエンジニアリング マイクロ…

半導体故障解析における材料層の層剥離や除去に対して、迅速な結果を提供する費用対効果の高いソリューションです。広い面積にわたって、優れた均一性と最小限のダメージを実現します。複数のイオンビームエッチング技術を使用することにより、単一層の異なる材料のエッチングレートを一致させることができ、化学組成に関係なく層全体を均一に除去することが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

イオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』

高いスループットを実現！大面積イオンソースと高度なモーションコントロー…

当社のイオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』を ご紹介いたします。 大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 高いスループットを実現。 特にMarathon(TM)グリッドは、従来の方式に比べ、長期に渡り 良好な均一性を得ることが出来ます。 【仕様】 ■イオンビームシステム ■プロセス温度：-40℃～+60℃ ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

エッチング銘板

最大1500ミリX3000ミリの大型エッチングが可能！ 独自の特殊メ…

事が出来るので、デザイン性の高い商業施設の銘板や各種サインなどに高付加価値をもたらすことができます。当社のエッチング銘板の特徴は、色剥離しやすいステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより、超耐候性を実現したことです。それにより耐久性を要求される重電、重工、船舶、工作機、各種産業機器などの銘板にも最適です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーホー 本社

エッチング装置　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄

ソフトエッチング・小径穴洗浄ラインは、理想的なノズル配置により技群の面精度を実現したエッチング装置です。直進性の高いスリットで小径孔を洗浄し、高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施します。板厚50μmのワークも搬送可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧くだ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

ICPエッチング装置　RIE-800iPC/RIE-400iPC

真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご…

800iPC/RIE-400iPC』は、SiCトレンチ形状の25枚連続加工の安定性を 誇るICPエッチング装置です。 高RFパワー(2 kW以上)を効率よく安定して印加可能で、良好な均一性を実現。 また、反応室に直結した排気システムを採用することで、小流量・ 低圧力域から大流量・高圧力域の幅広いプロセスウィンドウを実現しています。 【特長】 <RIE-800iPC> ■最...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

ICPプラズマエッチング装置『SERIO』

平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！

ERIO』は、Si深掘り、石英の垂直加工、有機膜のエッチングなど 幅広い用途に対応する高密度プラズマエッチング装置です。 実績豊富なICPプラズマ電極を搭載し、平滑なエッチング面と高い 加工精度を実現。スキャロップの無い平滑なエッチングが可能で、 ナノインプリントモールドの作成に適しています。 平滑なエッチング側面、加工面の垂直性、開口部の角度制御などナノイン プリントモールドに必要な多くのプ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

エッチングでは表現できない凹凸　アルミ押し銘板

通常加工では難しい、立体感のある形状を実現

大型のプレス機により表、または裏からアルミ剤をプレス加工することにより、 通常の加工では出来ない立ち上がりを実現します。 エッチングでは表現できない凹凸が特徴です。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーホー 本社