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602件 - メーカー・取り扱い企業
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実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…
ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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「FHR.Star.600-EOSS」は、精密な光学フィルター成膜用と…
高再現性が求められる高機能光学フィルターの安定生産に力を発揮します。 ・シリンダー型カソードによる、ターゲット消耗による膜質変化の影響を廃した製膜 ・リアクティブイオンソース搭載による、酸化膜の安定成膜 ・最大4基のカソードの搭載による、幅広い多層膜の成膜 など、高品位な光学薄膜成膜に特化した装置です。 特徴 ■傑出した光学多層膜の再現性 ■優れた膜厚均一性 ■シリンダー型カソードとスパッタアッ...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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DLCコーティング, DLC装置「低温成膜」「はがれにくい」
プラズマイオン注入方式により、様々な形状の金属、樹脂、ゴム素材にダイヤ…
DLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングは、プラズマイオン注入成膜装置を使用し低摩擦なDLC膜を成膜します。 【特徴】 ■複雑形状のワークにも対応可能 ・ワーク自体をプラズマの生成源とすることで形状に沿ってプラズマが形成され、 複雑な形状や内部に...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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高レート イオンビーム・スパッタ高速成膜装置(HR-PVD)
誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜
従前のマグネトロンスパッタでは成膜レートが低くなるAl2O3、SiO2などの誘電体、 Feなどの強磁性体の成膜で力を発揮する高速イオンビームスパッタ(IBD)装置です。 ヘリコンプラズマソースをイオン源とし、そこから得られた高密度...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』
In-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応!独FHR社製高速…
『FHR.STAR-400x300SALD』は、200mmウェハあるいは 400x300mmまでの基板やテキスタイルの成膜に対応した 高速成膜ALD(Spacial ALD)装置です。 400x300の基板では10mm厚迄の3次元形状への均一な成膜が可能。 従来のサーマルALD方式に較べ高速で成膜できるためデ...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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2インチから12インチウェーハへの成膜が可能です。
株式会社エナテックのCZウェーハ 成膜加工は、膜種により2インチから450mmウェーハへの成膜が可能です。 酸化膜系:熱酸化、RTO、LP-TEOS、HDP-USG、P-TEOS、PSG、BPSG、BSG、LP-CVD、PE-CV...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エナテック 東京本社
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太陽電池の成膜をインクジェットプロセスで開発『微小液滴吐出装置』
pL、nLオーダーの溶液を狙った位置に吐出可能! デッドボリュームの…
、 ドット配置、またBMP画像を使用した複雑な描画に対応できます。 微量な溶液でも液導入ができ、 デッドボリュームの少ない実験/評価が可能です。 また、薄膜太陽電池の研究開発において成膜工程をマスクレスで行えます。 スピンコーターの代替えにより、デッドボリュームの少ない成膜や 溶液を非接触で塗布する為、立体的な構造や薄膜基板にも成膜が可能です。 医療分野については、微量な...
メーカー・取り扱い企業: クラスターテクノロジー株式会社 本社
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FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板…
FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板成膜装置です。 【特徴】 ・低温(150~300℃)成膜 ・4.5世代ガラス基板に250℃で100nmのSiO2膜をスループット 25枚/h以上の成膜 ・シンプルメンテナンス ・低...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置!実験~量産に幅広く対応…
当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。 【ドライエッチング機種(一例)】 Pishowシリーズ: ■シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能 ■幅広い温度の工程に対応...
メーカー・取り扱い企業: 日星産業株式会社
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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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難しい材料、様々な基板形状、用途にも!非常に幅広い基板サイズに対応可能
当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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ポリパラキシレン成膜に特化した装置です。メーカは35年以上、ヨーロッパ…
本製品は、密着性よくパリレンを成膜できる装置です。研究やR&Dだけでなく、量産にも対応できる装置を販売しております。また、装置の販売実績は50台を超えており、生産ラインで既に使用されております。 本装置の特徴は、次の通りです。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー
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φ200mmウェーハまで対応!成膜・エッチングの両用が可能なプラズマC…
『210Dモデル』は、誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma:ICP)による、成膜装置です。 現場でのハードウエアの交換により、十数分の作業時間で、 誘導結合プラズマエッチング装置として使用する事が可能。 コンパクトな機体に多彩なオプションで、薄膜の堆積やトレンチのパターニン...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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高温環境で使用でき、高機能材料を活用!
当社では、高機能材料を活用した『接合・成膜』を承っております。 「ガラスペーストを使用した気密接合」をはじめ「メタライズ無しの 直接ろう付け」や「粉末触媒や金属ペーストを積層させた電解セルの 作成」などが可能。 試作開発に1...
メーカー・取り扱い企業: 石原ケミカル株式会社 高機能材料
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【一枚、一個から量産まで】~真空成膜、薄膜加工の専門メーカーが手掛ける…
★真空成膜のパイオニアとして60年以上の実績! ★進化に対応できる高度な技術と生産体制 ★強固な経営基盤/ジオマテックは業界トップクラスの成膜技術を生かして、受託成膜加工のさまざまなご依頼にもお応えしてお...
メーカー・取り扱い企業: ジオマテック株式会社
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少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式…
A200Vは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・犠牲膜等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした枚葉式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 ・絶縁膜・拡散/インプラマスクの成膜に好適 ・枚葉式Face-down成膜による低パーティクル成膜 ・密閉式チャ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』
教育機関や小規模施設などに!タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システ…
『Plasma POD シリーズ』は、小型でコンパクトな 卓上タイプエッチング・成膜装置です。 設置スペースに限りがあり、低コストでエッチング・成膜装置の 導入をご検討されている方にお勧め。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■装置最大サイ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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デッドボリュームの少ない成膜が可能! スピンコーターの代替に好適!【…
「InkjetLabo」は、シンプル&多機能なインクジェット式吐出装置です。 この装置により、成膜プロセスで発生する以下の各種問題点が解決出来ます。 1.デッドボリュームを減らしたい! 2.コーヒーリング現象を回避したい! 3.塗布基材の形状が平面でなかったり、立体構造への塗布が...
メーカー・取り扱い企業: クラスターテクノロジー株式会社 本社
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ポリパラキシレン(パリレン)とALD(原子層堆積法)による無機酸化物層…
パリレンは生体適合性を持つ高機能樹脂ですが、無機酸化物と比較するとガスバリア性が低いという欠点があります。そこで、パリレンと酸化物をサンドイッチのように交互に成膜することで、バリア性の高い、高機能膜を生成することが可能になり、製品の小型化や薄膜が求められる医療用アプリケーションに最適です。 パリレンとALDは同一チャンバ(In-situ)で真空を破ることな...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー
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複数材料の多層膜が成膜可能!高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置…
X-6000シリーズ』は、低圧で高密度のECRプラズマ流と、スパッタ粒子を 直接反応させることにより、低温・低ダメージで高品質の薄膜を形成します。 ECRプラズマ源2基を搭載し、全自動搬送・成膜ができ、多層膜形成に最適。 【特長】 ■広範囲な膜種による多層成膜 ■高屈折率制御が可能 ■高速で成膜が可能 ■低温・低ダメージで高品質、高結晶性 ■基板および成長面のクリーニング効...
メーカー・取り扱い企業: JSWアフティ株式会社
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部品加工から成膜まで一括受託はもちろんのこと支給材も承ります!セラミッ…
高機能材料を導入したい、、、。けれども高価すぎて手が出せない。そんな時には溶射で問題解決です!! 溶射はセラミック、金属、サーメットなど幅広い膜種に対応可能!現行使用している部品に溶射・成膜することで高機能材料と同様の効果が期待できます。 たとえば、「耐熱性」「耐磨耗性」「離型性」等を向上させたい。。。そのようなお困り事が御座いましたら是非溶射・成膜のご検討、またお気軽にご相談くださ...
メーカー・取り扱い企業: ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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スパッタ成膜機を導入し自社内でもスパッタ成膜が可能に!お客様のご要望に…
弊社はこの度スパッタ成膜機を導入し 自社内でもスパッタ成膜が可能になりました。 〈こんな経験ありませんか?〉 ・基板洗浄もしてほしい ・1バッチ内での成膜条件は固定? ・1バッチの枚数固定?1枚でも増えると2...
メーカー・取り扱い企業: テクノプリント株式会社
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高生産性の成膜システムを提供しております
当社では、ガラス、金属箔、ウェハ、ポリマーフィルム、フレキシブルガラスといった 材料に薄膜機能層を成膜するための先進的な成膜装置を開発・製造しています。 長年にわたって太陽電池に関わり、結晶および薄膜ソーラーパネルの 世界的トップ企業に高生産性の成膜システムを提供。 当社の成膜は高性能...
メーカー・取り扱い企業: フォンアルデンヌジャパン株式会社
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低温で高い結晶性薄膜を得ることが可能!価格を抑えたプラズマ成膜装置
『AFTEX-2300』は低価格ながらマイクロ波分岐結合型ECRイオン源 を搭載するとともに、ロードロック機構、ターボ分子ポンプを装備した 高性能な固体ソースECRプラズマ成膜装置です。 10-30eVの低エネルギーに制御された高密度イオンの照射下で 薄膜が成長するため、原子レベルの平滑性で緻密・高品質な薄膜が 形成されます。 イオンアシスト効果により、高...
メーカー・取り扱い企業: JSWアフティ株式会社
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液相・気相コーティングに関わらず多様な工法でお客様のニーズを全方位でカ…
LD ・DLC ■ウェット ・ディップ ・スプレー ・印刷、転写 ・ダイコーター ・ディスペンサー 装置開発だけでなく、プロセス開発・装置調整、最適な冶具提案、最適な成膜レシピ、成膜作製等、成膜に関する受託サービスを提供いたします。 装置販売だけでなく、成膜受託もお受けしております。 試作作成も可能です。ワークとご要望をお聞かせください。 ※詳しくはお...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブコーティングス
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光学薄膜から機能性装飾膜まで成膜が可能!スパッタ成膜装置
≪独自に開発したRAS方式はさらに進化し、高規格の光学薄膜から 機能性装飾膜まで広範囲の成膜が可能になりました≫ ●波長シフトの無い高密度な光学薄膜形成が可能 ●中間屈折率を利用し光学薄膜設計が容易に ●再現性の良い20nm以下の薄膜を利用し、 光学薄膜設計どおりの成膜が可能...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シンクロン
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800℃以上の基板加熱と反応性成膜が可能!高効率・高品質な成膜が可能な…
『GLAZEシリーズ』は、先端の薄膜成膜用パルスレーザー成膜装置です。 ハイブリッドプロセスによる高効率・高品質な成膜が可能。 800℃以上の基板加熱と反応性成膜が可能で、 マグネトロンカソードも搭載が可能です。 【特...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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生産機としても使用でき、多くのユーザー様で採用されております。
プラズマイオン注入・成膜装置(Plasma Based Ion Implantation & Deposition:PBII&D)とは株式会社栗田製作所と産業技術総合総合研究所関西センター殿と共同で開発し、特許を取得特許第...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部
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1枚からの成膜や異形サイズの基板への成膜も対応可能
PE-CVD成膜の受託加工を中心にスパッタ、イオンプレーティング、蒸着、 EB蒸着による成膜も行っております。 大口径基板への成膜も可能なターゲットもございますので、 お気軽にお問い合わせください。 そ...
メーカー・取り扱い企業: 大村技研株式会社
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パターン加工膜や多層膜加工膜など!膜厚につきましては、都度ご相談に応じ…
当社で行う、「薄膜成膜加工」をご紹介いたします。 ダスト保証品も可能な「熱酸化膜」をはじめ、「Poly膜(ノンドープ、 ドープド)」や「チッカ膜(LP・プラズマ)」、「TEOS膜」など 様々な膜に加工。膜厚につ...
メーカー・取り扱い企業: エムシーオー株式会社
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【お役立ち資料】今さら聞けない表面処理DLCの基礎知識※資料進呈
金属、樹脂、ゴムなどの長寿命化や耐久性向上を検討の方へ。DLC…
株式会社シンク・ラボラトリー -
ダイヤモンドライクカーボン膜(DLC)コーティング加工
金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メ…
株式会社栗田製作所 本社・京都事業部