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23件 - メーカー・取り扱い企業
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PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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PR難燃性・屈曲性に優れた高機能耐熱ホース(最高1,100℃)は、プラズマ…
弊社ドイツ製高機能耐熱ホースは、125℃~最高1,100℃に対応可能な約20種類の豊富なラインナップがございます。 中でも難燃性・屈曲性・耐久性に優れた耐熱ホース製品は、プラズマ切断機、ガス切断機、溶接ロボットのヒューム回収用で実績があります。 その他、フレキシブル性に富んだ高温排気ガス抽出用ホースもご用意をしています! 【実現できること】 ◎ヒューム吸引用の塩ビ(PVC)ダクトホース...
メーカー・取り扱い企業: エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社
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エッチング装置
工面:片面 ○装置構成 :巻出〜エッチング〜水洗〜液切り〜乾燥〜巻取 ○ユーティリティー ・電源 AC200V・220V / 50Hz・60Hz ・市水、純水、冷却水、スクラバー、熱排気、( スチーム ) ○装置寸法 :16m(L)×2.5m(W)×2.5m(H) ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…
・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳しくはPDF(カタログ)をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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エッチング中に発生するガスや蒸気を除去
【特徴】 ■塩化第2鉄エッチング液用活性炭が異臭や酸を吸着 ■エッチングマシーンの排気口へピッタリ差し込め取り付けが簡単 ■乾式フィルターを採用し、取り替えが簡単 ■活性炭カセット代は1時間当たりおよそ25円と経済的 ■活性炭カセット寿命 :150時間 ■排気風量 :約35L...
メーカー・取り扱い企業: サンハヤト株式会社
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【デモ実施中!】使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭…
力 6.0×10-5Pa台 動作圧力 3.0×10-2Pa台 ●シングルステージ 水冷機構 3軸動作 自転・入射角度・円弧移動 不定形基板からMax 6inchiまで選択可能 ●排気系 主排気 TMPまたはCryo-pump 粗引き ドライポンプまたはロータリーポンプ その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…
達圧力:6.0×10-5Pa台 →動作圧力:3.0×10-2Pa台 ○シングルステージ →水冷機構 →3軸動作 自転・入射角度・円弧移動 →不定形基板~Max 6inchまで選択可能 ○排気系 →主排気:TMP または Cryo-pump →粗挽き:ドライポンプ または ロータリーポンプ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201
ガスラインや排気ラインの途中に取り付けて 使うことを想定して開発された、超小型のマイクロ波励起プラズマ源 【特徴】 ○プラズマ室は、高純度アルミナ製で、放電を目視観測可能 ○無電極放電。新方式のマイクロ...
メーカー・取り扱い企業: アリオス株式会社
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ICPエッチング装置 RIE-800iPC/RIE-400iPC
真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご…
は、SiCトレンチ形状の25枚連続加工の安定性を 誇るICPエッチング装置です。 高RFパワー(2 kW以上)を効率よく安定して印加可能で、良好な均一性を実現。 また、反応室に直結した排気システムを採用することで、小流量・ 低圧力域から大流量・高圧力域の幅広いプロセスウィンドウを実現しています。 【特長】 <RIE-800iPC> ■最大Φ8”ウエハ対応 ■放電形式に誘...
メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社
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レーザードリルなどで、ブラインドビア及びスルーホールなどの穴あけ後にス…
チング~中和還元~~純水洗~液切り~乾燥~巻取 ■ユーティリティー:電源AC200V・220V / 50Hz・60Hz 市水、純水、冷却水、スクラバー、熱排気、(スチーム) ■装置寸法:15メータ×2.5mW×2.5mH(概略) ※操作盤、付帯設備は別置き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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搬送速度は1.5m/min、材料幅は350mmまで対応!薬液温度・圧力…
【その他の仕様】 ■ユーティリティー:電源(AC200・220V/50・60HZ)、 純水、市水、圧空、冷却水、スクラバー、熱排気、(スチーム) ■寸法:10.0m(L)×3.0m(W)×3.0m(H) ※操作盤・付帯設備は除く ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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新プラズマ源HCD(ホローカソード放電)電極搭載、各種メタルやCu薄膜…
基本構成を従来型エッチング装置「SERIO」「EXAM」と互換性を持つ高密度プラズマエッチング装置。 チャンバ構造・排気系・電源構成等は従来型エッチング装置「SERIO」とも互換性を持っており、電極交換によりCuエッチング等新プロセス対応にアップグレード可能。 大型基板用にCToCタイプも対応可能 Cu膜など難エ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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ドラフト構造でクリーンルーム仕様!エッチング処理やレジスト除去する装置
」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。 発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能。 使用不可となった薬液(フッ酸、 塩化鉄)と、有機溶剤(アセトン)は付設の専用タンクへ一括排出します。 クリーンルームでも使用できるドラフト構造です。 【特徴】 ○薬液槽、及び純...
メーカー・取り扱い企業: オーエヌ総合電機株式会社
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ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。
【カスタマイズ可な機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ(自動メカ付) ○扉センサー(自動メカ付) ○圧力スイッチ ○温度センサー(恒温度仕様) ○自動消火システム(有機用) ○パトライト ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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RIEモードとDPモードの切り替えが可能!特殊表面処理によるメタルコン…
【仕様(抜粋)】 ■基板サイズ:最大φ12インチ ■プラズマソース:CCP型 ■真空排気 ・低真空プロセス:MBP+DP ・高真空プロセス:TMP+DP ■圧力制御:APC制御 ■プロセスガス:F系、Cl2、Ar、O2、他 ■制御操作 ・制御:PLC ・操作:タッ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた…
【仕様】 ■基板サイズ:最大φ12インチ ■プラズマソース:CCP型 ■真空排気 ・低真空プロセス:MBP+DP ・高真空プロセス:TMP+DP ■圧力制御:APC制御 ■プロセスガス:F系、Cl2、Ar、O2、他 ※PDF資料も合わせてご覧ください。 ※お気軽...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置
・多彩な揺動機構を準備しています。手動タイプから全自動タイプまで、仕様やご予算に合わせてご提案します。 【オプション機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ(自動メカ付) ○扉センサー(自動メカ付) ○圧力スイッチ ○温度センサー(恒温度仕様) ○自動消火システム ○パトライト ○網入り...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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エッチング量(深さ)とウェーハの材質を指定するだけで何方でも容易に使用…
】 ■エッチングレート:2μm/H以上 ■平坦度:10%以内 ■エッチング量(深さ)の精度:±5%以内 ■ユーティリティ:O2、N2、HF、DIW、冷却水、AC-100V、AC-200V、酸排気、酸排水 ■外形寸法:1,000W×1,300D×2,000H(mm) ■重量:約300Kg ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社NAS技研
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スキャン時には周速制御による均一性向上も可能!従来より多数の御使用を戴…
ャン時には周速制御による均一性向上も可能。 本機は低コストで、従来より多数の御使用を戴き実績も豊富ですが、 循環再利用のプロセスには2チャンバーでの対応が必要となります。 廃液・排水、排気のきちんとした分離対応が必要な場合には、 新型のUDS式装置で対応いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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ドライエッチング装置 RIE-10NR(平行平板型RIE装置)
数百台の実績を誇る汎用性に優れたドライエッチング装置。
● 高い選択比と高精度のエッチングが可能。 ● PLCコントロールによる自動運転およびプロセスパラメータの保存が可能。 ● 試料はφ8インチまで対応可能。 ● 高速排気エッチングが可能。 ● コンパクト設計...
メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社
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搬送速度は5.0m/min、材料幅は310mmまで対応!金属箔(ALな…
■Lane構成:1Lane ■材料厚み:20μm~ ■加工面:片面 及び 両面 ■ユーティリティー:電源(AC200・220V/50・60HZ)、 純水、市水、冷却水、スクラバー、 熱排気、(スチーム) ■寸法:15m(L)×2m(W)× 2.5m(H) ※操作盤・付帯設備は除く ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…
【主仕様】 ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着:最大4源点(Model. TE1~TE4蒸着源) ・有機蒸着:最大4源(Model. LTEC-1cc/5cc) ・EB電子ビーム蒸着源:7ccるつぼx...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□
蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…
*ラージチャンバーオプションMiniLab-070(450 x 450 x 450) ・最大基板サイズ:Φ8inch ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着:最大4源(Model. TE1~TE4蒸着源) ・有機蒸着:最大4源(Model. LTEC-1cc/5cc) ・電子ビーム蒸着:7ccるつぼx6(又は...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□
グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…
【主仕様】 ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着:最大4源(Model. TE1~TE4蒸着源) ・有機蒸着:最大4源(Model. LTEC-1cc/5cc) ・EB電子ビーム蒸着源:7ccるつぼx6...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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【省エネ・電力削減】 各ランプ毎に光量調節が可能で10Aタイプ…
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蓄熱燃焼式脱臭装置『Deopo(デオポ)』
装置全体をコンパクト化し組立た状態で運搬する為設置工事を簡略化…
株式会社サーマルプラント -
トップクラスの吐出空気量を誇るオイルインジェクションコンプレッサ
A/Eの吐出ポートの形状改善により圧力損失を低減!独自の圧縮機…
三井精機工業株式会社 -
集塵装置内蔵切断機 アルミ形材用切断機『UCA-400DC型』
簡易集塵装置をビルトインした省エネ&コンパクト切断機 …
株式会社奥村機械製作所 -
電動パワーユニット型 高圧洗浄機 SJME-713SA
バッテリー駆動で場所を選ばず、用途は多様
株式会社シンショー -
実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブ…
ワッティー株式会社 -
従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現
立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動…
株式会社宇野澤組鐵工所 -
【新製品】エアリークを可視化ですぐに検知! 産業用超音波カメラ
圧縮空気・ガスの漏れの「見える化」 圧縮エアー・ガスのリークを…
サニー・トレーディング株式会社 営業本部 -
FOOMA JAPANに実機出展!世界で選ばれ続ける真空ポンプ
従来の油回転ポンプと比較し最大30%の省エネ(当社比)!まずは…
日本ブッシュ株式会社 -
産廃費大幅削減、CO2白煙無し、磁力熱分解処理装置SWP-120
燃料不要電気のみ、月額約10万円、有害ガス排出無し、産廃費大幅…
カッティングエッジ株式会社