【シロキサンフリー】半導体チップ搬送ケース『ゲルベースVタイプ』

PR半導体チップや精密デバイスなどを振動から守り 安全に保管・搬送！シロキ…

★電子機器トータルソリューション展に出展します★ JPCA Show 2024 2024/4/24(水)～26(金) 10:00-17:00 パシフィコ横浜　展示ホール 小間番号：6H-10 ゲルベースは半導体チップや精密デバイスなど細かな部品の工場内、工程内搬送、海外搬送用として使用できます。 搬送時は振動から精密部品を守り、また半導体等部品のデバイス固定用としても大活躍。 粘...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エクシール 本社

【線状・紐状に対応】搬送物が絡みつかない 無軸スクリューコンベア

PR軸が無いので絡まない！通常のスクリューでは搬送が難しい、線状や紐状物の…

当社が取り扱う『無軸スクリューコンベア』は、軸が無いので付着による閉塞の心配がなく、 搬送物が絡みつかない、という大きな特徴があります。 ⇒このため、搬送物が線状や紐状であっても、問題なく搬送可能です！ 有軸スクリューコンベアでは今まで搬送することが困難であった、 し渣やパルパーカスなども安易に搬送することができます。 【事例紹介（製紙業界のパルパー滓の搬送問題）】 ◎課題：パ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイテックサービス

ウェブ搬送ロールのしわ・傷・粘着物による不具合防止コーティング

アメリカ生まれの高耐久コーティング！業界スタンダードとして採用実績多数…

【概要】 ■対象業界：フィルムメーカー ■部品・対象産業：ロール ■困りごと：フィルム搬送性 ■推奨技術：プラズマコーティング ■付与する特性：搬送性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： カンメタエンジニアリング株式会社

ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハ…

基板の枚葉搬送を基本としたロードロックタイプスパッタリング装置、上位機種（マルチチャンバタイプ）のプロセスチャンバと搬送機構を共用。 高いレベルの膜質要求に対応、各種ＩＣ（ディスクリートＩＣ、カスタムＩＣ，化合...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

マルチチャンバスパッタリング装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…

標準仕様では対応の困難な各種用途・基板に積極対応。 Ｒ＆Ｄ・ディスクリート・化合物・ＭＥＭＳ・パッケージ・実装工程・マスク・小型ＦＰＤ　多くの基板に専用機構を用意。 基板のトレイ搬送も標準対応、大気側の基板ハンドリングで異種基板の同一装置での成膜・処理を実現。 各用途専用カソード（ワイドエロージョン・強磁性体・酸化物・リアクティブ用）に加え特殊基板機構（高温加熱・磁場印加・冷...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、パワーデバイスモジュール、リードフレーム、樹脂フィルム、フレキシブル実装基板の量産ラインに対応 搬送機構・クリーニング前後機構をを独自設計、プリント基板・ヒートシンク等のインライン搬送・フレキシブルプリント基板の枚葉搬送など基板や生産量最適に合わせ最適なハード構成を実現。スループット＆高い歩留まり...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

１０‐⁷ｐａの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。 高効率強磁性体用カソードやワイドエロージョンカソードなど成膜機構も選択でき、...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

ｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種プロセスに実績 蒸着・アニール・ＣＶＤなどの異種プロセス室も装備可能で実績のあるメインフレーム（搬送システム）に各プロセス室を自由に接続できるフルカスタム・オーダーメイド製作が特徴 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

化合物半導体ウエハ用非接触ピンセット

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非…

◎特徴 １．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 ２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/4ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーする シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。 全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した 簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種の プロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。 サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォロ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートＩＣ、パワ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

前処理・表面改質-コロナ放電・プラズマ処理

立体形状のワークに対応可能！豊富なアプリケーション電極、周辺機器、搬送…

印刷・塗装前の基材表面の処理(濡れ性向上)を目的とし、フレーム処理とは 異なりガスを使用せずに表面処理を行う事が可能。 立体形状のワークに対応でき、豊富なアプリケーション電極、周辺機器、 搬送装置でプラスチック、金属の混合部品に対して処理が可能です。 【特長】 ■立体形状のワークに対応できる ■コロナ放電･プラズマ処理装置で真空／大気圧トータルで対応 ■豊富なアプリケーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社第一メカテック

プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』

2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献

『SPE-2136A』はφ4～φ6インチウエハに対し、 残渣除去・表面改質・アッシング処理が可能なプラズマクリーナー装置です。 自動搬送機構が付属しており、ウエハ割れの防止や ウエハ移載にかかる人件費・作業時間を削減可能。 プロセス室はウエハを2枚同時に処理でき、 高いスループットを実現しています。 【特長】 ■1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

新開発：1軸/2軸精密ウォブルスティック

精密ウォブルスティックは、超高真空チャンバー内の繊細な操作のために開発…

きが大気圧と 超高真空圧差の影響を受けないので、滑らかに制御が可能です。 ハンドルを放しても、シャフトは同じ位置にとどまります。 UHV-SPMでのチップ及びカンチレバー交換、サンプル搬送、 更にデリケートな取扱いを要求される作業に好適です。 【主な用途】 ■UHV-SPMでのチップ及びカンチレバー交換 ■サンプル搬送 ■デリケートな取扱いを要求される作業など ※...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…

バイスの量産に実績対応。社内デモ機によるプロセスサポートにより各種の個別要求に確実に対応。 一般的な樹脂フィルムだけでなく金属箔を含む幅広い基板に実績 独自開発による高使用率カソードと実績豊富な搬送機構により安定した稼動を実現。 プラズマ前処理電極や磁性材用カソード、基板加熱用メインロールなど豊富なオプション機構を揃えており多目的なフィルム連続処理装置として運用可能 Ｒ＆Ｄ用小型機やシート...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

先端表面処理技術を用いた高機能性ロールの開発

ゴムの弾性特性を維持しつつ低摩擦化が可能！グリップ起因の搬送時のシワ発…

も 可能です。 【特長】 ■ゴムロールへの対応も可能 ■静電気対策やゴムロール自体からのブリーミングの低減なども可能 ■ゴムの弾性特性を維持しつつ、低摩擦化ができる ■グリップ起因の搬送時のシワ発生の防止に効果を発揮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社都ローラー工業

真空装置　基板用平行平板プラズマ処理装置　PC-RIEシリーズ

処理可能基板サイズ550×650ｍｍ。無廃液化・低ランニングコストを実…

「PC-RIEシリーズ」は、中型液晶基板、プリント基板等のアッシング、デスミア、表面改質、Ｆ系ガスエッチング等の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○真空プラズマ技術は従来の処理に比べて良環境化 →クリーン化，無廃液化 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

平行平板式減圧プラズマ処理装置　真空プラズマ装置

各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基（親水、親油、密着性…

々な表面改質効果を与える処理が可能です。 もちろん、一般的なプラズマ処理装置として、アッシング、エッチング、デスミア等の処理も可能です。 チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○官能基修飾処理 ○リアクティブイオンエッチング（RIE） その他詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

プラズマ処理装置　WLP600S

6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置

○パージガス：N2 ○スループット：3000枚／400時間（ポリイミド膜1μｍエッチング時） ○処理ステップ：3ステップ、10レシピ ○ウエハーサイズ：6インチ、8インチ兼用 ○ウエハー搬送方式 →垂直動作カセットエレベータ（6インチ、8インチ兼用） →水平・旋回動作1フィンガー吸着方式クリーンロボット ○本体寸法：W600×D1500×H1850 ○本体重量：650kg ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

リモート方式大気圧プラズマ装置

窒素-酸素の混合ガスをプラズマ化し、基板に吹き付け。瞬時に表面の汚れを…

に合わせた装置をラインナップしています。 【装置ラインナップ】 ◆対象サイズ：G1～G8 (～2500mm) ◆ユーティリティ：プロセスガスと計装エア、冷却水 ◆プラズマ発生部をご使用の搬送機に搭載することも可能です。 ◆価格、仕様等詳細はお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

フィルム用ダイレクト方式大気圧プラズマ装置

フィルムの高速表面改質を窒素雰囲気中で実現。

【仕様】 ◆ フィルム搬送：最大　50m/min ◆ フィルム幅：～2000mm ◆ フィルム厚：10～125μm ◆ プロセスガス：窒素、アルゴン、ヘリウム、酸素、その他ガス多数 ※詳しくはカタログをダウンロー...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

超高真空マルチチャンバー連結システム

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹…

当社が取り扱う『超高真空マルチチャンバー連結システム』を ご紹介します。 超高真空搬送用チャンバーに複数の成膜・分析装置を連結した UHV一貫システムは、ALD、ECRプラズマ処理、スパッタ装置と XPS分析装置を連結。 他に、MEBチャンバーとXPS表面分析装置を連結した...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

量産現場の実績多数　WET処理装置(洗浄・現像・エッチング剥離)

液晶及び有機EL市場において高いシェアを誇る枚葉平流し式ウェット処理装…

したスプレーノズルによる均一性の向上 ●様々な薬液に対応可能な実績 ●基板サイズ：□100×100mm～□2,250×2,800mm 【特長】 ●薬液消費量の低減に効果を発揮 ●独自の搬送駆動機構によりパーティクルレスを実現 ●大量処理データの登録を可能にし、多品種化に対応 ●アラーム発生時の状態ログ機能によりダウンタイムを低減 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型（精密レンズ金型用）

最大５元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロー…

最大５元ｋソードを装備し、５元同時スパッタが可能な専用スパッタ室と重量基板の搬送に適したロードロック機構で金型コーティングに対応。 ６５０℃の加熱とガス冷却機構を併用する特殊基板台を装備。 高温加熱による膜の密着力の確保と処理の高速化を実現。 幅広い材質・形状に最適な膜種...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

搬送ロールの非粘着・離型対策にプラズマコーティング

グローバルメーカーの標準となった非粘着・離形（離型）コーティング技術！…

【概要】 ■対象業界：フィルムメーカー ■部品・対象産業：粘着性フィルム搬送ロール ■困りごと：離型、搬送 ■推奨技術：プラズマコーティング ■付与する特性：離型性、搬送性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： カンメタエンジニアリング株式会社

大気圧プラズマ装置　ILP-Inlineシリーズ

独自のリアクターヘッドにより大面積エリアに高密度プラズマを発生！

インライン自動搬送システムにより最大1500x2000mmサイズのワークを自動処理可能なフルオート機 【特徴】 ・グロー放電プラズマによるダイレクト方式 ・低ランニング費用（ガス消費量、低パワー） ・金属...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェル