温調 | イプロスものづくり

PR6月発売開始の水冷式冷温調機を出展！金型向け温調装置各種、8℃～600…

■インターモールド名古屋出展！ ★新製品を展示いたします★ 視認性の高い7インチタッチパネルを採用した新発売の水冷式冷温調機(KCW-iシリーズ)を出展いたします。是非会場でご覧ください。 ■その他の出展機はこちら【高温水循環装置(KCTシリーズ)】　清水を媒体とし、最大230℃まで昇温可能！　⾼性能ポンプの採⽤により、負荷側温度を常に均⼀に制御。【空冷式冷温調機(KCAシリーズ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レイケン本社、南関東営業所、大阪支店、中部営業所、茨城工場、大阪工場

ギ酸還元対応　卓上型真空リフロー装置『VSS-450-300』

PR課題解決事例を進呈中！ギ酸還元でボイドレス・フラックス残渣ゼロの高信頼…

『VSS-450-300』は、はんだリフローや酸化還元処理の他、ペーストの焼結など、様々なアプリケーションにも柔軟に対応した卓上型真空はんだリフロー装置です。有効加熱エリアは300×300×50mmですので、高さのある部品実装にも余裕で対応することができます。【特長】 ■フラックスレスはんだ（還元方式）・フラックス入りはんだ両対応 ■卓上型サイズながら、最大到達温度...

メーカー・取り扱い企業：ユニテンプジャパン株式会社

半自動リフトオフ装置（セミオートリフトオフ機）Lift-off

自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフト…

に関して作業者に薬液の付着の心配がありません。リフトオフの最大のメリットである厚膜メタルのリフトオフも高圧ジェットであれば一瞬で吹き飛ばし、リフトオフ可能！弊社の最大のメリットである温調した剥離液と高圧ジェットの組み合わせで取れずらいレジストも剥離可能です。ブラシ洗浄からの置き換え、圧力をかけて剥離をするようなプロセスを高圧ジェットなら簡単に置き換えることができます。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

凍結結晶防止用潜水ヒーターと温調盤セット

谷口ヒーターズが開発した特許潜水ヒーターと温調盤を組み合わせた薬液保温…

用】強酸・強アルカリ向。塩酸・硫酸等の強酸、苛性ソーダ・重亜硫酸ソーダ等の貯蔵に実績多数。薬液にやさしい（薬液を壊さない）高品質フッ素樹脂ヒーターと薬液保温（常温管理）専用安全型デジタル温調盤。...

メーカー・取り扱い企業：谷口ヒーターズ株式会社千葉事業所

研究・試作に最適な小型プラズマCVD装置『VC-R400G』

独自のLIA方式プラズマ源を採用し、ガラス、金属などの平板基材に超高速…

■　対象基材：ガラス板、金属板などの平板【仕様(一部)】・対象膜：DLC、SiN、SiOなど・成膜方法：デポダウン、静止成膜(インライン成膜も対応可能) ・温調：ステージ温調＜500℃ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ

研究・試作に最適な小型プラズマCVD装置『VC-R400F』

独自のLIA方式プラズマ源を採用し、樹脂フィルムや金属箔に超高速、高品…

■　対象基材：樹脂フィルム（PET、PEN）、金属箔【仕様(一部)】・対象膜：DLC、SiN、SiOなど・成膜方法：デポダウン、静止成膜(インライン成膜も対応可能) ・温調：ステージ温調＜500℃ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ

マニュアル・レジスト／塗布現像装置

ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能。

ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能な簡易型のレジスト塗布、現像装置。マニュアル装置でありながら、ケミカルフィルタ、レジスト温調、現像液温調、塗布室の雰囲気温調・湿度制御などの各種オプションの搭載も可能です。基板サイズは最大300mmΦまで対応し、不定形基板にも対応可能な自由度の高い、高性能装置です。レジスト系統数や現像液系...

メーカー・取り扱い企業：リソテックジャパン株式会社

短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off

短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…

リフトオフをするような長時間工程を短くできます。当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高剥離力を実現し、薬液の使用量も削減できます。さらに、弊社独自の温調膨潤と高圧ジェットの組み合わせで処理時間を24時間→3minに減らした事例もあります！メタルや酸化膜剥離の他にレジスト、ポリマー、マスクの洗浄装置としても使用でき、熱処理後やドライエッチン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

ットがなく、温度均一性に優れます・半導体装置用のクリーンルーム用途を目的とした低発塵性タイプを用意・フレキシブルで脱着性、フィット感がよい・CEマーク、UL認定有り【専用の温調 & モニターシステム】・通信機能で各ジャケットヒーターの温度制御とモニターします・各ジャケット毎のPID制御でさらに温度均一性を高めます・異常箇所はすぐ認知・１台でジャケッ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東京興業貿易商会本社

SUSS MicroTec社製インクジェット塗布装置『LP50』

半導体、PCB、プリンテッドエレクトロニクス向け、卓上型インクジェット…

【装置仕様】寸法：770×620×410mm（PC/モニタを除く）重量：90kg 最大基板サイズ：227×327mm 最大基板厚さ：25mm 基板温調機能：～90℃　※オプションで4℃までの冷却機能追加可可動軸：プリントヘッド/XZθ　基板ステージ/Yθ 基板ステージ位置決め精度：±15um(3σ) プリントヘッドスピード：最大500mm...

メーカー・取り扱い企業：兼松ＰＷＳ株式会社

厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター！自動ポリイミド塗布装置

～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…

・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能（オプション）・高粘度材料で難しいEBR（エッジリンス）機能高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く塗布いたします。ポリイミドの使用温度や保存温度に対応するため、シリンダに対応したディスペンサータイプのスピンコーターの実績もございます。塗...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

段取り替えなし！インチ兼用自動リフトオフ装置

【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウ…

【主な仕様】 ■ウェハサイズ：φ2"～φ8"まで対応可能 ■膨潤機能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ：1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

・スクラブ処理：高圧ジェット／ 2 流体ジェット／超音波シャワー等・処理チャンバー数：2, 4チャンバー・処理液：有機系剥離液・リンス液 , 純水・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・温調システム・搬送ロボット：搬送ユニット・スピンチャック：バキュームチャック　　　　　　　　※オプションにてメカニカルチャック対応可・装置寸法（WxDxH）：1,200x1,500x2,...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

ミューコム　薄膜製造装置自動成長プログラム

自動成長プログラムによりバルブやマスフロー、温調計等を自動制御するシス…

【特徴】 ○バルブを制御 ○マスフローを制御 ○温調計を制御 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ミューコム

フッ素系溶媒対応チラー　ペルチェ式チラー・冷凍機式チラー

昨今入手困難で貴重なフッ素系溶媒の使用量を抑えることができるチラーです

フッ素系溶媒は、絶縁性が高いため、半導体製造装置や各種測定装置の温調用循環液として広く使用されています。また、不燃性・不活性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。このフッ素系循環液には専用に設計されたチラーがございます。＜...

メーカー・取り扱い企業：エムエス機器株式会社

12インチ対応ウェハーワックス貼付装置『TEC-1001MB』

化合物半導体ウェハーなど、様々なワークに対応可能です！

ェハーワックス貼り付け部・貼付対応プレートサイズ：φ180～φ320mm、厚さ5～30mm ・加熱/冷却設定温度範囲：周囲温度～160℃ ・設定単位：1℃ ・温度分布精度：±5℃以内・温調精度：±3℃以内 ■ウェハー加圧部・設定単位：1kPa ・最大圧力：300kPa ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場

低振動・低騒音ペルチェチラーThermoRack800

レーザーの温度制御に最適！

.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。【特長】 ■素早い温度応答性と高い温度安定性 ■6Uスタンダード　19インチラックに収まるサイズで省スペース ■温度安定性：±0....

メーカー・取り扱い企業：エムエス機器株式会社

プラズマCVD装置

漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機…

【仕様】 ■マイクロ波出力：1.5Kw ■排気：ロータリーポンプ ■導入ガス：5系統（配管加熱付き） ■温調：試料ステージ試料加熱（4系統） ■配管加熱（2系統） ■真空計：バラトロン ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック

インライン　ECE型フッ素樹脂製薬液ヒーター

接液部がPFA樹脂製で温調レスポンスが良い薬液インラインヒーター

接液部は全てＰＦＡのインラインヒーターです。不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。液流れの急変や停止に強い。発熱体温度が低く、薬液の劣化を起こしません。発熱体寿命１０年以上。コンパクトで場所をとりません。熱や機械的衝撃に強く丈夫です。運転温度・圧力１５０℃×０．４ＭＰａ。...接液部は全てＰＦＡです。不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。液流れの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社セラ

卓上型超音波洗浄機　ソノクリーナ　Dシリーズ

手に優しいタッチパネル・抜群な洗浄力でサイレントを実現

【特徴】 ○マイコン制御　ヒーターをマイコン制御することにより　加温、温調などの温度管理が可能 ○見やすいデジタルタイマー　最大99分、１分毎に設定できるデジタルタイマーを採用　50Dは簡便なダイヤル式タイマーを採用 ○高性能で長寿命　エレトロニクス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カイジョー ODM事業部

バッチ式アニール焼成炉

［仕　様］ ◆使用温度‥‥‥‥600℃ ◆炉内均一性‥‥‥600℃±3℃ ◆ＰIDプログラム温調 ◆炉内寸法‥‥‥‥ご希望の寸法に対応 ◆外形寸法‥‥‥‥幅900mm×高1650mm×奥行1500mm ◆使用電源‥‥‥‥3相 200V 20KVA ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒートテック

２液ディスペンサー（２液樹脂自動計量混合吐出装置）MAKシリーズ

本装置でウレタン、エポキシ、シリコーン等の２液樹脂の真空脱泡、温調、自…

本装置でウレタン、エポキシ、シリコーン等の２液樹脂の真空脱泡、温調、計量・混合・定量吐出が可能です。従来の溶剤での洗浄が必要ない弊社独自の「無洗浄式使い捨てパワーミキサーＷＬ−５０１型」は、メンテナンスが非常に簡単で、健康や環境に優しいミキサーです。吐...

メーカー・取り扱い企業：エムアンドケー株式会社本社・工場

自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

グに好適な高圧ジェットリフトオフ装置です。【特長】 ■W（ダブル）効果リフトオフによる驚きの剥離能力！ ■枚葉式によるプロセス安定性 ■リフトオフ時のバリの除去 ■再付着なし ■温調薬液のリサイクルシステム（オプション） ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【主な仕様】 ■ウェハサイズ：φ2"～φ8"まで対応可能 ■膨潤機能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ：1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

枚葉式でDIP！？膨潤・高圧ジェット併用リフトオフ装置

【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥…

【主な仕様】 ■ウェハサイズ：φ2"～φ8"まで対応可能 ■膨潤機能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ：1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

）・スクラブ処理：高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等・処理チャンバー数：2, 4チャンバー・処理液：有機系剥離液・リンス液 , 純水・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・温調システム・ワーク搬送：ダブルアームスカラロボット・スピンチャック：バキュームチャック　　　　　　　　※オプションにてメカニカルチャック対応可・装置寸法（WxDxH）：1,900x2,...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

低振動・低騒音ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！消費電…

.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。【特長】 ■素早い温度応答性と優れた温度安定性 ■4Uスタンダード　19インチラッ...

メーカー・取り扱い企業：エムエス機器株式会社

レーザー装置に最適！ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！消…

.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・低振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。【特長】 ■素早い温度応答性と優れた温度安定性 ■4Uスタンダード　19インチラックに収まるサイズで省スペース ■温度安定性：±0...

メーカー・取り扱い企業：エムエス機器株式会社

消費電力大幅削減！ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！消費電…

.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。【特長】 ■素早い温度応答性と優れた温度安定性 ■4Uスタンダード　19インチラックに収まるサイズで省スペース ■温度安定性：±0...

メーカー・取り扱い企業：エムエス機器株式会社