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いまさら聞けない！セラミックスの基本　※解説資料無料進呈中

PRセラミックスの特長や材料から、設計上の注意ポイントまで一挙に解説

セラミックスは硬い、電気に強い、熱に強い、腐食に強いといった特長がありますが加工によっては歪みや曲りが起こりやすいことも事実です。当社は1881年から140年以上続く、セラミックスメーカーです。お客様の仕様に基づいてさまざまなセラミックス部品を提供してきた経験から、セラミックスの特長を生かすための「設計上の留意点」もまとめた解説資料を作成しました。【掲載内容】 ■セラミックスの特長...

メーカー・取り扱い企業：株式会社友玉園セラミックス
【サンプル提供可能！】シリコンフォームシート「ハマガスフォーム」

PR広範囲での使用を可能にした、環境に配慮したシリコンフォームシート！

『ハマガスフォーム』は、液状シリコーンゴムの発泡体で断熱、遮音、耐熱、難燃性において、優れた特性をもつシートです。－40℃～180℃迄、短時間なら200℃まで物性に変化がないので安心して使用できます。撥水性にも優れているため、グラスウール、ウレタンフォームに比べ長期断熱性がよいです。また、フロン、炭酸ガス等地球環境問題になるものは一切使用しておらず、万一燃焼してもハ...

メーカー・取り扱い企業：浜松ガスケット株式会社
オーダーメイド装置高野精器の特長

すべての業務を自社対応　～設計・製作・メンテナンスまで～

人の手で作るものであり、企画・設計も人の頭で構築するものです。作るのではなく、「モノを創る」発想と応用力、そして、長年の経験で皆様のニーズにお応えさせていただいております。【特長】 ■各種機械とのマッチングから改造に至るまで、メーカー問わずに設計・製作 ■一人一人が、専任の卓越したスキルを有している技術者が多い ■設計・製作・メンテナンスまで、すべての業務を自社対応 ...

メーカー・取り扱い企業：高野精器有限会社
【APIにも対応】ポンプ適合カップリングラインナップ

最大280,000Nmまで対応可能。大小幅広いレンジのポンプに適合する…

【製品郡】〇ジョータイプカップリング ROTEX 二対の金属ハブ間に樹脂スパイダー挟んだシンプルな構造です。特長：組立性良好、メンテナンスフリー、振動吸収〇ディスクカップリング　RADEX-NおよびRIGIFLEX ハブ＋スペーサーで構成されるシリーズです。 API610, 670に対応します。 ...
メーカー・取り扱い企業：ケーティーアールジャパン株式会社
【無料プレゼント】小型ポンプの基本が分かる小冊子差し上げます！

小型ポンプの基本構造やポンプの種類ごとの特長、それぞれのポンプが実際に…

ピストンポンプなど構造の違う9種類のポンプの特長や基本的な構造をまとめました。それぞれのポンプの特長を活かし、実際どのような装置、分野で使用されているかを説明します。初心者でも入り易く、簡単な解説で、ポンプに関する新人教育の参考資料にも。巻末には...

メーカー・取り扱い企業：株式会社CSP（シーエスピー）
イオンゲージ『M-311HG』

再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れ…

『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。【特長】 ■ワイドな圧力測定範囲 ■高応答アナログ出力 ■4つのエミッション電流設定...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社
真空ポンプ　マルチジェトコンデンサ(MJシリーズ)

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

マルチジェットコンデンサは、凝縮も兼ね備えた水エジェクタです。【製品の特長】 ○排気ポンプとコンデンサの両方の役目を兼ねているので、凝縮性気体の排気に、水エジェクタよりもさらに効果的です。 ○吸入側に逆止弁がついているので、大気脚が不要で停電や断水時の逆流が防止できま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所
【小型・大流量・静音】Disc Pump(マイクロポンプ)

超小型・軽量であるにも関わらず大流量で比類なき静粛性・無脈動を備えた高…

するため、駆動音は全く聞こえません。その駆動方式から脈動・振動フリーを実現しています。当社のマイクロポンプは比類なき空気圧制御により、貴社の革新的な製品開発に貢献いたします。【製品の特長】・使用流体: エア・脈動/振動のない動作・騒音レベル <10 dB ・超高速ミリ秒応答・軽量：5g ・コンパクトサイズ：直径29mm×厚み11mm ・圧力/流量精度: 0.1...
メーカー・取り扱い企業：株式会社ジュピターコーポレーション本社
メタライズろう付技術

真空側と大気側とを遮断する理化学機器の必需品！高い気密性と安定した生産…

属化（メタライズ）をする事で異種金属との接合を可能にします。モリブデンマンガンメタライズは、ろう材のぬれ性を良くしたり、電気回路を形成する事を目的としており、高い気密性と安定した生産性が特長です。また、チャージアップ防止などを目的とした「Au（金）メタライズ」や、電気回路の形成などを目的とした「Ag（銀）メタライズ」も可能です。接合方法に関しては、活性金属を添加した...
メーカー・取り扱い企業：株式会社友玉園セラミックス
ドライポンプ COBRA Semicon ファミリー

SEMICON Japan 2023に出展！ハーシュプロセスにおいて従…

フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。半導体業界の複雑な条件のアプリケーションに特適用可能な設計です。【特長】 COBRA Semiconファミリーではいくつかのシリーズを展開しており、それぞれに特長があります。 ■ DSシリーズ：業界標準、高気密、従来型ベアリング ■ BAシリーズ：フライングベア...
メーカー・取り扱い企業：日本ブッシュ株式会社
複合分子ポンプ　TG5000/5003 TG5500/5503

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所
【資料】真空ポンプについて

真空ポンプの種類や大晃メカニカルブースタの特長などを写真や図と共に掲載…

【掲載内容(抜粋)】 ■大晃スクリュー式ドライ真空ポンプの特長 ■大晃メカニカルブースタ ■大晃メカニカルブースタの特長 ■大気圧からのMBの運転 ■MB駆動方式 ■パージシステム ■表面処理 ■表面処理の種類 ■表面処理の特長 ■Oリングの...

メーカー・取り扱い企業：大晃機械工業株式会社陸上事業部
ケミカルプロセス用　ドライ真空ポンプ『TRMシリーズ』

凝縮性ガスの吸引に好適！ケミカルプロセス用の汎用ドライ真空ポンプ

真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、又、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。　　【特長】　　 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社宇野澤組鐵工所
フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプ「TRVシリーズ」

酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(2…

、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収することができます。また設置面積が小さいため、装置への組み込みにも適しています。　　【特長】　　　 ■200μ m の厚膜フッ素樹脂コーティングに対応 ■大気圧から締切運転まで安定した運転が可能 ■120°Cまでの高温ガスの吸引が可能 ■メカニカルブースターとの組み合わせにより幅...
メーカー・取り扱い企業：株式会社宇野澤組鐵工所
ドライスクリュー真空ポンプ『VARODRY』

業界初・唯一の100%オイルフリーのドライポ真空ポンプ。低消費電力が特…

100%オイルフリーのためオイルやフィルターの交換が不要。また摩耗部品も少ないため、廃棄物を大幅に削減できます。低消費電力が特長で二酸化炭素の排出量の削減に貢献します。メンテナンスが最小限で済み、設備の稼働時間が向上します。冷却水の供給が不要な空冷式で、水の使用が制限される現場での使用にも最適です。ランニング...

メーカー・取り扱い企業：ライボルト株式会社
ばね入CリングHELICOFLEX(R) ヘリコフレックスシール

弾性を持つメタルシールです！溝、RF／FF、T&G、NW/KF、3端面…

barから3000barまでの圧力に対応 -272℃から800℃までの圧力に対応フランジの形状と歪に対する優れた適応性。材質: アルミニウム、銀、銅、ニッケル、ステンレス鋼他【特長】 ■シール径Φ4～8000 ■断面径1.5～40 ■10-10mbarから3000barまでの圧力に対応 ■-272℃から800℃までの圧力に対応 ■放射性に対する非常に良好な耐性 ...
メーカー・取り扱い企業：テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社
エントランスシール装置『RIPP』

セルフシールタイプで発進用の「Type-A（Automatic）」など…

到達・引抜用の「Type-B（Breakthrough）」や、発進・到達用の「Type-C（Compression）」をラインアップ。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【特長】＜Type-A（Automatic）＞ ■セルフシールタイプで発進用 ■チューブを追加し、止水能力を向上させることが可能 ■例・同時裏込め注入管部・矩形シールドの直線部・DOT、MF...
メーカー・取り扱い企業：六菱ゴム株式会社
C字形断面低締付圧力メタルシール Cリング『C-FLEX TM』

圧縮荷重を考慮した断面と肉厚のCリングをご紹介します

面になじむために機器の内圧で補います。原油採掘をはじめ、産業用タービン、バルブ、航空宇宙、自動車、SOFC・燃料電池(750℃ 40,000時間)など幅広い用途で活用されています。【特長】 ■独自のC形断面構造 ■低い設計締付圧力を考慮した断面径と肉厚 ■内圧、外圧、軸方向も対応可 ■低設計締付圧力 ■圧力範囲：中真空から200MPa (2000bar) ■温度範囲：-...
メーカー・取り扱い企業：テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社
超高真空や高温NW・KFフランジ用クランプ QDS

超高真空用NW・KFフランジ、専用ヘリコ＆デルタ、専用クランプのセット…

します。 NW/KF小径から特注品まで対応可能。遠隔操作での締結が可能はRHタイプは作業者の被曝低減、放射性環境下、及びメンテナンススペースが限定される場合に好適(動画有)。【特長】 ■FEA（有限要素解析）にて構造検証済 ■非磁性（オプション） ■NW/KF10から大口径まで対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社
大幅な省エネ効果を実現！新明和工業ターボブロワturbo max

実機デモ、省エネシミュレーションいたします！排水処理の電気代20％…

はフィルター掃除のみ、オイルを使わないため、クリーンな作業環境を保つことができます。既設入替の際に現状の基礎が利用でき、施設のコンパクト化が建設コストの低減につながります。【特長】 ■内蔵インバータで必要風量だけを送り無駄な電気を使用しない ■早くて2年程度で初期費用の回収が可能 ■本体入れ替えの際、既存の基礎の利用が可能 ■タッチパネルで操作簡単 ■低騒音のため...
メーカー・取り扱い企業：株式会社京二本社、名阪営業所、南関東営業所、千葉営業所、北関東営業所、東北営業所、京二上海
低Y値・高スプリングバックシール Eリング『E-FLEX TM』

断面や径は特注対応可能！トライボロジー特性に優れた耐摩耗コーティングが…

材質は、X750、718、ワスパロイ。圧力範囲は、100bar（1,450 PSI）です。トライボロジー特性に優れた耐摩耗コーティングができ、断面や径は特注対応可能です。【特長】 ■高いスプリングバック／低設計締付圧力 ■スプリングバックと低設計締付圧力を考慮した断面形状と肉厚 ■内圧用、外圧用何れも製作可 ■タービン用大口径製作可（>2000mm/>78.74i...
メーカー・取り扱い企業：テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社
水密扉『ヘキサ・シールドア』

シールメーカーが作る水密扉。トルク管理不要で安定した止水性能を確保する…

シールメーカーの水密扉です。ガスケットタイプとは異なり、セルフシールタイプのリップシールを使用することにより、トルク管理不要で安定した止水性能を確保することが可能です。【特長】 ■重要設備を浸水から守る ■後施工可能 ■内外圧対応 ■安定した止水性能（ラッチ固定だけで止水確保） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：六菱ゴム株式会社
真空計測機器「絶対圧力計　AVG-300」

大気圧までの真空度測定と制御に適した「絶対圧力計」

ジ（0.10～20.00kPa）とLoレンジ（0.1～133.3kPa）から選択可能な絶対圧力計です。 ±0.25％FS±1digと高精度な上、受圧素子がSUS316Lのため耐食性に優れているのが特長です。【特長】 ■測定レンジがHiレンジとLoレンジから選択可能　Hiレンジ 0.10～20.00kPa　　Loレンジ 0.1～133.3kPa ■高精度　±0.25％FS±1dig...

メーカー・取り扱い企業：株式会社岡野製作所
コンパクトドライ真空ポンプ　DSP250/DSP500

冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！

便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所
ドライ真空ポンプ「ISPシリーズ」

リーク性能が2ケタ向上！スクロール真空ポンプ「ISP-250E」が新発…

指したモデルとなっておりますので、デモ機の貸出しをご希望の方は、お問い合わせ内容に『デモ機希望』とご記載いただければ幸いです。 ※ご使用用途によって貸出しができない場合がございます。【特長】 ◆1年目または8000時間毎のメンテナンスではクリーニング・グリスアップのみ ※当社が推奨している使用状況で標準的なメンテナンスの場合 ◆部品の素材変更によりリーク性能が2ケタ向上 ◆...

メーカー・取り扱い企業：アネスト岩田株式会社
グリンコ　サイドチャネルブロワ2RB・3RB・4RBシリーズ

欧米・アジアを中心に年間25万台もの販売実績。スケールメリットでコスト…

グリンコブロワ(GREENCO)は、年間25万台もの販売実績によるスケールメリットでコストが大幅に抑えられているのが最大の特長です。コスト面のメリットに加えて、製品のカギとなるベアリングは日本製ベアリングを使用。インペラやケーシングにアルミダイキャストを採用し、軽量ながら高い強度と耐久性も実現しています。高圧力・大...

メーカー・取り扱い企業：東栄株式会社
液封式（水封式）真空ポンプ　LV102/LV202

【カップリング直結型】優れた安全性、経済性！低騒音を実現する液封式（水…

は金属接触が無く、液膜により完全にシールされるため漏れが無く、爆発性のあるガスや腐食性の高いガスの吸引・圧縮に適します。高効率設計により経済性を追求し、大幅に消費動力を削減しています。【特長】・安全性に優れている・経済性に優れている・低騒音を実現 ※液封式（水封式）真空ポンプの詳細はカタログをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニクニ本社、本社営業部、大阪営業所、名古屋営業所、福岡営業所
金属ガスケット『U-TIGHTSEAL（U-タイトシール）』

全てのフランジに適合！広範囲の熱サイクル、圧力サイクルにも気密を保持し…

従来、製作された金属ガスケットに比べ、より優れた圧縮特性と弾性復元力から金属ガスケットとしての性質を保持しつつ、エラストマー（ゴム類）のような性質を発揮することができます。【特長】 ■全てのフランジに適合（規格フランジ、特殊フランジ） ■どのような気密基準であろうと、それに対応して選択することが可能 ■弾性復元力が大きく、長く弾性を保つ ■広範囲の熱サイクル、圧力サ...

メーカー・取り扱い企業：東洋興業株式会社
●小型ダイアフラム式液体ポンプ『DPE-400』

ダイアフラム式液体ポンプ『DPE-400』はDC駆動で独自の脈動吸収機…

ため呼び水不要。気体ポンプ、真空ポンプとして使用できます。この他にも、同シリーズでブラシタイプ・ブラシレスタイプ、幅広い流量や真空度、電圧、耐久時間に対応したポンプを取り揃えております。【特長】 ■自吸式 ■高寿命 ■小型・軽量 ■選べる接液材質 ■安心の国内製造 ■医療用から産業用など多数の実績...

メーカー・取り扱い企業：株式会社CSP（シーエスピー）
電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』

豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能！電源電圧は特注も対応いた…

ドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージのコンビネーション及びゲージの自動切替を行うオートフィラメント機能の搭載により大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。【特長】 ■圧力レンジは自動切換 ■圧力及び種々のメッセージが液晶表示 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを2点標準装備 ■記録計用出力として、D/A 出力を標準装...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社
水封式ポンプ『Gardner Denver NASH』

耐久性に優れ、長寿命！コンパクト＆高信頼性の水封式ポンプ

三國機械工業株式会社は、世界各国より特長ある機器の輸入並びに販売代理業務を行っております。水封式ポンプ『Gardner Denver NASH』には、耐久性に優れ、長寿命の「二段式ポンプ TCM/TC」をはじめ、「Na...

メーカー・取り扱い企業：三國機械工業株式会社
イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』

新設計により視認性と機能アップ！自動化装置・遠隔操作用装置に適していま…

プ、CE、RoHS適合を実現しています。充実したI/0機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への対応が可能など自動化装置・遠隔操作用装置に適しています。【特長】 ■高性能 ■充実の機能 ■高互換性 ■通信対応 ■適合規格：CEマーキング、RoHS指令　適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社
●コンプレッサ・真空ポンプ兼用『DP0102』

小型コンプレッサ・真空ポンプ兼用『DP0102』は耐久性が高く、メンテ…

要とする医療器、分析器などの機器組込み用のエア源・真空源として好適で、様々な分野での導入実績もあります。この他にも、同シリーズで幅広い流量や圧力・真空度に対応したポンプを取り揃えております。【特長】 ■無給油 ■小型・軽量 ■長寿命 ■メンテナンスフリー ■安心の国内製造 ■医療用途などに多数の実績...

メーカー・取り扱い企業：株式会社CSP（シーエスピー）
ゴア(R) ハイパーシート(R)/SGM(R) ガスケット

熱クリープが非常に小さく高温箇所でも使用可能！柔軟・加工性に優れていま…

なじみ性に優れ、少々の不整面でも容易にシール可能。また熱クリープが非常に小さく、高温箇所（315℃）でも使用できます。ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせ下さい。【特長】 ■延伸PTFE100％からなる ■柔軟・加工性に優れる ■耐熱・耐薬品・耐クリープ・クリーン性を兼ね備えている ■なじみ性に優れ、少々の不整面でも容易にシール可能 ■高温箇所（315℃...

メーカー・取り扱い企業：ソーワ工業株式会社
ワンバス式真空リンス乾燥機『WATER CLOVA』

水蒸気ベーパープレリンスと水蒸気ベーパーリンスは、1台の水蒸気発生器で…

ーポンプを使用。純水リンス1・2共、真空リンス槽から真空バッファタンク2へ送る時に全量ろ過が可能で、水蒸気ベーパープレリンスにより、プレリンスの廃水を最小限にできます。【特長】 ■純水リンス工程が4工程あるので、リンス性が高い ■真空超音波リンス1・2により、止まり穴・隙間のリンスが可能 ■水蒸気のベーパーリンス（95°C）により、しみ無し乾燥ができる ■真空乾...

メーカー・取り扱い企業：新和産業株式会社環境・洗浄事業部
回転軸シール『VDシール』

回転する軸の密封部分に外部からの土砂・泥水等の侵入を防止します！

造を設定し、リップ先端が持ち上げられたり反転することなくシールができます。また、シールリップは軸面に対し、面接触でリップ面圧が非常に低く、軸およびリップの摩耗が少ないです。【特長】 ■回転する軸の密封部分に外部からの土砂・泥水等の侵入を防止 ■軸受けの保護、潤滑剤を保持する目的で使用 ■U字型パッキンの構造を基本にした独特の単一リップを有する ■リップ先端が持ち上げ...
メーカー・取り扱い企業：六菱ゴム株式会社
真空ポンプ　熱圧縮機

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

【製品の特長】 ○吸入比が極めて大きくとれます。 ○吸入比=吸入蒸気量/駆動蒸気量 ○故障がほとんどない簡単な構造　構造上は蒸気エジェクタとまったく同じです。また、大吸入量のものが安価で製作できます...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所
合成ゴムシート『S-2900シリーズ』

サイズは厚さ1.0mm、1.5mm、2.0mmなど！ゴムシート打ち抜き…

レンゴム（CR）などがございます。サイズは厚さ1.0mm、1.5mm、2.0mm、3.0mm、4.0mm、5.0mmで、各種配管のフランジや機器などのガスケットに使用可能です。【特長】 ■各種合成ゴムシートを打ち抜いている ■サイズ：厚さ 1.0mm、1.5mm、2.0mm、3.0mm、4.0mm、5.0mm ■使用条件：圧力最大1.0MPa ※詳しくはPDF資料...

メーカー・取り扱い企業：ソーワ工業株式会社
セラミック加工品

小物・丸物の加工が得意！「絶縁」「耐熱」「耐摩耗」など、様々なニーズに…

当社のセラミックは、主に分析装置や真空装置、電子顕微鏡などの理化学機器に採用されています。特長としては、小物・丸物の加工を得意としており、焼成前に生加工する為、少量の場合、金型が不要。高い精度が求められる場合は焼成後の2次加工にて仕上げを行います。また、洗浄やベーキング処理ま...
メーカー・取り扱い企業：株式会社友玉園セラミックス
ゴム可とう管漏洩対策『EMGシールカバー』

外周にカバーゴムを積層で配置することにより、耐圧性を確保しています！

固定し使用。原子力発電所や火力発電所などの、大型プラントに使用されているゴム伸縮継手に併用・設置することで、地震時のゴム伸縮継手破断による漏水を一時的に防ぐことが可能です。【特長】 ■パイプラインの安全性を確保 ■地震時の変位吸収可能（130mm） ■後付け施工可能（既設継手の改造なし） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：六菱ゴム株式会社
真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』

無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心…

の衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社
POWERシリーズ　高性能クライオポンプ(小型)

吸気口径8～12インチの小型タイプ！ヒータレスで安全な高速再生を実現し…

度の平均値は従来に比べ約10分の1以下(当社比)。マルチ運転時に1台のポンプのみ再生しても、極端に起動時間が長くなることはなく、運転環境による起動時間の変化を最小限にしました。【特長】 ■ヒータレスで安全な高速再生を実現 ■実用性に優れた起動特性と温度安定性 ■低振動 ■アルゴン排気容量の限界値ギリギリまで良好な排気性能を持続 ■冷凍能力を大幅にアップ、安定した水素排...
メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社
チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極め…

のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能。また、小型軽量で取付場所を選びません。【特長】 ■オイルフリーの超高真空 ■経済的 ■コンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社
ばね入りCリング・メタルシール『ヘリコフレックスシール』

非常に優れた許容漏れ量と耐食性！お客様の用途に沿うシール特性にカスタマ…

野、石油精製/化学、ガスやその他一般産業等の市場において長年の研究開発、実験や実用における結果です。柔軟な設計対応で、お客様のご用途に沿うシール特性にカスタマイズした製品を提供します。【特長】 ■シール径φ4～8000mm ■10^-10mbarから3000barまでの圧力に対応 ■-272℃から800℃までの温度に対応 ■発泡液レベルから超高真空レベルも対応する許容漏れ量 ■すべて...
メーカー・取り扱い企業：テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社
ヘリウムリークディテクタ『HELENシリーズ』

ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能！高い感度、安定性、応…

ダイヤフラムポンプを搭載した「M-212LD（-D）」、ハイパワーの「M-222LD」など、さまざまな製品をご用意。業界でも高レベルの感度、安定性、応答性を実現しています。【特長】 ■イージーオペレーション ■ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能 ■高レベルの感度、安定性、応答性を実現 ■10^-12Pa･m3/sの高感度と長時間の使用に対しても高い安定...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社
４極・２極渦巻ポンプ「JFS・JS・JFSO・JSO型」

全てのボルトをステンレス化でメンテナンスコスト低減！ステンレス製渦巻き…

西垣ポンプ製造の「４極・２極渦巻ポンプJFS・JS・JFSO・JSO型」は全てのボルトをステンレス化することで、メンテナンスを容易にした渦巻ポンプです。【特長】 ◆すべてのボルトにステンレスを採用で、メンテナンスが容易 ◆配管を外すことなく分解・メンテナンスできる方式を採用 ◆抜群の自吸性能、高い信頼性【詳しくはカタログダウンロードまたはお...

メーカー・取り扱い企業：西垣ポンプ製造株式会社本社
極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』

40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバー…

力領域での放電特性を改良し開発したポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。【特長】 ■UHV、XHV領域での高い排気能力 ■高効率ベーキングの実現 ■小型、軽量 ■クリーンルーム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社