AI画像処理選別機『AIHシリーズ』

PRAI画像処理により裏表両面を同時に検査し、異物や不良品を高速かつ高精度…

『AIHシリーズ』は、AIによる画像処理を用いて、ピンポイントで 食品や医薬品などに含まれる異物を除去できる選別機です。 高速コンベアから投げ出された材料をCCDカメラで表裏両面から同時に検査。 検出した異物は圧縮空気の噴射によって、的確に排除されます。 2方向から検査することで、異物や不良品の見逃しを最小限に抑制。 食品や医薬品錠剤など粒状の製品、長さ3cm以下の樹脂や金属部品など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社服部製作所

流体解析AIパッケージ『DeepLiquid Lite』

PR排水処理設備の無事故継続なら！流体解析AIを異常発見の「目」にしません…

流体解析AIパッケージ『DeepLiquid Lite』は、排水処理施設の現場にて、担当者が実施している巡回監視業務を自動化し、水質・水面などにおける異常発生の見逃し防止＆早期発見にご利用いただけるサービスです。 流体解析AIのベースモデルにより、低価格、短期間での導入が可能です。 また、めったに異常発生がない現場でも、正常データで学習するため、 少数の異常データでユーザーの課題に合わせた異常判...

メーカー・取り扱い企業： AnyTech株式会社

【アルミ表面処理　問題解決事例】半導体製造装置へ異物混入防止

350℃まで対応のクラックレス硬質アルマイトで皮膜剥がれによる粉塵の発…

クすることなく使用が可能な、耐熱クラックレス 硬質アルマイト処理「TAF TR」を部品表面に施すことで、皮膜欠落の原因で ある熱クラックの防止を図ることが可能。 課題であった皮膜欠落による異物混入は改善されるだけではなく、従来の硬質 アルマイトよりも皮膜表面の粗さを改善できるため、部品の精度を向上できます。 【課題・背景】 ■アルミニウム合金製の治具やボルトなどの締結部品は、ア...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場

基板クリーナー　マジッククリーナー3D

基板クリーナー　マジッククリーナー3D

独自技術の採用で、ワークに付着した異物を除去・集塵 品質を追求する実装ラインの標準設備『マジッククリーナー3D』 【特徴】 ○横振幅式・導電ブラシ ○独自技術による高い異物除去能力 ○異物に起因する「にじみ」「ブリッジ」「...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニックス

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

スク／レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力致します。 【特徴】 　・ハイクリーン化と歩留向上に貢献 　・検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能 　・ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール 　・RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 　・機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備 　・洗...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

【アオイ電子】ナノピンセット

マイクロ・ナノサイズの試料の把持が可能な高性能ピンセットです。真空環境…

ことによって、先端が滑らかに開閉動作し、ナノ～ミクロンサイズの物体の把持が可能です。ナノピンセットを用いることで、TEM試料（幅3～5μm）、細菌・細胞（φ1～20μm）、シリコンウェハやガラス上の異物・ゴミのサンプルピックアップの実績もございます。 静電アクチュエータによる精密制御、平行開閉による良好な把持性能、高把持力を実現するロック機能等に加え、SEM・FIB等の電子ビーム環境下（真空環境...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

ナノピンセット　アプリケーション・ノート

ナノピンセットの用途実例のご紹介です。アイシャドウの粒子や酵母菌等の把…

をはじめとする分析用試料や、細胞などのバイオ試料まで、硬軟様々な試料の把持に対応できます。 「ナノピンセット　アプリケーション・ノート」では、アイシャドウの粒子をはじめ、酵母菌、マイクロレンズ上の異物、プリンターのトナー、市販の粉薬、φ25μmの金線の把持について、写真付きで用途実例をご紹介しております。 様々な試料をピックアップ可能なマイクロツールとして、「ナノピンセット」は現場作業を快適、...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

「ナノピンセット」リーフレット

マイクロ・ナノサイズの試料の把持が可能な微小ピンセットのリーフレットで…

おり、先端を液中に浸けて操作することが可能です ○アプリケーション →ウェハ上のパーティクル（幅2μm) →酵母菌(5μm) →トナー(5μm) →粉薬(数μm～数十μm) →CCD上の異物（数μm) →アイシャドウ（数十μm) ○用途 →半導体、FPDの異物除去 →細胞等のサンプリング・微小部品組み立て →分析用サンプルのピックアップ →材料の評価 →トナーの研究など ...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』

30μm以下の水滴と蒸気の超音速噴射で、切削油など頑固な汚れもしっかり…

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』は、水滴と蒸気を超音速で 噴射することで発生する衝撃波（キャビテーション）と せん断力により異物、汚れを除去する装置です。 電気、純水、圧縮空気（or窒素）で動作が可能。 ハンディガンタイプのため汚れを的確に除去できるほか、 装置はキャスター付きで容易に移動できます。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

LCD基板端子洗浄装置

LCD基板端子洗浄装置

LCD基板のIC搭載端子部に付着した異物を特殊クリーニングヘッドと洗浄テープにより従来の洗浄方式では取りきれない異物除去が可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェル

PIND試験装置　微粒子衝撃雑音検出装置

デバイスの異物粒子を検出。一時間当たり2000部品以上の試験が可能。

オシロスコープの輝線上に表れるスパイクとしての視覚的な判別ができます。 スピーカーより音質変化による聴覚的な判別、調整された検出レベルの トリガーでのFAILランプの点灯による判別も可能です。 規格試験MIL－STD－883、MIL－STD－750、MIL－STD－220に適合します。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【仕様】 ○振動 周波...

メーカー・取り扱い企業： エア・ブラウン株式会社 電子機器部

端面鏡面加工装置

スラリー不使用　濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨から洗浄まで行…

■装置概要 　　スラリーを使用せずに、濾過水・純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う研磨装置 ■用途例 　　鏡面仕上げ加工・鏡面仕上げ加工・端面異物洗浄 ■対象物 　・薄い材料150～200μに好適 　・各種ウェハ：化合物、酸化物、ガラス、石英、シリコン、セラミック 対応 実機での評価・確認後に装置採用のご検討をお願いします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

精密洗浄

精密洗浄が必要な半導体装置本体や半導体関係部品など大物から小物まで幅広…

精密洗浄は目に見えない汚れや残留物の除去が目的です。 特に半導体製造過程では異物が付着してしまうと生産に不具合が生じます。 光伸産業では独自の洗浄技術をいかしクリーンな製品に仕上がります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 光伸産業株式会社

レーザークリーニング装置”IMT100P”のご紹介

母材にメカニカルなダメージを与えることなく 異物除去又はクリーニン…

☆レーザクリーニングとは:- レーザ光を母材（対象物）の表面に照射することにより、 レーザアブレーションプロセスを起こさせて、 母材の表面に付着している炭化物等のコンタミを除去します <仕様用途> オーブンにこびりついた炭化物(焦げ)、オイル残渣の除去 酸化膜の除去など ＜経済的＞ ドライクリーニングで環境に配慮し経済的 ＝＞クリーニング後の水洗浄等不要 ...レーザーシステム:- ・韓国...

メーカー・取り扱い企業： サマック株式会社

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。 １つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

フィジカルファインエッチャー（PFE）

プリント配線板やフィルムなど薄板材の表面を一括で均一に梨地加工な物理的…

以下、厚さ0.2 ～ 2.0mm までのプリント配線板などの薄板材表面の精密物理洗浄をおこなう表面処理装置。 薄板材両面を均一に処理し、水洗、水切り乾燥までを連続自動処理可能。プリント配線板の洗浄、異物・酸化膜除去、デスミヤ、表面粗化、エッチングなどに使用可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： マコー株式会社

セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…

する必要があり、より薄いセラミックス製のエンドエフェクターが使用されます。吸着機構を備えた搬送ハンド（エンドエフェクターのこと）には内部に流路を設ける必要がありますが、接着剤を使用するSUS貼りは、異物混入のリスクを増加させます。メタルコンタミネーションやパーティクルの混入リスクがない当社の空洞一体技術でつくられたセラミックス吸着搬送ハンドは業界標準となっています。PeriZacはウエハの接触面積...

メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部

Prestige エッチング加工製品、半導体外観検査装置カタログ

半導体の欠陥、ムラ、シミの検査を同一の検査工程で一度に行うことが可能。…

半導体の各製造工程、成膜、レジスト塗布、リソグラフィー、エッチング、CMPなど、ウェア上の各ダイに均一な製造工程を行いたいもの。 しかし、現実には異物混入、パターン欠陥や膜厚などのばらつきにより、ウェハー上にムラが発生します。 その各工程に自動化した検査装置を入れることにより、各工程の半導体工程作業の微調整を可能にします。 また、半導体の...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

【油膜除去】超精密スチーム洗浄機『洗蒸気』

蒸気の力で超精密洗浄！投入→洗浄→冷却ブロー→排出→搬送の一連の工程を…

では届かなかった隅々まで洗浄が可能です。 従来の洗浄機はフィルターで液を循環させるため、管理が不十分な場合油膜などの不純物が付着することがありましたが、 「洗蒸気」はフィルター不使用なため、異物混入厳禁な現場においても、クリーンな状態の部品をラインへ送ることができます。 【特長】 ■フィルター管理不要 ■水道水を利用するため、洗剤不要 ■ワークに合わせてスチーム洗浄機を開発・調...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社松浦機械製作所

ダイシングフレーム洗浄装置

剥がす！洗う！乾燥する！がこれ1台！

フレームから剥離し洗浄、乾燥する装置です。ダイシングフレーム(リングフレーム・ダイシングリング・エコリング)に付いた糊・粘着物はごみの付着要因となります。カッターとリングで削られて出た金属は導電性の異物に・・・。半導体製造工程のダイシング周辺の歩留まり向上にお役立て下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ4”　厚みについては応相...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

アロン電機株式会社　事業紹介

ニーズに的確に応え、さらに挑戦！生産基盤を創造し、お客様のお役に立ちま…

ニット ○ラック治具製作部門 ○機械治工具加工部門 【技術紹介】 ○開発・設計技術 →省力化機器開発技術 →機構開発技術 →制御開発技術 →画像処理技術 →高精度外観検査技術 →異物・異品種判別システム技術 ○加工技術 →精密加工技術 →微細加工技術 →3次元5軸加工技術 →旋削5軸加工技術 →量産加工技術 →特殊材料加工技術 →仕上げ加工技術 →加エプログラ...

メーカー・取り扱い企業： アロン電機株式会社

次世代クリーン化技術！超音波 非接触 浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…

波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに搬送・低破損率 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

日本のものづくりを陰で支えるタイヨーアクリスの自動機開発部

製造現場にベストな装置を！検査、組立、加工、搬送など幅広い装置を開発し…

【自動機開発事例】 タイヨーアクリスがこれまでに開発を行った自動機の一例をご紹介いたします。 ■画像検査装置 ・外観検査、異物混入検査、パターンマッチング等様々な用途で使用可能 ■レーザーマーキング装置 ・画像補正機構を組み合わせることにより高精度のマーキングが可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タイヨーアクリス

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。 １つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

【防塵】アルミ製品のパーティクル防止などに【TAF TR】

350℃でもクラックレス！半導体製造装置などの防塵に！クラックレスの硬…

半導体製造工程で発生するパーティクル(異物微粒子)は製品歩留まり(良品率)や信頼性に著しく影響を与えることと思います。 クラックレス硬質アルマイト【TAF TR】は温度域350℃でもクラックすることがないため、皮膜の欠損や剥がれが無い...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場

高除去率の除鉄装置

永久棒磁石を使用した粉体用除鉄装置の除去性能を向上した改良版

棒磁石を水平に配置する従来型の欠点（1)棒磁石の上に粉が堆積する（2)流動性の悪い粉には向かない⇒閉塞し易い（3)棒磁石に金属異物が接触するチャンスが少ない等々）を解消することにより、除鉄性能を従来型より１．３〜１．８倍向上することができます。...

メーカー・取り扱い企業： ダイカテック株式会社

ボールリテーナ入り高速ボールねじ SBN形 小型サイズ

ボールリテーナ入りボールねじSBN形に軸径16〜32mm登場

ダブルナットタイプに比べてナットの全長寸法が短く、コンパクトになっています。 また、オプションとして長期メンテナンスフリー化に向けて開発されたボールねじ用潤滑装置QZや悪環境下でも ナット内部に異物の侵入を防止する、ワイパーリングも標準化されています。...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

ウェーハ表面検査機（VSI-01型）

ポリッシュ加工後のウェーハの表面検査をする装置です

・散乱光検出方式によりφ0.2μm以上の異物を検出します。 ・裏面真空吸着とし、ウェーハ表面には接触しません。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム