ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

各種スイッチ総合ラインナップ　＜圧力、真空、油圧＞【使用事例付】

PR大手航空機メーカーでも採用！圧力・真空・油圧スイッチの総合カタログを進…

圧力・真空計測・制御のエキスパートとして、半世紀以上の実績と蓄積された経験とノウハウにより、圧力・真空制御スイッチ専業メーカーです。 【特長】 ■自社独自での生産ラインの企画、設計、製作、改良 ■構成部品の部品加工から出荷に至るまですべて社内で一貫生産 ■高品質な製品を短納期にてお客様に提供 / 特殊継手等にも対応 【主な対象業界】 ・電車車輌 ・航空機 ・工作機械 ・医...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三和電機製作所

フッ素樹脂コーティング　「採用業界や用途とは」

非粘着性や撥水性、すべり性に優れ、耐熱性や耐薬品性の高いフッ素樹脂コー…

■フッ素樹脂コーティングの採用業界と用途 ・半導体製造装置　 　めっき治具関係／半導体製造ライン／真空チャンバー等 ・自動車産業 　CFRP成形工程／搬送機器／成形金型／カッター刃等 ・食品用機器 　自動炊飯ライン／焼き型など ・産業用分野 　射出成形用金型／樹脂成型金型／真...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

フッ素膜【フッ素薄膜処理における真空蒸着法とスプレー法の違い】

各処理方法のメリット・デメリットを分かりやすく紹介した資料進呈。受託加…

本資料では、ガラスや金属に撥水性・撥油性・防汚性・離型性などを付与できる フッ素薄膜処理について、真空蒸着法とスプレー法の違いを説明しています。 フッ素薄膜処理は、基材の形状やコストなどの条件に応じた 処理方法の選定が求められます。 フッ素薄膜処理をご検討中の方は、ぜひ本資料をご覧くだ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

フッ素膜【フッ素薄膜処理における真空蒸着法とスプレー法の違い】

各処理方法のメリット・デメリットを分かりやすく紹介した資料進呈。受託加…

本資料では、ガラスや金属に撥水性・撥油性・防汚性・離型性などを付与できる フッ素薄膜処理について、真空蒸着法とスプレー法の違いを説明しています。 フッ素薄膜処理は、基材の形状やコストなどの条件に応じた 処理方法の選定が求められます。 フッ素薄膜処理をご検討中の方は、ぜひ本資料をご覧くだ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

真空蒸着サービス

他の追随を許さない技術でお客様に御満足いただける製品を提供いたします！

当社では、主にアルミニウム蒸着による自動車ランプのリフレクター・ レンズ・装飾部品、さまざまな照明器具用の反射鏡、家電部品、 ホビー等の蒸着をおこなっております。 社内蒸着資格を持った技能員による条件設定と生産、標準作業遵守の 励行により安定した高品質蒸着品を提供。 蒸着技能員、塗装技能員、検査技能員の連携により、常に高品質な 仕上がりを追求しつづけます。 ご要望の際はお気軽...

メーカー・取り扱い企業： 旭真空株式会社

最新　実用真空技術総覧

旧版より30年間の進展を凝縮し、基礎から応用・実用までを網羅。 現場…

『最新　実用真空技術総覧』 発刊：2019年2月 定価：本体58,000円＋税 体裁：B5判1096頁 発行：(株)エヌ・ティー・エス ISBN 978-4-86043-559-2 C3043 編集...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ・ティー・エス

脱脂・洗浄処理に好適な洗浄機！省スペース洗浄乾燥機『CLOVA』

洗浄～乾燥まで全自動でオペレーターも安心！『ワンバス式洗浄機の決定版』…

？ 『塩素系・臭素系洗浄機の代替を探している』 『洗浄や乾燥がうまくいかず困っている』 『炭化水素洗浄機の更新を検討している』 『炭化水素洗浄を試みたが、洗えなかったor乾かなかった』 『真空ポンプの故障やメンテが多く悩んでいる』 炭化水素系ワンバス式真空洗浄機「CLOVA」は、コンパクトかつ高品質な洗浄・乾燥を実現します。粗真空超音波洗浄→仕上真空超音波洗浄→減圧ベーパー洗浄→真...

メーカー・取り扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工

大阪真空化学　EMIシールド

シールド効果が抜群です。

デジタル化の進展に伴い、ＥＭＩシールドが益々重要に成ってきており、必要に応じ片面シールド・両面シールド・部分シールドで対応させて頂いております。...【特徴】 ○成形品に湿式・乾式で銅・ニッケルメッキ、又は塗装をすることでシールド効果を発揮 ○マスキングをすることにより部分的にメッキすることも可能 ○熱可塑性樹脂に幅広く利用 ●その他詳細についてはカタログをご覧頂くか、お問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業： 大阪真空化学株式会社

表面処理事例集　『真空成形の脱型性向上で製品不良を低減』

離型剤なしで脱型を実現。金型の精密性を保ち、耐久性もアップ。表面処理で…

生産ラインにおいて下記のようなトラブルはいつ何時発生するか分かりません。 ■ラインの停止　■タクトタイムの遅延　■不良の増加　etc… このような問題が起きた際には、迅速な対応や原因の究明も大切ですが、 事前に対策を学んでおくことで有事の事態を防ぐことができます。 表面処理で”離型性・滑り性”の付与をすることで、 実際に生産工程を改善した表面処理の『お試しセット』や 『工程カイゼン事例集』を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

ＨＰＣ－２０フルオートオスミウムコーター

高機能・低価格 タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あら…

許）を採用、試料にやさしく金属オスミウムをコーティングします。 ★ホローカソード円筒内全体にオスミウムプラズマイオンが発生しますので試料の大きさ、高さの影響を受けません。 ★プラズマ放電に最適な真空度に達してから、コーティング中のみオスミウムガスを注入するので結晶オスミウムの消費を節約できます。（1ｇ使用時100回程度） ★ コーティング操作はフルオートです。SEMのスタブに取り付けた試料を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

大阪真空化学株式会社の会社案内

設計、金型製作から完成品にいたるまでの全工程を一貫受注

表面処理の総合メーカー「大阪真空化学株式会社」の会社案内です。設計、金型製作から完成品にいたるまでの全工程を一貫受注で非常に高い信頼を得ています。品質第一、環境保全に努めています。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 大阪真空化学株式会社

プラズマイオンボンバーダＰＩＢ－２０

あらゆる用途に対応可能な高性能装置。調整後はボタンひとつでＯＫ！

着を防ぐバイパス排気管自動切換えシステム搭載。 ○調整操作もラクラク！黄色ＳＷを右から順に押していくだけです。 ○繰り返し処理を行う時は緑ＳＷを押すだけで全自動処理します。 ○試料チャンバーは真空保持が可能。真空保管装置としてもご利用いただけます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

卓上真空プラズマ装置　YHS-R

超小型！卓上で扱える表面改質装置！

表面改質に特化した卓上型の真空プラズマ装置！ ワンタッチの簡単な操作性で安価な価格帯です。 大学・研究機関等に多数の導入実績有り！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

真空ラミネート加工サービス

新しい技テクノロジーに対応するため、存分に活用したい真空ラミネート加工

当社では、手貼りの作業ではできない高い精度を可能にする 真空ラミネート加工を行っております。 真空ヒータプレスのプレス押し型内部に真空隔室をつけ、クイックに 真空減圧させ空気泡を取り除く、さらに均一な真空貼り合わせを行なう 働きにより、真空ラミネー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イトウ

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

１０‐⁷ｐａの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。 高効率強磁性体用カソードやワイ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空蒸着メッキ加工サービス

仏具・玩具・アミューズメント部品・自動車部品への真空蒸着メッキ加工！

当社では、真空中で金属や金属酸化物などの成膜材料を加熱し、 溶融・蒸発または昇華させ、基材や基板の表面に蒸発・昇華した粒子 （原子・分子）を付着・堆積させて薄膜を形成する 『真空蒸着メッキ加工』を行っており...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社新正加工

真空熱処理（V-TECH）

＜外観品質を徹底的に追及した熱処理！＞表面酸化の低減や焼入れ時の歪み改…

当社は、外観品質を徹底的に追及したV-TECH真空炉を開発しました。 加熱室・冷却室は、外気と触れることがなく湿気等、外観品質に影響する因子を遮断した画期的な真空炉です。 現在、多くの精密部品・金型の熱処理に使用していますが、設備メーカーと...

メーカー・取り扱い企業： 朝日熱処理工業株式会社

八田工業　真空熱処理

金属の酸化を防ぐ、最良の熱処理法

真空炉を使って金属を加熱・冷却し、硬度、靱性、耐蝕性を与えます。 従来の処理システムと比べて、クリーンで安全。 不必要な化学変化を起こさず酸化を防ぐため、 ステンレス、チタンなど、金属製品における最良の熱処理法です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 八田工業株式会社

真空熱処理サービス

金属とのたゆまぬ対話を礎に、お客様の信頼に全力でお応えします！

当社では、均一加工ができ、極めて歪みが少ない真空熱処理を 行っております。 真空焼入れをはじめ、真空ロー付、その他の真空熱処理の 三位一体のパワーがニーズに的確に対応します。 ご要望の際は、お気軽にお問合せください。 【用途...

メーカー・取り扱い企業： 高熱炉工業株式会社

プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』

2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献

付きバッチ装置 ◎排気ポンプ: ドライポンプ ◎寸法: 1400(W)×3000(D)×1900(H)mm ◎重量:1000kg ◎電源容量: AC200V(3φ)/15kVA(44) ◎真空槽サイズ(処理室): φ440×195(H)mm ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

マルチ成膜装置VEＳ－１０

親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化。

マルチ成膜装置VEＳ－１０は親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置です。シャーペンの替え芯を蒸着。マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。排気開始からコーティング終了まで自動で行なえます。機能切替はボタン一つで楽々。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○シャーペンの替え芯を蒸着。マグネト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

【エージング時間が大幅短縮！】耐プラズマ耐食性YOF保護膜

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、…

成膜する基板は、石英、アルミナ、金属アルミで行えることが確認されています。つばさ真空理研株式会社は、イオンアシスト蒸着法によるY2O3やY5O4F7といったドライエッチング装置部品の信頼性を大幅にアップさせる保護膜を成膜できる受託成膜サービス会社として半導体製造装置メーカー、半導体...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

卓上型真空プラズマ処理装置『PC-0400』

洗浄・表面処理・表面改質・接着強化に対応！ タイマー機能付！

『PCシリーズ』は、プラズマ放電にさらすことで、従来の洗浄方法では 難しかった表面汚物物質の除去ができる真空プラズマ処理装置です。 金属、セラミック、プラスチック、PDMSなど多くの材質処理に対応可能。 また、洗浄以外にもポリマーへの薄膜形成、表面接着力強化、細胞培養の 前処理などあらゆる試料の...

メーカー・取り扱い企業： ストレックス株式会社

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

つばさ真空理研株式会社の『高耐食性Y2O3（酸化イットリウム）膜』についてご紹介します。 「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

プラズマクリーナーＰＣＵ－３０

小型・低価格を実現。多目的簡易操作型RFプラズマクリーナー。

プラズマクリーナーＰＣＵ－３０はSEM・TEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格を実現。低エネルギープラズマで試料損傷を回避。•クリーン排気（TMP+SQP）・簡易操作で能率的です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○SEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。 ○当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＴＫ

電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。

マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－２０－ＴＫは電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のタングステンコーティング装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。 ○超高分解能ＳＥＭにおいて超高倍率の観察に活躍します。（２０万倍以上） ○試料傾斜・回転機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

小型真空プラズマ装置　NMR-Gts

真空プラズマ装置の相場を破壊！

業界初の高品質・低価格を実現した小型真空プラズマ装置「NMR-Gts」が新登場。 繊維やフィルムを均一にプラズマ処理！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

研究開発に最適！卓上型の真空・大気圧・粉体プラズマ装置

【表面改質】濡れ性向上、接着強化、ナノ洗浄！最先端プラズマ処理で新技術…

『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます！ ワンタッチ機能で真空機器初心者でも簡単に取扱いでき、ラボレベルで効果を試すのに適した安価な価格帯です。 【R&D実用例】 ・異材料の接着力を強化　　有機薄膜の除去　　ガラスの洗浄 ・フィルムの接着強化　　　電...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

ガス導入型真空プラズマ装置

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決！ 本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力計が設置されており様々な条件で照射が可能です♪...プラズマ装置国産メーカー『魁半導体』 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

小型回転式真空プラズマ装置

一括処理で時間短縮&コスト削減！　少量の粉体・微小な部材の表面改質に！

『粉体や固体全面』など様々な材料の『親水化』『洗浄』『密着強化』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂ける回転式真空プラズマ装置！ 通常のプラズマ装置はサンプルとプラズマが触れていない底面などの接触部分は処理できず裏返す工程が必要となっていました。 本製品はチャンバーが回転する事によりサンプル全面に均一なプラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

真空プラズマ表面処理装置の世界市場レポート2023-2029

真空プラズマ表面処理装置の世界市場規模、シェア、動向分析の調査レポート…

2023年8月10日に、QYResearchは「グローバル真空プラズマ表面処理装置に関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。真空プラズマ表面処理装置の市場生産能力...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

真空配管向け！酸化被膜処理「OGF処理」※アウトガスを抑制！

アウトガスを抑制して真空化のスピードUP！アルミニウム母材向け酸化被膜…

アルミ母材用酸化被膜処理です。 OGF処理を行うことで、50～400℃まで加熱した場合の表面からの放出ガスは無垢のアルミレベルとほぼ変わらず、450℃近傍でも酸化被膜にクラックは発生しません。 真空配管など、真空機器の内側にOGF処理の被膜を作ることで、アウトガスを抑制して真空化のスピードを早める効果があります。 【特長】 ■金属から出るアウトガスを削減 ■アウトガス抑制で真空になる...

メーカー・取り扱い企業： ニッコーシ株式会社

実験用小型真空蒸着装置

MAX10V-150Aのパワーと大容量のLN2トラップを備え迅速な試料…

容器寸法：φ150×200H、排気系：2インチ拡散ポンプ(LN2付)+ロータリポンプ20L/min。メインバルブには2インチサイズを採用しポンプの排気能力を有効に引き出します 。真空容器の金属部、メインバルブ、3方バルブ、リークバルブはステンレス材を採用しています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

真空ガス窒化処理サービス

幅広い鋼種に採用でき、特に鋼中に3％以上のCrが含有した合金鋼ならば高…

当社では、真空炉による窒化原子の拡散原理を利用した 『真空ガス窒化処理』の技術を取り扱っております。 真空した炉内にNH3と窒化促進ガスを炉内に送り、 温度を480～550℃に加熱し、加熱状態を保持して...

メーカー・取り扱い企業： プラスエンジニアリング株式会社

真空脱気・含浸装置『V-POT(C)』

メクラ穴などがある部品の電気めっきに！電解液や処理液を短時間で含浸させ…

『V-POT(C)』は、シンプルな機構で部品穴内部に電解液や処理液を 短時間で含浸させることができる装置です。 部品をバレルに移して電気めっきするのみ。 めっき槽全体を真空にするなどの大がかりな装置は一切不要です。 【標準品仕様】 ■装置寸法(mm)：H1260(1350max.)×W550(700max.)×D360 ■外カマ寸法(mm)：340φｘ330...

メーカー・取り扱い企業： 新共立化工株式会社

真空蒸着加工

真空蒸着は高真空中で金属や酸化物を加熱蒸発させて基盤表面にデポジション…

当社は昭和３０年代から真空蒸着の技術確立を実施しております。 代表的な蒸着金属はアルミニウムで、ガラス基板やプラスチック成型品の表面にデポジションを行い更にその上に電子ビーム蒸着にてSiO2やTiO2等の酸化膜をコートして...

メーカー・取り扱い企業： 安達新産業株式会社 本社

イオンビーム描画装置OMFシリーズ

ビューラー・ライボルトオプティクス（旧OPTEG社）のイオンビーム描画…

世界最大の真空装置・機器メーカーとして160年近い歴史を持つライボルトオプティクスは、業界のリーダーとして長年の経験を有し、高精度な光学コーティングを実現するための真空薄膜製造装置およびプロセスを提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： ビューラー株式会社

表面処理加工【異物の付着防止に貢献】

【受託コーティング加工】AFM・STM用プローブに自社開発の有機ナノ薄…

有機ナノ薄膜処理技術　「NANOS（ナノス）」は、特殊なフッ素系高分子をスプレー処理・真空蒸着によってステンレス（SUS)やニッケル（Ni）などの金属やガラス基材に対して、撥水性・撥油性・防汚性（耐指紋性）・滑り性（動摩擦係数）向上などの機能膜を付与することが出来る技術です。 プロセス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。 半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大きなカギを握っています。エッチング装置部品の保護膜は、溶射やエアロゾルデポジションによる酸化イットリウム膜が使われていましたが、エッチン...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

6mmの浸炭処理実績あり！『真空浸炭法による金属熱処理』

スピーディに浸炭処理。厚い硬化層も短時間で処理可能。鋼・チタン・SUS…

当社は、短時間で安定した表面硬度が得られる 『真空浸炭法による金属熱処理』を行っています。 粒界酸化が起こらず、焼割れの心配がありません。 二酸化炭素の排出が少ない、省エネルギーかつクリーンな処理が可能です。 製品の寿命向上をはじめ、...

メーカー・取り扱い企業： 共和熱処理株式会社 川口事務所

電子材料向け『真空熱プレス・金属箔への樹脂塗工』【河村産業】

前工程で表面処理も行える「真空熱プレス」や金属箔への「塗工」技術は、5…

村産業では、電子材料向けの素材の開発製造や、付随する加工技術を提供しています。 5G用基板や面状発熱ヒーター用基材向けにも採用実績のある技術をご紹介します。 【当社の技術：電子材料向け ‐ 真空熱プレス 塗工技術の強み】 　■真空熱プレス 　真空熱プレスによる試作・量産では、接着剤レスでのプレスができるため、 　材料本来の特性をより活かすことが出来ます。（※接着剤有りの積層品にも対応...

メーカー・取り扱い企業： 河村産業株式会社

プラズマイオンボンバーダＰＩＢ－１０

プラズマ放電で生ずる＋イオンで試料表面をクリーニング。

プラズマイオンボンバーダ　ＰＩＢ－１０型は試料に優しい交流イオンボンバードです。操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。ソフトとハードの切り替えができます。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○試料に優しい交流イオンボンバードです。 ○操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。 ○小型で場...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によってプロセスの初期と処理後のチャンバ内表面状態が変化することにより、プロセス条件の変動が発生します。このようなプロセス条件の変動を緩和するため、従来技術では製品処理前に類似...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

真空蒸着

アクリル、ゼオネックス、ポリカやPC系樹脂に対応する高耐久なコーティン…

光学レンズ開発・製造を行っているnittohの『真空蒸着』についてご紹介します。 「樹脂製品用反射防止コーティング」は、アクリル、ゼオネックス、ポリカに 対して安定して低反射ARコート、アルミ増反射ミラーコート等高耐久の コーティングを提供...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社nittoh

真空装置　基板用平行平板プラズマ処理装置　PC-RIEシリーズ

処理可能基板サイズ550×650ｍｍ。無廃液化・低ランニングコストを実…

の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○真空プラズマ技術は従来の処理に比べて良環境化 →クリーン化，無廃液化 ○低ランニングコスト ○処理可能基板サイズ550×650ｍｍ その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

真空熱処理・ソルト焼き入れ

機械加工済みの金型、工具などの品物の熱処理に好適！少ない仕上げしろで熱…

真空熱処理は、高温に加熱中の表面劣化を避けるために、真空雰囲気中で加熱をします。 少ない仕上げしろで熱処理できるため、機械加工済みの金型、工具などの 品物の熱処理に好適。 当社は、真空焼入れをはじめ、ソルトバスやDSハード【窒化処理】など、様々な熱処理に対応しています。 【特長】 ■真空焼入れ ・最大処理重量はバッチ炉1000kg、ピット炉1500kg ・最高1300℃までの加...

メーカー・取り扱い企業： 第一鋼業株式会社

平行平板式減圧プラズマ処理装置　真空プラズマ装置

各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基（親水、親油、密着性…

「PC-RIEシリーズ」は、各種基板/フィルム等に対して、様々な表面改質効果を与える処理が可能です。 もちろん、一般的なプラズマ処理装置として、アッシング、エッチング、デスミア等の処理も可能です。 チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○官能基修飾処理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

超高真空マルチチャンバー連結システム

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹…

当社が取り扱う『超高真空マルチチャンバー連結システム』を ご紹介します。 超高真空搬送用チャンバーに複数の成膜・分析装置を連結した UHV一貫システムは、ALD、ECRプラズマ処理、スパッタ装置と XPS分析装...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

アモルファス溶射皮膜『VACUUM2023真空展』出展

アモルファス金属を急冷噴射法により溶射することで、単独の薄板や基材へ被…

め、非接触での歪検出が可能 ■300μm以上の薄板の製造が可能（従来製法：50μmの箔） ■アモルファス技術を適用した事例を紹介した資料進呈中 ※東京ビッグサイトで開催される『VACUUM2023真空展』に出展※ ■開催日時：2023年11月29日（水） ～ 2023年12月01日（金） ■会場：東京ビッグサイト 西ホール ■小間番号：V-60 皆様のご来場を心よりお待ち申し上げます。 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： 臼井国際産業株式会社

真空蒸着

真空蒸着

蒸着加工を中心とした各種様々な工法により薄膜の製作が可能です（スパッタ加工・メッキ加工・メタライズ加工・PVD.CVD法等も取り扱っております） またフォトエッチング加工・リフトオフ・マスク加工あるいは精密スクリーン印刷法等の手法を用いて　複雑・微細なパターンの製作も致します。ガラス、金属、樹脂フィルム（ペット、アクリル、ポリミドその他）など多品種の基板に対応可能です。 ...蒸着加工を...

メーカー・取り扱い企業： 伸和商工株式会社

ステンレス鋼　酸化不動態膜処理　GEP/GEP-W

ウルトラクリーン・テクノロジーを支える新しい表面処理技術です

W（ゴールドEPホワイト）の特徴】 ・パーティクルの発生をシャットアウト ・緻密な酸化皮膜により金属イオンetc.の溶出は超低レベル ・高温、高圧などの条件下でも信頼性と安全性を確保 ・真空域での応用　　など ※詳しくはカタログをダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニクニ 本社、本社営業部、大阪営業所、名古屋営業所、福岡営業所

【強力な酸素バリア膜】透明で緻密なアモルファスアルミナ膜

可視光から紫外線領域まで透明、イオンアシスト蒸着によるアモルファスアル…

イオンアシスト蒸着によるアモルファスアルミナ膜が結晶の粒子が50nm以下で均一な微細構造の超緻密な酸素バリア膜です。可視光から紫外線領域まで透明ですので様々な用途に使うことができます。...石英ガラス上に2μmのアモルファスアルミナ膜をイオンアシスト蒸着で成膜すると可視光から紫外線領域での透過率は90％、50nm以下の均一な微細構造をもった膜質が得られます。強力な酸素バリア膜として期待されます。...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○8，12インチ用装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

金属熱処理サービス

真空浸炭、真空焼き入れ、焼準といった金属熱処理は当社へお任せください

当社では、真空浸炭、真空焼き入れ、焼準などといった金属熱処理を 行っております。 既存の熱処理技術の研鑽をベースに、先進かつ独自の研究設備を設置。 真空熱処理技術や、表面処理技術などの熱処理技術の開発に...

メーカー・取り扱い企業： エルイーカーボ株式会社

真空浸炭法『ダイレクト浸炭（Multi Carbo）』

ガス浸炭と真空技術を融合！雰囲気に酸素成分を含まず粒界酸化無し、仕上肌…

『ダイレクト浸炭（Multi Carbo）』は、ガス浸炭と真空の技術を 融合させて生まれた新しいコンセプトの浸炭法です。 本技術は真空（減圧）を利用することにより、キャリヤガスを極端に減らし、 浸炭ガスとして鎖状の不飽和炭化水素ガスを極々少量使用する...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本テクノ

歪みを極小にし、かつ素材の特性を最大に！【真空熱処理】

様々な形状に対応すべく過熱・冷却の処理プロセスを最適に制御！ 複雑に加…

真空熱処理は、真空ポンプで減圧された密閉容器内で素材を高温に過熱し、 窒素ガスや油で冷却し焼入れする方法です。1000度以上の高温での処理が可能であり、 ダイス鋼やハイス鋼の焼入れにも広く適用されています。 私たちは、創業以来、金属プレス金型用のダイス鋼の熱処理を専門としており、 さまざまな形状に対応すべく過熱・冷却の処理プロセスを最適に制御します。 3次元に複雑に加工された自動車用金型も歪みを極...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケンテック

【加工技術】真空浸炭焼入（ダイレクト浸炭）

表面層の粒界酸化や浸炭ムラが無いので、細孔内面も可能！品質向上が望めま…

『真空浸炭焼入』とは、真空炉内にて行う浸炭焼入方法です。 炉内に供給したアセチレンガスが熱分解し、発生した炭素が表面より 浸透・拡散。浸炭の効果に加え、表面層の粒界酸化や浸炭ムラが無いので、 細...

メーカー・取り扱い企業： 遠州熱研有限会社

株式会社アクアテック『製品総合カタログ』

真空洗浄乾燥機や水系洗浄乾燥装置などを豊富にラインアップ

『製品総合カタログ』は、工業用真空洗浄機・薬品専門メーカーである 株式会社アクアテックの総合カタログです。 PVD等、真空蒸着の前洗浄に最適な水系洗浄と炭化水素真空乾燥を融合した ハイブリッド洗浄装置をはじめ、真空洗浄乾燥...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクアテック

卓上コーター（卓上塗工機）　『MC-20』

必要最小限のサイズ・機能に絞り圧倒的コストパフォーマンスを実現した、設…

『MC-20』は内蔵の真空ポンプでフィルムや箔を吸着しながらシート状のワークに簡単に塗工出来る卓上ミニコーターです。 非常に軽量かつコンパクトで設置場所を選びません。 【特長】 ■超小型・低価格 ■内蔵の真空ポン...

メーカー・取り扱い企業： 宝泉株式会社

『MYL-001』とは？耐浸透性PFAフッ素樹脂ライニング

『MYL-001』は耐浸透、耐ブリスター性能を向上できる厚膜PFAライ…

足できない場所に適しています。 ・目皿や撹拌機等の複雑な形状にもライニングが可能です。 【特長】 ■耐浸透性性能の飛躍的な向上（当社比） ■厚膜加工が可能（MAX2000μm） ■強力な密着力（耐真空性） ■継ぎ目のない一体加工 ■日皿や捜挿機等の複雑な形状にもライニング可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

真空蒸着塗装サービス

非導通の金属膜のため、耐静電気特性に優れています

当社では、非導通膜のため電波干渉がなく、通信端末への影響がない 真空蒸着塗装を行っております。 真空蒸着を用いることで、各国の規制物質を製造工程の段階から 排除する事が可能になり、環境に配慮した技術です。 また、表面塗装のためカラーバリエーションが豊富...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アスティホリエ