【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

三浦工業のバイデルポンプ・ロータリーポンプ【展示会出展】

PR【FOOMA JAPAN 出展！】豊かな発想と技術力でお客様により良い…

三浦工業株式会社は、ボイラの開発で蓄積してきた豊富なノウハウを活かし各種ポンプを取り扱っております。 高粘度液の移送が可能な「高粘度液移送ポンプ VRP」をはじめ脱気、吸引、吸着に適した「水封式真空ポンプ MEA」などをラインアップ。 お客様に様々な用途でより良い「機能」と「安全」「安心」をお届けしたいと考えています。 【取扱い製品】 ■高粘度液移送ポンプ VRP ■高粘度液...

メーカー・取り扱い企業： 三浦工業株式会社

真空貼り合せ装置（ボンディング装置）VAP250

超精密ラップ加工及びポリッシュ加工を可能にするボンディング装置をご提供…

加工（作成）・ウエーハの厚みの高精度管理が可能とする接着装置 ○試料の加圧に空気圧力（ダイアフラム方式）を採用することにより、試料を均一に加圧でき、支持基板 にムラなくウエーハの反りを矯正 ○真空環境下で貼り付けることによって、ワックスに含まれる気泡や、反ったウエーハを貼付ける際に混入してしまう空気などの気泡を脱泡し、ワックス層への気泡の混入による厚みバラツキ・接着力不足のない高精度な貼り合...

メーカー・取り扱い企業： テクノライズ株式会社

精密片面ラッピングポリッシング装置　TR15S

磁気ヘッド、YAG、レーザー等の高精度加工を必要とする超精密研磨に最適…

【特徴】 ○シリコン、サファイア、GaN、SiC等各種ウェーハの鏡面加工 ○真空チャック面の平坦化加工 ○オプチカルフラット等測定基準器の平行平面加工 ○SUS・銅等金属系の鏡面加工 ○ピーク材やアクリル等樹脂系の鏡面加工 ○セラミックス等の精密部品鏡面加工 ●詳...

メーカー・取り扱い企業： テクノライズ株式会社

真空貼り合せ装置　VSP300

超精密ラップ加工及びポリッシュ加工を可能にするボンディング装置をご提供…

昨今の加工技術に求められる微細加工や多様化された超高度な精度要求を解決すべく、また、現状のラップ・ポリッシュ加工ラインを生かしつつ更なる精度追求を可能にした超高精度加工工程において必要なワーク仮固定方式としてボンディング装置で貴社の開発・生産ラインのサポートを致します。 ...【特徴】 ○サファイア・ＧａＡｓに代表される様なウエハの高精度研磨を実現 ○槽内を減圧とし、ワックス内に含まれる気泡...

メーカー・取り扱い企業： テクノライズ株式会社