『信頼と満足をお届けします！東洋ステンレス化工の真空チャンバー』

PRお客様とのコミュニケーションを大切にしており、遠方であっても可能な限り…

弊社では、長年培ってきた様々な経験を活かし、ステンレス製真空チャンバーを製作しています。 円筒形、角形はもちろんフルジャケットタイプや多角形型など、お客様の用途や仕様に合わせて製作しています。 様々な加工技術を駆使し、真空炉や真空タンク、真空配管、さらには船舶向けプレハブ配管なども幅広く手掛けています。 また、自社ブランド『TSクランプ』を用いた真空チャンバーも多数制作しております。...

メーカー・取り扱い企業： 東洋ステンレス化工株式会社

高圧式リングブロアー総合カタログ※HO HSING

PR高圧式リングブロアーと油式回転真空ポンプの総合カタログ！

高圧式リングブロアーは吸い込む空気は螺旋軌道を描きながら圧縮室を通り、 インぺラの遠心推力により繰り返し加速される為、排気スロットで高圧が得られるようになります。 油式回転真空ポンプは精密ポンプと高い軌道トルクの直結駆動誘導電動機から成っており、 低コストと高性能により、中程度の真空を必要とする食品加工、印刷など様々な分野で使われています。 【主なラインナップ】 ■高圧式リングブロアー ・ケー...

メーカー・取り扱い企業： ユニオン産業株式会社

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」は、蒸発源として電子ビーム式蒸発源を採用しています。 高融点金属や酸化物を成膜する事ができます。 蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。 主ポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

水晶デバイス装置　真空加熱封止装置 「SLS-401T」

効率的なサイクルタイム　Cl測定によるリークチェック機能搭載

「SLS-401T」は、SMD水晶振動子を対象としたＡu/Ｓｎ用真空加熱封止装置です。 水晶用関連真空装置は、昭和真空の主力製品の1つです。 ここでいう「水晶」とは、水晶振動子、水晶発振器等、水晶を基板とした、クォーツデバイスと呼ばれている電子部品を指します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

高真空アニール装置 「SAF-52T-II」

生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。

高真空アニール装置 「SAF-52T-II」は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のための熱処理を行うことを目的として開発された装置です。 W460×D350×H35...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置　Sapio-DBR

LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！

Sapio-DBR（SGC-S1550i/S1300iシリーズ）は、LED用光学多層DBR膜用に特化した真空蒸着装置で、ドーム内の均一性が良く、生産効率の向上を図ることが可能です。 LED用光学多層DBR膜の成膜に最適です。 【特徴】 ○優れた量産性能 →基板搭載数：φ2inchウェハー約40...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

内熱式油拡散真空ポンプユニット 「SFD Series」

省エネルギー・高効率化を実現した内熱式油拡散真空ポンプユニットです。

オイルレベルゲージでは、オイル量、汚れを一目で確認できます。またメンテナンスについては早めのオイル交換を実施いただくだけで十分。作業効率もUPします。 【特徴】 ○オイル加熱ヒーターには内熱式シースヒーターを採用し、省電力化を実現 ○ジェットの改良により、排気性能が大幅に向上 ○ポンプの立ち上げ時間を短縮 ○直接水冷式コールドキャップをバッフルに内蔵したことにより 　水冷式でもオイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

アーク放電型イオンプレーティング装置 「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

【仕様】 ○真空槽／φ400×D450 ○到達圧力／10^-3Pa台以下 ○排気速度／6.7×10^-3Paまで15分 ○排気操作方法／自動 ○基板加熱／MAX350℃ ○成膜方法／自動 ○成膜速度／2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

油拡散ポンプ用省電力ユニット 「ECO-22」

環境対策・電気代削減に役立ちます。

「ECO-22」は昭和真空製内熱式油拡散ポンプ(22インチ)に簡単に取り付けられる省電力ユニットと断熱ジャケットです。ECO-22を用いることで、排気性能を実用上低下させずに、環境対策、電気代削減が可能になります。 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」

膜厚分布：トレー内 ±1.2％、トレー間 ±1.5％を達成しました。

昭和真空は、約15年の実績を誇るベストセラー装置SPH-2500のフルモデルチェンジを行いました。 ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」は、従来装置の特徴を受け継ぎつつ最新のテク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

　　　　 8軸（Φ360mm×H1650mm/軸：ワーク搭載エリア） ○自公転数　6 軸：自転11～33rpm/公転1～3rpm 　　　　　　8 軸：自転13～37rpm/公転1～3rpm ○真空槽　Φ1600mm×H2300mm（SS400 製） ○フットプリント　W4700mm×D7000mm×H3100mm 【所要諸元】 ○所要電力 本機：Φ3　200V 約12KVA、抵抗蒸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

高出力RFイオンソース 「ISG-180」

広範囲で安定した放電を実現した高出力RFイオンソースです。

ン電流密度100μA/cm2以上の高出力イオンソース ○イオン電流密度分布±10％以下（1300、1550装置にて）の均一性をハイパワーで達成 →Sapio-1300 での測定結果。株式会社昭和真空指定条件に限る ○ニュートラライザーにオートマッチャーを採用し、 　確実な着火性能と安定化を図った ○新開発コレクター電極（特許出願中）の採用により、 　エミッション電流2500mAの大出力...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。 射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。 【特徴】 ○全自動 ○サイクルタイム： 80sec（Al：100nm＋SiOx：20nm） ○高い密着度 →アンダーコート無しでも高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』

2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献

付きバッチ装置 ◎排気ポンプ: ドライポンプ ◎寸法: 1400(W)×3000(D)×1900(H)mm ◎重量:1000kg ◎電源容量: AC200V(3φ)/15kVA(44) ◎真空槽サイズ(処理室): φ440×195(H)mm ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

金属膜+保護膜成膜装置

新しい成膜方法をお考えのエンジニア必見！樹脂基板への金属膜、保護膜を全…

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。 【対象製品】 ◆自動車ヘッドランプリフレクター ◆ミラー ◆金属装飾膜 ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」は、新開発のファイバー式光学モニターの採用や、安定した温度制御が可能な80点モニターガラス機構を搭載することで設計通りの特性が得られる高精度を実現しました。 徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。 【特徴】 ○高効率排気システム ○低パーティクル仕様（オプション） ○高精度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

光学薄膜用蒸着装置 「SGC-S1700シリーズ」

樹脂レンズへの成膜に最適！大量生産を高次元で実現する光学薄膜用蒸着装置…

光学薄膜用蒸着装置 「SGC-S1700シリーズ」は、Sapio 1300 のテクノロジーを盛り込みつつコストパフォーマンスに磨きをかけたAR コート専用 スタンダードマシンです。 ＲＦイオンソース、光学モニター、反転パレットなど多彩な仕様選択が可能です。 【特徴】 ○量産性能と作業効率を高次元で融合 ○設置スペースは1300クラスのたった２割増 ○製品の取数は2倍以上 詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」は、処理室と取出室を別にし、イオンソースもＨ／Ｌを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。 ＳＦＥ‐Ｂ０３に搭載したＩＧＦ－２０１型 １００ｍｍビームのイオンソースを２基搭載しています。 イオンソース１台あたり最大２４個、計４８個同時処理が可能です。 ＳＦＥ－Ｂ０３で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

原子層堆積装置 「ALD-Series」

複雑な形状の基板への成膜に最適で、低温成膜で樹脂基板にも対応します。ま…

ALD（Atomic Layer Deposition）とは原子層堆積法という単原子層を1サイクルで成膜する手法で、サイクルを繰り返すことにより薄膜を形成します。 一原子層レベルの均一なレイヤーコントロールが可能となり、高品質かつ段差被覆性の高い薄膜を形成する事が可能です。 【特徴】 ○複雑な形状の基板への成膜に最適 ○低温成膜で樹脂基板にも対応 ○ガスバリア性に優れた薄膜が得られる...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

光学薄膜形成装置 Genesis-ARシリーズ

蒸着,スパッタでは困難な 高曲率レンズ，ボールレンズへの成膜に最適

光学薄膜プロセスでは一般的な蒸着，スパッタとは異なるALD（Atomic Layer Deposition）の手法を用いることにより、これまで困難とされてきたボールレンズや高曲率レンズなどの基板に対し、 付き廻りに優れかつ高品質な薄膜の形成が可能となっております。 【概要】 ○φ10 インチ基板 最大50枚一括処理（25枚×2軸） 　※基板形状や条件により異なります。 ○基板回転機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

ロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

産できます。 FLモード (負荷容量自動演算モード) を搭載しています。 イオンガン本体、コンタクト機構のメンテナンス性が大幅向上しました。 ２室ロードロック方式を採用することで、処理室は常時真空に保持されているので、タクトタイムが真空排気及び大気開放の時間に依存しません。 オプションユニットとしてオーバードライブ機構付ローダー・アンローダー装置装着により、連続運転が可能となりました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

ホローカソード方式 イオンプレーティング装置　SIH-400T

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

【仕様】 ○真空槽　Φ400 × H500mm ○蒸発源　HCD/Gun　水冷ハース　電源 ○ワーク保持機構 　自公転治具 or 公転治具 ○ワーク加熱ヒーター　シースヒーター ○測定系　ピラニー真空計　ペ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空