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53件 - メーカー・取り扱い企業
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5件 - カタログ
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真空度は100Pa以下！XYZディスペンサ駆動の3軸ロボット
『V-CE340naaD』は、チャンバ仕様の半自動真空枚葉貼合装置です。 位置合せ精度は±0.15mm、画像処理範囲内のワーク外形(例：円形や四角) ピンポイントにあるマーク等、様々な方法で位置合せ可能な一望タイプ。 2液タイプ数値制御・メカ方式等のOCR塗布方式を採用しています。 ご用命の際は当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■OCR貼合 ■2液混合ディスペンサ...
メーカー・取り扱い企業： クライムプロダクツ株式会社
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真空チャンバ内でワークの細部に2液樹脂を自動定量混合注入！！
主剤と硬化剤の各材料タンク内で液剤の確実な真空脱泡 ●精密な計量ポンプで所定の配合比での正確な計量吐出 ●樹脂に適したミキシングヘッド（パワーミキサーまたはスタティックミキサー）で混合 ●真空チャンバを所定の真空度で保持 ●真空チャンバ内でワークの確実な真空脱泡 ●真空チャンバ内で使用できる液垂れ防止バルブ（ノズル） ●真空減圧状態でワークの細部に自動定量注入（注型）し、樹脂を浸透 ...
メーカー・取り扱い企業： エムアンドケー株式会社 本社・工場
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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】
クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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高品質の製品作りを実現。お客様の仕様に合わせた真空注入装置を製作します…
サ 2種類の樹脂を混合するミキサ 電動ロータリミキサ､モーションレス(スタティック)ミキサがあり､樹脂の粘度､吐出量などにより選定 真空注入専用として外気吸い込み防止タイプも用意 ■真空チャンバ 注入時に樹脂内に空気が混入しないようチャンバ内に真空引き 優れた密閉保持機能付きの手動式･自動式の真空チャンバ ■シャットオフバルブ 真空チャンバ内に製品を入れ､真空引きして先端バ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナカリキッドコントロール
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先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…
従来型よりコンパクトなチャンバに大口径クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。 蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。 実績豊富な６連式電子銃は高融点金属を含む多層膜電極形成に対応しています。また安定した蒸着が特徴でマイクロアークによる基板ダメージやドロップ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜
Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…
半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によってプロセスの初期と処理後のチャンバ内表面状態が変化することにより、プロセス条件の変動が発生します。このようなプロセス条件の変動を緩和するため、従来技術では製品処理前に類似...
メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー
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真空装置、半導体製造装置に使用する部品を真空中で高温処理します。プロセ…
クリーンルーム中で真空チャンバを使いグラファイト、セラミックス、メタル部品などの脱ガス処理を行います。表面に付着したガスだけではなく、内部に浸透した水分なども除去できます。 【用途】 ■真空装置、半導体製造用部品など...
メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
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真空装置のプロが書く『真空基礎知識』技術資料進呈中！※展示会出展
用語集、単位換算表、記号の意味、計算事例など、現場で使える知識を１冊に…
真空の総合メーカーとして、60年以上にわたり培った当社のノウハウを、 1冊に凝縮した技術資料『真空基礎知識』を、ただいま無料進呈中です！ 真空関連装置に関わる方であれば必須の「用語集」や「記号の使い方」など、 現場でスグに活用できる知識解説や資料が満載です！ 【資料の概要】 ■単位換算表 ■真空用語 ■真空関係シンボルマーク ■気体の性質 ■コンダクタンスと排気時間の計算...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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ご使用の開放プレス機に装着、低コストで真空プレス機に転用します。
■コスト 低コスト（ハウス型の約1/20）で真空加熱成形を実現します。プレス機は改造不要です。 既存の加熱プレス機に取り付けるだけで、真空プレス機に転用できます。 ■気密性 確実な気密性で133〜1.33Pa（1.0〜0.01Torr）の真空度を実現します。 製品の酸化不良を防止、高品質化を実現し歩留まりも向上します。 ■耐熱性 BFS（角形）では最高260℃まで使...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社タンケンシールセーコウ
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好適な表面処理によるパーティクル低減！ロードロック式による高真空プロセ…
『ロードロック式EB蒸着装置』は、基板回転による優れた膜厚分布および 再現性を実現しています。 ロードロック式による高真空プロセスをはじめ、リフトオフプロセスや、 トレイ搬送にも対応。 最高900℃の高温プロセスが可能で、チャンバのメンテナンスが容易です。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■最高900℃の高温プロセスが可能 ■基板回転による優れた膜...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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びびりピタV用の真空発生器！！
真空発生器と真空チャンバーを一体化した画期的な商品です。...
メーカー・取り扱い企業： 香川クレメン株式会社
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ポリパラキシレン（パリレン）とALD(原子層堆積法）による無機酸化物層…
パリレンは生体適合性を持つ高機能樹脂ですが、無機酸化物と比較するとガスバリア性が低いという欠点があります。そこで、パリレンと酸化物をサンドイッチのように交互に成膜することで、バリア性の高い、高機能膜を生成することが可能になり、製品の小型化や薄膜が求められる医療用アプリケーションに最適です。 パリレンとALDは同一チャンバ(In-situ)で真空を破ることなく成膜するので、パーティクルの心配はあり...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー
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自動車や半導体、機械・電子産業、船舶、航空宇宙産業など幅広く利用される…
【加工例】 ■半導体関係 ・冷却板、真空チャンバ、電極部品 ■自動車関係 ・各種ギア、エンジン部品、ターボ部品 ■精密機器関係 ・各種センサ、ベローズ ■電子・電気関係 ・超伝導線用ビレット、電極板 ■真空機器関係 ・...
メーカー・取り扱い企業： エヌ・デイ・ケー加工センター株式会社
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パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等の…
パッシベーション用MBE装置は、表面パッシベーションまたはレーザーファセットパッシベーションのために特別に設計された各種チャンバーで構成されております。表面やファセット面を保護するために、さまざまなコーティングを使用することが可能です。代表的な材料としてZnSe、SiN、酸化物等がある。 構成例として、クリーニングとパッシベーションを行うレーザーの両端でデバイスホルダーを反転させる機能が含むチャ...
メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社
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真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！
【製作例】 ・実験装置設計製作(カスタム仕様)・実験装置改造設計製作(カスタム仕様) ・不活性ガス環境装置・真空乾燥装置(加熱/冷却) ・グローブボックス対応装置(高純度雰囲気室＋真空チャンバ) ・各種精製機の設計製作 【各種ＦＡ関連装置】 ・真空室内可動装置・大気/真空/グローブボックス室関連装置 ・有機ＥＬ、ＦＰＤ、太陽電池、他設備の設計製作 【図面支給による製...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス
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5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ
チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能
5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズは、多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与しており、チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。並列したステージへのアクセスが可能(レイアウトのインライン化に最適)です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:2...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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板厚4.5mm程度から120mm程度のものまで！鉄・アルミ・ステンレス…
・ショット・下塗り⇒機械加工⇒ 仕上げ⇒塗装・メッキ⇒組立と一貫した部品製作が可能。 精度を要求される溶接・製缶構造物の他、ステンレスの溶接構造物も 得意としており、ステンレス溶接構造真空チャンバについては数千台の 実績がございます。 【取り扱い品目(一部)】 ■架台 ・液晶・半導体製造装置 ■チャンバ ・蒸着装置用真空チャンバ(PVD・CVD) ■各種装置部品 ・液...
メーカー・取り扱い企業： 東金属産業株式会社 本社・沼津工場
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342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズ
真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能
342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズは、真空環境下におけるサセプタ（化合物半導体、シリコンウエハ等）をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。位置決め用センサを真空環境下に配置することで、本気単体のみの設置だけで完了し、装置設計の自由度もUPします。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ワーク(トレイ)重量4kgまでのア...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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真空圧空を使用したアウトモールドデコレーション(OMD：Out Mol…
NATS（空気転写）は3次元加飾技術の事で、3次元形状の製品（プラスチック、金属、ガラス等）に後加工で真空や圧空の技術に過熱蒸気（スーパースチーム）を加える事で予めデザインが印刷されたフィルム(転写フィルムや貼合フィルム)をシワ無く貼り付ける事が可能となったのに加え安定的な生産を確立した技術です。 3次元加飾技術には様々な呼び方がありますが、OMD（Out Mold Decoration：アウトモ...
メーカー・取り扱い企業： エヌアイエス株式会社 本社
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従来のアルミやステンレスの加工品の真空チャンバーと比較して、剛性を保ち…
従来のアルミやステンレスの加工品の真空チャンバーでは、コストダウンに限界がきていました。アルミハニカムパネル化することで同等の剛性や許容たわみ量をたもちながら、大幅な軽量化を実現し、約20％ものコストダウンに成功しました。真空時の10トン/...
メーカー・取り扱い企業： モリシン工業株式会社 本社
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最高900℃の高温プロセスが可能！エピタキシャル促進機構により単結晶成…
『Epitaxial-EB蒸着装置』は、エピタキシャル促進機構により金属膜や酸化膜の単結晶成膜に適した製品です。 基板回転による優れた膜厚分布および再現性を実現させ、またチャンバの メンテナンスが容易。 リフトオフプロセスにも対応しており、適切な表面処理によりパーティクル 低減させます。 マルチチャンバ仕様やバッチ式も製作可能です。 【特長】 ■酸化促進ガス導入機構 ■...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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Premtek RTP-1200A（SEC）（SEF）
定範囲は20℃～1250℃となります。熱電対とパイロメータがリアルタイムの温度測定をし、その結果をスマートPIDおよびマルチゾーンSCRが制御することで、優れた温度コントロールを可能にします。 真空チャンバ内には酸素濃度モニターを搭載し、酸素フリーな環境維持をサポートします。 Windowsベースのソフトウェアはマルチリンガル対応。グラフィカルなユーザーインターフェースで直観的な操作を可能としてい...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
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鍛造ブロックからの削り出し加工！必要な大きさ、ポート寸法・数量により、…
『一体型特殊真空槽』は、ピンホール、マイクロクラックフリーの 超高真空対応チャンバです。 Heリーク実績値は、2.0ｘ10-12Pa/m3を実現。（内面電解研磨処理品） 鍛造ブロックからの削り出し加工で、必要なICFエッジポートを持つ 真空槽を成形します。 また、溶接加工部がなく、溶接部のピンホール、経年使用で生ずる マイクロクラックによるリークは発生しません。 【特...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ダックハウス
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開発、設計から加工・溶接・組立・検査までを一貫して手がけております。
株式会社片桐エンジニアリングでは、超真空から大気圧領域の真空装置・機器においてお客様の要望に応えたカスタマイズ装置づくりを行っており、開発、設計から加工・溶接・組立・検査までを一貫して手がけております。大学との共同研究による最先端プラズマ技術を元に装置開発を続けています。電子ビーム励起プラズマ（EBEP）を社内設備として設置し、企業ニーズに応えた開発、試作を行っており、EBEPによる高速チッ化処理...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング
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設計・製作からアフターサービスまでワンストップで対応いたします。
弊社で設計・製作した機械装置の開発事例を紹介します。 【真空チャンバ】 真空中の部品の発塵を評価するため [概略仕様] ・構成：真空チャンバ、架台、真空ポンプ、 ・サイズ：900 x 1,200 x 450mm 、重量約360kg（架台を除く...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社AGORA TECHNO
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ポリパラキシレン成膜に特化した装置です。メーカは35年以上、ヨーロッパ…
本製品は、密着性よくパリレンを成膜できる装置です。研究やR&Dだけでなく、量産にも対応できる装置を販売しております。また、装置の販売実績は50台を超えており、生産ラインで既に使用されております。 本装置の特徴は、次の通りです。 ・装置クリーニング及びメンテナンスが、容易です。 ・基材との密着性を向上させる為の前処理がin-situで処理可能です。 ・装置に付帯するPLCによりプロセスが...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー
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材料手配からHeリークテストまで1社で対応致します。
丸型真空チャンバー、角型真空チャンバー、多面体型真空チャンバー、異型真空チャンバー、水冷ジャケットのあるものや、二重ジャケットのもの、等様々な真空チャンバーの製作に実績があります。...
メーカー・取り扱い企業： ステンレスジョイント株式会社
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真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ
STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます
真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSTVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。ツイン...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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低温で高い結晶性薄膜を得ることが可能！価格を抑えたプラズマ成膜装置
『AFTEX-2300』は低価格ながらマイクロ波分岐結合型ECRイオン源 を搭載するとともに、ロードロック機構、ターボ分子ポンプを装備した 高性能な固体ソースECRプラズマ成膜装置です。 10-30eVの低エネルギーに制御された高密度イオンの照射下で 薄膜が成長するため、原子レベルの平滑性で緻密・高品質な薄膜が 形成されます。 イオンアシスト効果により、高温の加熱を行うことなく...
メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社
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RIEモードとDPモードの切り替えが可能！特殊表面処理によるメタルコン…
『ドライエッチング装置』は、最大φ12インチ基板を全自動で 連続処理することができる量産装置です。 2周波独立印加方式で、特殊表面処理によるメタルコンタミ低減。 マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作いたします。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング及び イオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた装置です。 【特長】 ■RIEモードとD...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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