• 真空グリッパー『VGC10』 製品画像

    真空グリッパー『VGC10』

    さまざまなニーズに対応!アームの交換・カスタマイズが可能でコンパクト

    当社が取り扱う『VGC10』をご紹介します。 カスタマイズ無限の柔軟性を誇り、さまざまなアプリケーションのニーズに 対応する電動真空グリッパーです。 外部からの給気不要で、メンテナンスコストの削減・素早い配備を実現。 狭いスペースでの使用に適しており、最大15kgまで対応可能です。 【技術仕様(抜粋)】 ■真空  ・最小5% 最大80%  ・最小-0.05バール 最...

    メーカー・取り扱い企業: 常盤電機株式会社

  • 真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ 製品画像

    真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

    STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

    真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSTVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ 製品画像

    5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

    チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

    5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズは、多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与しており、チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。並列したステージへのアクセスが可能(レイアウトのインライン化に最適)です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:2...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • パレッチャー『SGPシリーズ』 製品画像

    パレッチャー『SGPシリーズ』

    多品種のワークを一つのハンドで搬送!凸凹のあるワークや重量ワークに。

    『SGPシリーズ』は、多品種のワークを一つのハンドで搬送できる パレッチャーです。 オリフィス内蔵で多少の真空漏れでも吸着可能。 低真空~高真空領域をカバー(供給圧力:0.45、0.55MPa)することができます。 また、様々な標準パッドから選択可能でスポンジタイプもクロロプレン、 エプトシーラー材質からお選びいただけます。 【特長】 ■コンバム(真空エジェクタ)内蔵 ...

    メーカー・取り扱い企業: コンバム株式会社 旧社名:妙徳

  • 光学式アライナ SAL4381シリーズ 製品画像

    光学式アライナ SAL4381シリーズ

    ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

    光学式アライナ SAL4381シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。オプションでGaAsウェーハやガラスにも対応が可能です。 詳しくは...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4280-AMシリーズ 製品画像

    4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4280-AMシリーズ

    300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

    スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ 製品画像

    真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ

    真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

    真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ 製品画像

    真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

    真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

    真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ 製品画像

    3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

    S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

    ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:330mm、440mm、500mm、...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 4軸円筒座標型クリーンロボット STHR4000シリーズ 製品画像

    4軸円筒座標型クリーンロボット STHR4000シリーズ

    ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

    スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボットSTHR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でのウェーハの交換が可能です。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくは...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 3軸円筒座標型クリーンロボット MCR3000Cシリーズ 製品画像

    3軸円筒座標型クリーンロボット MCR3000Cシリーズ

    従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

    スーパークリーンルーム用300mm対応MCR3000Cシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧くださ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 3軸円筒座標型クリーンロボット SHR3000シリーズ 製品画像

    3軸円筒座標型クリーンロボット SHR3000シリーズ

    装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

    スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットSHR3000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ア...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 3軸円筒座標型クリーンロボット LHR3000シリーズ 製品画像

    3軸円筒座標型クリーンロボット LHR3000シリーズ

    Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

    ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm、700m...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 4軸円筒座標型クリーンロボット LTHR4000シリーズ 製品画像

    4軸円筒座標型クリーンロボット LTHR4000シリーズ

    液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

    ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm ○Z...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

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