独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

【最新モデル】Druck ハンドヘルド圧力校正器 DPI610E

PR圧力校正器が「６月28日まで」期間限定の特価キャンペーン！現場校正作業…

ドラック伝説の校正器 DPI600シリーズからの待望の最新モデルのキャンペーンを実施します。 現場校正作業の効率アップに欠かせない一台です。 【４月１日～６月28日まで期間限定特価キャンペーン中】 この機会に、使いやすい最新モデルにアップデートしませんか？ 【特長】 ◆簡単操作の圧力測定と圧力発生、信号測定、ループ電源機能を一台に統合 ◆前モデルより大幅に改善されたポンプ機能と...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

真空ポンプ用高性能オイル浄化装置『サン・オイルクリーナー』

特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・汚染物を同…

大成技研の『サン・オイルクリーナー』は、半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにしており、油回転真空ポンプ用オイルに混入する酸を中和、ゴミやパーティクル・水分を除去し循環させることで常にオイルをクリーンに保ちます。 特に連続運転され毎月のようにオイル交換をしている油回転真空ポンプでは劇的...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

真空ポンプ保護装置　HOコレクター

PET樹脂のシートやフィルムの製造工程用オリゴマーコレクター

エイチアールディー株式会社がご提供する「HSコレクターシリーズ」は、パーティクルを98%以上捕捉する高性能・コンパクトな捕捉フィルターシステムで、ドライ式真空ポンプとのセットで御社の環境対策活動を推進し、ISO14001取得に大きく貢献します。 PET樹脂のシートやフィルムの製造工程においては多量の水分とオリゴマーが発生します。標準の｢HSコレクター｣でも捕捉可能ですが、｢詰まり｣が早くなります...

メーカー・取り扱い企業： エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

真空ポンプ保護装置　HN-Bタイプ

排気量10m3/min以上の大量のドレンが排出される場合に使用します

エイチアールディー株式会社がご提供する「HSコレクターシリーズ」は、パーティクルを98%以上捕捉する高性能・コンパクトな捕捉フィルターシステムで、ドライ式真空ポンプとのセットで御社の環境対策活動を推進し、ISO14001取得に大きく貢献します。 「HN-Bタイプ」は排気量10m3/min以上の大量のドレンが排出される場合に使用する、フィルター3本入りの横型構造の大排気量タイプです。 詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

真空吸込フィルタ　高効率真空フィルタおよびトラップ

目的と利点

製造工程の流体から有害粒子を除去することは単／多結晶半導体素材、薄膜製造工程及び積層工程に使用される真空装置における寿命と信頼性にとって不可欠です。 ...【特徴】 ○摩耗性粒子はポンプを早期に破壊し、その結果運転停止させ復旧させるにはコストが高くつくことになります。 ○高真空で運転中に逆流を防ぐことは、製造工程の汚染防止には不可欠です。 ○ソルバーグの吸込真空フィルタ及びトラップの広範な...

メーカー・取り扱い企業： ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社

真空複合型水蒸気凝縮セパレータ/フィルタ　JRSシリーズ

真空ポンプオイルの劣化や、ポンプの内部機構の破損を防ぐ！有害な水蒸気を…

JRSシリーズ真空セパレータ/フィルタは、真空ポンプオイルを劣化させたり、或いはポンプの内部機構を破損したりする有害な水蒸気や液体から、真空ポンプを保護します。 有害な水蒸気の除去は、ガス状から冷却して液体に変化させ排出させます。また流体中に含まれているダスト等の固形物は、最終段のフィルタにて除去します。 【特長】 ・簡単に洗浄可能で、最適条件で長期間使えるフィン型熱交換器 ・頑丈な炭...

メーカー・取り扱い企業： ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社

大容量真空フィルタVFL

流量：360L/min[ANR]！大流量真空発生器、真空ポンプ向け真空…

当社では、エア吸引時に一緒に吸い込まれるダストや塵を除去し、 真空発生器や真空ポンプを保護する『大容量真空フィルタVFL』を取り扱っております。 用途に合わせて濾過度を1μm、5μm、10μm、200μmの4種類から選択可能。 また、接続形状には管用テーパメネジ、管用平行メネジ、ワンタッチ継手を ご用意しております。 【特長】 ■大容量だから流量優先 ■接続形状が豊富 ■本...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

コンパクトＬ型真空フィルタ「VLシリーズ」

スペースの狭いところに設置できるコンパクト設計です。

コンパクトL型真空フィルタ「VLシリーズ」は、クイックリリースVバンドクランプによりメンテナンスが容易です。 3”～6”BSPT、DN80～DN150 PN10パターンフランジ、スペースの狭いところに設置できるコンパクト設計。 耐久性の高い炭素鋼構造、確実なOリングシール構造で、塵を吸着する能力が大きく、現場での清掃も簡単です。 【特徴】 ○低い圧力損失 ○ゲージタップは吸込口と排出...

メーカー・取り扱い企業： ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社

液体セパレータ　ＬＲＳ／ＳＲＳ型（真空ポンプ向け）

複合型液体セパレータ／吸込フィルタ

真空ポンプ業界ではポンプを保護するために、真空圧を維持し且つ場所をとらないで液体の除去及び、ろ過をする高効率の液体セパレータを必要としておりました。 ...【特徴】 ○簡素化された真空機器：二つの機能jが一体化されています。（液体セパレータ及び吸込フィルタ） ○高効率液体セパレータ及び多段ろ過 ○潤滑／オイルシールを阻害する有害な液体からポンプを保護します ○最小限の配管で低コスト ○...

メーカー・取り扱い企業： ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社

高効率＆高過精度 L型真空吸込フィルタ【多流量で小さい圧力損失】

多流量で圧力損失が小さく、ろ過精度が高いL型真空吸込フィルタ！エレメン…

「L型真空吸込フィルタ」は、多流量で圧力損失が小さく、ろ過精度が高い吸込フィルタ。真空気密構造で、性能を最大限発揮できる仕様です。また、側面入口、下部出口構造は、エレメントの交換作業でが簡単でメンテナンスが容易です。標準型、高性能型、超高性能型があり、在庫も豊富にご用意。オプションとしてステンレス仕様もあります。 【特徴】 ■多流量で圧力損失が小さい省エネ設計 ■ろ過精度が高く、既存フィ...

メーカー・取り扱い企業： ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社

逆洗パルス型真空吸込フィルタ　ＲＳＴシリーズ

バグフィルターの代替えなどに！　粉体の回収及び高付加ラインでの濾過に適…

【特長】 ■短期間でのフィルタ目詰まりの解決 ■高価な粉体の回収が可能 ■逆洗パルス効果によるエレメントの長寿命化 ■簡単な取り付けで配管を外すことなくメンテナンスが容易 ※詳しくはカタログをダウンロードまたはお問合せ下さい。...【特徴】 ○鋳物ヘッドセンターにコンプレッサーエア接続用の３／８”タップ設置。 ○穴のあいたセンターロッドからフィルタエレメントの内径にパルスエアーを...

メーカー・取り扱い企業： ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社

マルチファンクション・バルブ＜AVSフィッティング＞

システム内の圧力によって対真空メンブレンが開き、3方向への流路を確保し…

小口径チューブによるシステム構築時、「止める」、「絞る」、「逃がす」、 「切り離す」といった働きをする補助機器群をご紹介します。 『マルチファンクション・バルブ』は、システム内の圧力によって 対真空メンブレンが開き、3方向への流路を確保。 また、システム内が過圧状態にある時は、過圧バルブが開くことで 上昇した圧力を開放します。 【材質】 ■本体：ポリフェニルスルホン(PP...

メーカー・取り扱い企業： サンワ・エンタープライズ株式会社

真空ポンプ保護装置　標準HSコレクター

あらゆるパーティクルに対応でき、効率よく捕捉が行なえます！

「標準HSコレクター」は、フィルターの寿命を出来る限り永くする為に、パーツの選択が可能で、あらゆるパーティクルに対応でき、効率よく捕捉が行なえます。洗浄により半永久的に使用できる焼結金属フィルターとミスト回収用のセルロースフィルターが選択でき、また粒子により1～10μのデミスターを選択できます。ワンタッチで全ての部品が取り外せ、フィルターの交換が短時間で行なえ、ドレン部が全開口でき清掃が安易に行な...

メーカー・取り扱い企業： エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

正負圧用ユニオンフィルタ

メンテナンスが容易なインラインタイプフィルタ

従来の真空用フィルタ(VFUシリーズ)の使い勝手はそのままに正圧でも使用可能にしました。...【特長】 ●正圧使用において、プレフィルタとしての使用に最適。 ●エレメント交換時に工具が不要でメンテナンスが容易 【仕様】 ●使用流体：空気 ●最高使用圧力：1MPa ●使用真空圧力：-100kPa ●耐圧力：1.5MPa ●濾過精度：10μm ●使用温度範囲：0〜50℃(凍結なき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

ニューハイミニエアーフィルタ『NHMシリーズ』

中空糸膜フィルタを用いたガスろ過コンパクトフィルタ！ろ過精度なんと0.…

『NHMシリーズ』は、清潔でクリーンなエアーが求められる箇所に 適したフィルタです。 クイック継手Φ4、Φ6、Φ8、ねじ接続3/8、Rc1/4をご用意。 容易にご採用いただける製品仕様になっています。 ※デモ機貸し出し可能 【用途】 ■ガス分析機器の供給エアーのろ過 ■半導体製造装置の供給エアーのろ過 ■医療機器の給気、排気用フィルタ ■食品ブロー用エアーの除菌目的 ...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

オイルミスト排気フィルタ　ＨＤＬシリーズ　３”～

３”　ＢＳＰＴ～ＤＮ２００　ＰＮ１０　フランジ

高性能オイルミスト排気フィルタ ...【特徴】 ○粒度０．３ミクロンに対して、最低９９．９７％Ｄ．Ｏ．Ｐ． ○油回転真空ポンプから排出されるオイルミストを除去 ○オイル保持能力（容量）が大きく、現場でのメンテナンスが容易 ○耐圧は０．６９ＭＰａ ○確実なＯリングシール ○ハウジング材質：炭素鋼、エナメル塗装仕上げ ○１／４”ドレンポート付き ○プリーツ型フィルタエレメントはろ過面...

メーカー・取り扱い企業： ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社

オイルミスト排気フィルタ　ＥＦシリーズ

１／２”～１－３／４”

小型オイルミスト排気フィルタ ...【特徴】 ○０．３ミクロンの粒子に対して、最低９９．９７％Ｄ．Ｏ．Ｐ． ○真空ポンプの中に進入した排気オイルからオイルフォッグ、ミスト又はスモークを捕獲 ○つまみねじによりメンテナンスは簡単 ○ハウジング材質：炭素鋼、ニッケルクロムメッキ仕上げ ○溶接部分がないので錆びず、または振動によって外れたりしません ○使用可能温度範囲：最低４．４℃、最高１...

メーカー・取り扱い企業： ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社

オイルミストセパレートエレメント

０．３ミクロンの粒子に対して、９９．９７％の精度

長所 圧力降下が小さく、効率が高い ...【特徴】 ○エポキシ塗装を施したスチールワイヤで強度をアップ ○エキスパンドメタルはクロスの両サイドをサポート ○特殊のエレメント構造については、お問い合わせください ○使用可能温度範囲：最低４℃、最高１０４℃ ○フィルタ交換差圧：真空ポンプの製造仕様を参照してください ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社

パーティクルカウンター『LAP340』

【JIS B9908】対応！サンプリング流量は28.3L/minと高流…

『LAP340』は、ISO16980に準拠した、エアフィルタの捕集効率評価に好適な 装置です。 粒径範囲0.3μmから10μmを16チャンネルに分割できます。 サンプリング流量が28.3L/minと高流量であり、評価時間を短縮することが 可能です。 当製品は2019年発行の【JIS B9908】に対応しています。 【特長】 ■2019年発行の【JIS B9908】に対応 ...

メーカー・取り扱い企業： カノマックスアナリティカル株式会社

真空ポンプ保護装置　HN-Sタイプ

排気量5m³/min以下の小型真空ポンプ用に開発された小型機種です

エイチアールディー株式会社がご提供する「HSコレクターシリーズ」は、パーティクルを98%以上捕捉する高性能・コンパクトな捕捉フィルターシステムで、ドライ式真空ポンプとのセットで御社の環境対策活動を推進し、ISO14001取得に大きく貢献します。 「HN-Sタイプ」は排気量5m³/min以下の小型真空ポンプ用に開発された小型機種で、配管口径25A以下が標準となります。内部構造はHSシリーズと同様で...

メーカー・取り扱い企業： エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

真空ポンプの運用コストを削減『サン・オイルクリーナー』：大成技研

大成技研の特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・…

半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにした、油回転真空ポンプ用オイルの浄化装置です。 油回転真空ポンプ用オイルに混入する酸をパーティクル中和、ゴミやパーティクル・水分を除去し、常にオイルをクリーンに保ちます。 特に連続運転され毎月のようにオイル交換をしている油回転真空ポンプでは劇的に...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

真空ポンプ保護装置　HMコレクター

炭化水素系洗浄装置専用に開発した機種です（SS仕様）

エイチアールディー株式会社がご提供する「HSコレクターシリーズ」は、パーティクルを98%以上捕捉する高性能・コンパクトな捕捉フィルターシステムで、ドライ式真空ポンプとのセットで御社の環境対策活動を推進し、ISO14001取得に大きく貢献します。 「HMコレクター」は炭化水素系洗浄装置専用に開発した機種で、捕捉された洗浄剤はドレンタンクに設置したレベルスイッチで感知され、自動的にN2により排出され...

メーカー・取り扱い企業： エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

コンパクトT型真空フィルタ「VSシリーズ」

クイックリリースVバンドクランプによりメンテナンスが容易です。

コンパクトT型真空フィルタ「VSシリーズ」は、スペースの狭いところに設置できるコンパクト設計です。 3”～6”BSPT、DN80～DN150 PN10パターンフランジ、クイックリリースVバンドクランプによりメンテナンスが容易。 耐久性の高い炭素鋼構造、確実なOリングシール構造で、塵を吸着する能力が大きく、現場での清掃も簡単です。 【特徴】 ○低い圧力損失 ○ゲージタップは吸込口と排出...

メーカー・取り扱い企業： ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社

オイルミスト排気フィルタ　ＨＤＬシリーズ　１”～２ １／２”

１”～２ １／２”　ＢＳＰＰ

高性能オイルミスト排気フィルタ ...【特徴】 ○粒度０．３ミクロンに対して、最低９９．９７％Ｄ．Ｏ．Ｐ． ○油回転真空ポンプから排出されるオイルミストを除去 ○オイル保持能力（容量）が大きく、現場でのメンテナンスが容易 ○高真空用継手 ○耐候ハウジング：溶接部分がないので錆びず、または振動によって外れたりしません。 ○確実なＯリングシール構造 ○ハウジング材質：炭素鋼、エナメル塗...

メーカー・取り扱い企業： ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社

オイルミスト排気フィルタ　ＥＦＤＢシリーズ

自動ドレンバック型

小型オイルミスト排気フィルタ ...【特徴】 ○オイルミストのリサイクルのための自動ドレンバック設計 　・内部ドレンはオイルをポンプへ戻せます 　・自動シールによりオイル逆流を防止 　・密封ハウジングは清潔な環境を維持 ○０．３ミクロンの粒子に対して、最低９９．９７％Ｄ．Ｏ．Ｐ． ○真空ポンプの中に進入した排気オイルからオイルフォッグ、ミスト又はスモークを捕獲 ○つまみねじによりメ...

メーカー・取り扱い企業： ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社

オイルミスト排気フィルタ　ＥＥシリーズ

３／８”～１”ＢＳＰＰ、ＩＳＯフランジ

小型オイルミスト排気フィルタ ...【特徴】 ○粒度０．３ミクロンに対して、最低９９．９７％Ｄ．Ｏ．Ｐ． ○油回転真空ポンプから排出されるオイルミストを除去 ○リリーフバルブ内蔵、設定圧力：０．５ｂａｒ ○１／８”ＮＰＴドレンポート付 ○コンパクトなデザイン ○ハウジング：溶接部分がないので錆びず、また振動によって外れたりしません ○現場でのメンテナンスが簡単 ○ハウジング材質：...

メーカー・取り扱い企業： ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社