• 高性能充填機『4軸オーーーガ』 製品画像

    高性能充填機『4軸オーーーガ』

    PRまるで、充填機界の4WD!計量フィードバック方式により、精度が向上しま…

    『4軸オーーーガ』は、パワフルでスピーディな高性能充填機です。 容器に均一な充填が可能で、タッチパネル採用により、操作性・ 視認性も向上。 またオプションとして、主軸 スクリューWC溶射や、スクリュー先端 ゲート内面コーティング、容器高さ検知機能などをご用意しております。 【特長】 ■大幅にスピードアップ ■よりコンパクトに ■タッチパネル採用による操作性・視認性向上 ...

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    メーカー・取り扱い企業: 讃光工業株式会社

  • 独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』 製品画像

    独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

    PR真空装置メーカーの技術・経験を結集!自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

    当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイエルエステクノロジー

  • piSOFT GRIP 2本指仕様 製品画像

    piSOFT GRIP 2本指仕様

    柔らかいものを傷つけずに把持可能! 真空駆動のソフトグリッパー!!

    このソフトグリッパーは、サクションカップと同じように制御、取付けが簡単です。複数のpiSOFTGRIPを列や他の形状に並べて使用することも可能です。お客様の用途に応じてピッキングをサポートします。 フィッティングは、PiabのpiGRIPサクションカップシリーズに使用されるものと同じです。オプションのステンレス鋼製フィッティングは水洗いが可能なので、洗浄が容易です。直感的でユーザーフレンドリーな...

    メーカー・取り扱い企業: ピアブ・ジャパン株式会社

  • 342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズ 製品画像

    342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズ

    真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

    342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズは、真空環境下におけるサセプタ(化合物半導体、シリコンウエハ等)をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。位置決め用センサを真空環境下に配置することで、本気単体のみの設置だけで完了し、装置設計の自由度もUPします。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ワーク(トレイ)重量4kgまでのア...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 真空搬送ロボット 製品画像

    真空搬送ロボット

    クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです…

    真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。 各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。 【ラインナップ】 ○高真空対応ロボットELEC-RZ(φ200mm/300mm ウェーハ対応) ○高真空対応ロボットCOVOT(φ200mm/300mm ウェーハ対応) ○高真空対応ロボットC...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.

  • 【課題解決事例】真空環境・クリーンルーム内の長尺搬送 製品画像

    【課題解決事例】真空環境・クリーンルーム内の長尺搬送

    精密機器の搬送やクリーンルーム内での使用に適したニーズに対応可能!

    当社の『TCGランナー』を導入した事例をご紹介いたします。 真空環境やクリーンルームでの搬送でステンレス製のボールねじを 使用していたが、たわみによる振動が懸念される為、1mを超える 長尺の搬送ができず、ボールねじに代わる直動部品を探していました。 導入後、従来のステンレス製のボールねじ同様、耐食性、防錆効果は 維持しつつ、1m以上の長尺搬送でもたわむことなく滑らかな運転を 可...

    メーカー・取り扱い企業: 加茂精工株式会社 本社

  • 大型重量物 真空搬送モジュール【可搬重量200kg対応!】 製品画像

    大型重量物 真空搬送モジュール【可搬重量200kg対応!】

    真空中での重量物搬送に特化した真空搬送モジュール!真空ロボット方式やロ…

    当社は、真空中での重量物搬送に特化した独自コンセプトのソリューションで、従来方式(真空ロボット方式やローラー方式)における課題を解決します。独自採用のメカニズムにより、僅かな搬送力で重量搬送が可能となり、シンプルな搬送機構で低コストを実現しています。一般的な製品に比べ、50%の薄型化を実現し、チェンバー容積を大幅に削減することができます。 【特長】 ■シンプル・スリムなのにパワフル(可搬重...

    メーカー・取り扱い企業: コミヤマエレクトロン株式会社

  • 電動真空グリッパー『VGP20』 製品画像

    電動真空グリッパー『VGP20』

    到着後すぐに使える!さまざまな主要ロボットに迅速かつ簡単に導入可能

    『VGP20』は、最大90%のコスト削減が可能な、業界最高クラスの強力な 電動真空グリッパーです。 内蔵型インテリジェンスとマルチチャンネル機能が柔軟で フェールセーフな操作を実現。 無制限にカスタマイズ可能な汎用性の高いグリッパーで、さまざまな アプリケーションに対応します。 また、ダンボール箱のパレタイジングおよび不規則な形状・多孔質な表面の 取り扱いに適しています。...

    メーカー・取り扱い企業: 常盤電機株式会社

  • 真空グリッパー『VGC10』 製品画像

    真空グリッパー『VGC10』

    さまざまなニーズに対応!アームの交換・カスタマイズが可能でコンパクト

    当社が取り扱う『VGC10』をご紹介します。 カスタマイズ無限の柔軟性を誇り、さまざまなアプリケーションのニーズに 対応する電動真空グリッパーです。 外部からの給気不要で、メンテナンスコストの削減・素早い配備を実現。 狭いスペースでの使用に適しており、最大15kgまで対応可能です。 【技術仕様(抜粋)】 ■真空  ・最小5% 最大80%  ・最小-0.05バール 最...

    メーカー・取り扱い企業: 常盤電機株式会社

  • 協働ロボット用ハンドのpiCOBOT 製品画像

    協働ロボット用ハンドのpiCOBOT

    小型でパワフルな協働ロボット用グリッパー

    協働ロボット用ハンドのpiCOBOTがリリースされました。 小型で大真空流量を発生の高効率エジェクターを搭載しているのみではなく、 真空状態が一目で判別可能なLEDの点灯・点滅の機構を備えております。 また、真空破壊機構も陽圧を検知した時点で終了する省エネ仕様です。 ユニバーサルロボット社の「UR+」にも登録されております。 ...重量:500g(オプション除く) 最大真空流量:40N...

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    メーカー・取り扱い企業: ピアブ・ジャパン株式会社

  • 真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』 製品画像

    真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』

    【~300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載! 振動の大幅…

    ■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン

  • コミヤマエレクトロン株式会社 真空装置製作 製品画像

    コミヤマエレクトロン株式会社 真空装置製作

    ご要望に合わせた、設計から製造までのワンストップ体制で対応いたします!

    FPD・有機EL・半導体・クリーンエネルギー分野など 多くの産業で活躍する「真空装置」。 当社は、設計から製造までのワンストップ体制で ご要望に合わせて対応します。 また、納入後のトラブルにも迅速に対応。 定期メンテナンス、装置改造にも対応可能です。 【特長】 <事前相談・構想提案> ■経験豊富な技術スタッフがニーズや課題を聞き取り好適な装置構想をご提案 <設計> ...

    メーカー・取り扱い企業: コミヤマエレクトロン株式会社

  • ユニバーサルロボット用 エジェクタ式真空グリッパーpiCOBOT 製品画像

    ユニバーサルロボット用 エジェクタ式真空グリッパーpiCOBOT

    4種類の吸着パッドを用意し、様々なワーク吸着の選定対応が可能!真空グリ…

    『piCOBOT』は、UR認定のバキュームグリッパーユニットで、 小型でパワフルなUR協働ロボット用のグリッパーです。 自動状態監視機能(Automatic Condition Monitoring)により、 電磁弁を保護。 ヒステレシス調整可能な省エネ機能により、エネルギー消費量を 最大90-95%削減します。 【特長】 ■自動状態監視機能により、電磁弁を保護 ■自動...

    メーカー・取り扱い企業: 高島ロボットマーケティング株式会社

  • 導入事例  KENOSグリッパー 爪付き仕様 製品画像

    導入事例  KENOSグリッパー 爪付き仕様

    段ボールも網目のパレットも1 つのハンドでデパレタイズを実現!

    弊社製品のKENOS グリッパーシリーズは、数多くの「段ボールとパレットを1つのハンドでハンドリング をしたい」という要望を実現してきました。しかしながら、樹脂製のパレットは吸着可能面がすくないため 吸着ができず、全ての要望を実現できたわけではありませんでした。KENOS KVGL.1000.300.N405.CVM.2S4.SHXXXは、グリッパーのフォームのフォーム部分が段ボールを吸着、両...

    メーカー・取り扱い企業: ピアブ・ジャパン株式会社

  • 真空対応シングルアームクリーンロボット『SV1240』 製品画像

    真空対応シングルアームクリーンロボット『SV1240』

    従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現!

    『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した シングルアームクリーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。 【特長】 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ■真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ...

    メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社

  • 真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』 製品画像

    真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

    【~300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用! 高…

    ■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン

  • 真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』 製品画像

    真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』

    【~300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングル…

    ■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X-axis:720mm ・θ-axis:340° ・Z-axis:20mm ■最大動作速度 ・X-axis:250°/sec ・θ-axis:220°/sec ・Z-axis:...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン

  • ユニバーサルロボット用真空ソフトグリッパーpiSOFT GRIP 製品画像

    ユニバーサルロボット用真空ソフトグリッパーpiSOFT GRIP

    傷つきやすく繊細なワークの取り扱いが可能!内部が空洞になっている真空ソ…

    『piSOFT GRIP』は、食品業界のオートメーション向けに開発された 真空駆動ソフトグリッパーです。 FDA21 CFRおよびEU1935/2004規制に準拠しており、食品との 直接接触が承認されたシリコン製。 2本指・3本指のバリエーションがあり、多様な形状のワーク把持が 可能です。 【特長】 ■傷つきやすく繊細なワークの取り扱いが可能 ■食品との直接接触が承認さ...

    メーカー・取り扱い企業: 高島ロボットマーケティング株式会社

  • バルーンハンド『SGBシリーズ』 製品画像

    バルーンハンド『SGBシリーズ』

    多品種、不定形状の真空吸着に好適!供給ポートに圧縮空気を入れるだけ!

    『SGBシリーズ』は、これまで掴めなかったワークを吸着搬送できる 新構造のハンドです。 コンバム(真空エジェクタ)内蔵のため、供給ポートに圧縮空気を 入れるだけで簡単動作。 コンバムの真空発生時の排気を無駄なく利用することができます。 【特長】 ■これまで掴めなかったワークを吸着搬送 ■コンバム(真空エジェクタ)内蔵 ■供給ポートに圧縮空気を入れるだけで簡単操作 ■コ...

    メーカー・取り扱い企業: コンバム株式会社 旧社名:妙徳

  • 真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ 製品画像

    真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

    STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

    真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSTVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 世界のロボット用真空エンドエフェクター市場レポート:成長、動向 製品画像

    世界のロボット用真空エンドエフェクター市場レポート:成長、動向

    ロボット用真空エンドエフェクターの世界市場規模、売上、価格、収益、動向…

    2023年6月27日に、YHResearchaは「グローバルロボット用真空エンドエフェクターのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、ロボット用真空エンドエフェクターの世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別、地域別、国別に分類されます。売上、価格、市場シェア、成長率などに焦点を当て、競合環境、競合他社、市場ランキング、技術動向、新製...

    メーカー・取り扱い企業: YH Research株式会社

  • 世界の真空ウェーハ搬送ロボット市場レポート:成長、動向、予測 製品画像

    世界の真空ウェーハ搬送ロボット市場レポート:成長、動向、予測

    真空ウェーハ搬送ロボットの世界市場規模、売上、価格、収益、動向分析レポ…

    2023年6月27日に、YHResearchaは「グローバル真空ウェーハ搬送ロボットのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、真空ウェーハ搬送ロボットの世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別、地域別、国別に分類されます。売上、価格、市場シェア、成長率などに焦点を当て、競合環境、競合他社、市場ランキング、技術動向、新製品開発など、市場...

    メーカー・取り扱い企業: YH Research株式会社

  • 真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』 製品画像

    真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』

    【~300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送! 装置スループッ…

    ■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X1, X2...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン

  • 【ユニバーサルロボット用】電気真空グリッパー『EPick』 製品画像

    【ユニバーサルロボット用】電気真空グリッパー『EPick』

    ロボットからの電源供給により、配管・配線が不要!取り扱いが簡単な電気真…

    『EPick』は、コンプレッサーもエア用ホースも必要なく、ロボットからの 電気供給のみで使用することができる電気真空グリッパーです。 小型ワークのピッキングなどに適しており、非多孔質材に好適。 吸着パッド1個入り、2個入り、4個入りKITの中から選択でき、 自由にカスタマイズが可能です。 【特長】 ■エアレス・ホースレス、DC-24Vで駆動 ■非多孔質材に好適 ■UR+...

    メーカー・取り扱い企業: 高島ロボットマーケティング株式会社

  • 炭素繊維強化プラスチック(CFRP)用途例【産業用ロポット】 製品画像

    炭素繊維強化プラスチック(CFRP)用途例【産業用ロポット】

    炭素繊維強化プラスチック(CFRP)の特性を活かした産業用ロボット分野…

    産業用ロボット分野では、高速、高剛性、高精度化のニーズが高まっており、各部品にCFRPが多く採用されています。 当社が取り扱う、炭素繊維強化プラスチック(CFRP)の産業用ロボット分野での製品用途をご紹介します。 ■液晶ガラス基板搬送アーム ■シリコンウエハ搬送アーム ■パラレルリンク/ロボットアーム ■製袋機、フィルム製造ライン ...当社で製作した実績を含め、CFRPの...

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    メーカー・取り扱い企業: TIPcomposite株式会社

  • 真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX4000NM』 製品画像

    真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX4000NM』

    【~300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット!

    ■マスク、サセプタ、トレイ等の重量物を搬送可能な高可搬型シングルアーム真空ロボット ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲  ・X-axis:750mm  ・θ-axis:340°  ・Z-axis: 22mm ■最大動作速度 ・X-axis: 62°/sec ・θ-axis:192°/sec ・Z-axis:121mm/sec ■繰返...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン

  • 【テックマンロボット用】電気真空グリッパー『FQE』 製品画像

    【テックマンロボット用】電気真空グリッパー『FQE』

    ロボットへの負荷を削減、搬送速度の向上に寄与!多数量ワークの一括搬送に…

    『FQE』は、多品種・多数量ワークの搬送に適した真空グリッパーです。 段替え作業なしで、様々なワークに対応することが可能。 さらに、SO/TS 15066に準拠した丸みを帯びたデザインで、 約65dbの低いノイズレベルで作業者の負荷を軽減します。 【特長】 ■ハンドの段替えなしで様々なワークの搬送可能 ■軽量 ■協働作業に適した設計 ■モジュール仕様 ※詳しくは関...

    メーカー・取り扱い企業: 高島ロボットマーケティング株式会社

  • パレッチャー『SGPシリーズ』 製品画像

    パレッチャー『SGPシリーズ』

    多品種のワークを一つのハンドで搬送!凸凹のあるワークや重量ワークに。

    『SGPシリーズ』は、多品種のワークを一つのハンドで搬送できる パレッチャーです。 オリフィス内蔵で多少の真空漏れでも吸着可能。 低真空~高真空領域をカバー(供給圧力:0.45、0.55MPa)することができます。 また、様々な標準パッドから選択可能でスポンジタイプもクロロプレン、 エプトシーラー材質からお選びいただけます。 【特長】 ■コンバム(真空エジェクタ)内蔵 ...

    メーカー・取り扱い企業: コンバム株式会社 旧社名:妙徳

  • 【デモ機貸出可】ポリイミド静電チャック 製品画像

    【デモ機貸出可】ポリイミド静電チャック

    クリーン度の維持に貢献!半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用さ…

    『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブテクノロジー

  • バキュームグリッパー『VG10』 製品画像

    バキュームグリッパー『VG10』

    金属や光沢包装材、ガラスなどの材質に対応!生産性と投資収益率が短期間で…

    『VG10』は、適応性が高く、調整可能なバキュームグリッパーです。 外部からの吸気が不要の為、導入が早くメンテナンス費用を軽減。 ロボットアームに接続し、グリッパーを製品に合わせて設定するだけで すぐに設置ができるので、生産性と投資収益率が短期間で向上します。 また、個別グリップ機能により、稼働時間を短縮いたします。 【様々なサイズや材質に対応】 ■プラスチック ■金...

    メーカー・取り扱い企業: 常盤電機株式会社

  • 【テックマンロボット用】電気真空グリッパー『ECBPMi』 製品画像

    【テックマンロボット用】電気真空グリッパー『ECBPMi』

    ロボットフランジ、電気接続ケーブルが一体化!専用工具なしで容易に取付…

    『ECBPMi』は、コンプレッサーもエア用ホースも必要なく、ロボットからの 電気供給のみで使用することができる電気真空グリッパーです。 きわめて軽量・小型なボディで、ロボットの可搬域を最大限活用した 作業が可能。 本体重量が225gと非常に小型なため、可搬の小さな協働ロボットでも ご使用頂けるほか、狭い場所へのアプローチにも適しています。 【特長】 ■エアレス・ホースレス...

    メーカー・取り扱い企業: 高島ロボットマーケティング株式会社

  • リンク式ダブルアームクリーンロボット『SR2160-310』 製品画像

    リンク式ダブルアームクリーンロボット『SR2160-310』

    下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能!ダブルアームクリーンロボ…

    『SR2160-310』は、反転ユニット、マッピングユニットが付属した リンク式ダブルアームクリーンロボットです。 濡れウェハ対策として下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能。 ロボット駆動部への水の浸入防止のためアーム駆動部と本体駆動部に 水受けを設置しました。 【特長】 ■反転ユニット、マッピングユニット付属 ■アーム駆動部と本体駆動部に水受けを設置 ■特殊セ...

    メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社

  • 4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4280-AMシリーズ 製品画像

    4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4280-AMシリーズ

    300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

    スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 1軸/2軸トランスファーロッド 製品画像

    1軸/2軸トランスファーロッド

    UHVチャンバー間でサンプルを輸送することを目的とした1軸サンプルトラ…

    『RM40』は、超高真空用途向けのシンプルなオールメタルシールの 直線回転サンプル導入機です。 主に、UHVチャンバー間でのサンプル輸送に好適。 空気側と真空側にある希土類磁石のセットは、ハンドルから内側軸への 強固な結合を確実にするために必要な力を発揮します。 【ラインアップ】 ■RM40-0500-0030 ■RM40-0750-0030 ■RM40-1000-00...

    メーカー・取り扱い企業: 有限会社テク

  • 平行リンク式シングルアームクリーンロボット『EV2250』 製品画像

    平行リンク式シングルアームクリーンロボット『EV2250』

    真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット

    『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した 平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。 アーム部はアルピカ処理済み。 エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、 パラレルI/O制御が可能です。 【特長】 ■耐熱使用:アームにリフレクタ(熱反射板)の設置 ■アーム部はアルピカ処理済 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ...

    メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社

  • エレベータートランスファーロッド EPPシリーズ 製品画像

    エレベータートランスファーロッド EPPシリーズ

    搬送と受け渡しまでを1台で可能にした、今までにないサンプル搬送機構!

    《受け渡しまでを1台で可能にした画期的なサンプル搬送機構》 ■従来サンプル搬送の、搬送(トランスファー)と受渡し(上下運動)の2台の機構に加え、サンプルの搬送から受け渡しまでを1台で可能。 ■1台になった事で、搬送中にサンプルの落下が起きにくいように微妙なサンプル移動調整を実現。 ■強力な伝達トルクによる作業性、マグネットを外す事なく250℃でベーキング可能な超高真空対応である点も他社にはな...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノポート

  • HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】 製品画像

    HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

    高精度&高剛性! 2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

    自社製DDモーターを採用し、高精度&高剛性が特長。 2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。 ...シングルアーム/ダブルアーム アーム長 135m...

    メーカー・取り扱い企業: ハイウィン株式会社

  • 防水対応ダブルアームクリーンロボット『WR2154-300』 製品画像

    防水対応ダブルアームクリーンロボット『WR2154-300』

    テフロンコーティングで高剛性アーム仕様!ハンド部に透過式マッピングセン…

    『WR2154-300』は、防水対応のダブルアームクリーンロボットです。 取付フランジより上部のアーム部はIP64の規格に適合。 ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを 装備しています。 また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。 【特長】 ■アーム部:テフロンコーティング 高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ...

    メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社

  • 3軸円筒座標型クリーンロボット SSCR3115Sシリーズ 製品画像

    3軸円筒座標型クリーンロボット SSCR3115Sシリーズ

    小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

    スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSSCR3115Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○S...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 円筒座標型クリーンロボット『PHT-R-4』 製品画像

    円筒座標型クリーンロボット『PHT-R-4』

    ウエハの大気中搬送に対応!本体重量は約47Kgでコントローラは約8Kg

    『PHT-R-4』は、クリーンルームで使用する水平多関節型の ウェーハ搬送ロボットです。 前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)+ハンド回転(0~180度)の動作が可能で ウエハの大気中搬送に対応。 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。 【製品概要(抜粋)】 ■設置環境:クリーンルーム内(大気中温度10~35度、湿度70%RH以下) ■...

    メーカー・取り扱い企業: PHT株式会社

  • 試料搬送機構(トランスファーロッド) PPシリーズ 製品画像

    試料搬送機構(トランスファーロッド) PPシリーズ

    豊富なラインナップで、お客様の用途に応じた製品にご対応!

    英国 UHV-Design社は、超高真空対応の試料搬送機構の専門メーカーです。 15年以上の実績と設計から製作までを自社で行う徹底した品質管理は多くの国々で高い評価を受けています。 なかでもこの試料搬送機構PPシリーズは豊富なラインナップを用意して、お客様の用途に応じた製品がご提案できると自負しています。 詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。...【特長】 ●多くの国々で高い...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノポート

  • 光学式アライナ SAL3261GRシリーズ 製品画像

    光学式アライナ SAL3261GRシリーズ

    2インチ,3インチ,100~150mmウェーハのアライメントが可能です

    光学式アライナ SAL3261GRシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。2インチ,3インチ,100~150mmウェーハのアライメントが可能です。ウェーハ端面を検出するタイプのセンサを搭載し、シリコン、透明、半透明ガラス、ガリ砒素、サファイヤウェーハ等のアライメントが可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

  • 【改善事例】デパレタイズハンドによる落下防止機構 製品画像

    【改善事例】デパレタイズハンドによる落下防止機構

    フローティングロック機構で移載中の落下を防止!仕様に応じてオプション選…

    名古屋精工株式会社で取り扱う、『デパレタイズハンド』による 落下防止機構を利用した改善事例についてご紹介いたします。 デパレタイズハンドは、パレット上に積まれた紙袋をロボットに装着した ハンドにて吸着把持・移載する装置です。 紙袋(クラフト紙:中身=粉体):最大800mm×450mm×160mm、重量30kgの製品が 移載中に脱落・落下して、紙袋が破れて中身が飛散してしまうという...

    メーカー・取り扱い企業: 名古屋精工株式会社

  • 大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』 製品画像

    大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』

    【~300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能! 高速電力線通…

    ■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、 反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、 レチクル搬送が可能。 ■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジク...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン

  • リンク式シングルアームクリーンロボット『PR2000シリーズ』 製品画像

    リンク式シングルアームクリーンロボット『PR2000シリーズ』

    板金比率を高めて構造を単純化!製造コスト削減を実現するクリーンロボット…

    『PR2000シリーズ』は、当社の従来品に比べ、板金比率を高め、構造を 単純化することにより、製造コスト削減を実現するリンク式シングルアーム クリーンロボットです。 全軸2相ステッピングモータ仕様。 各種センサを装備しています。 リンク式シングルアームクリーンロボットのことでしたら、 当社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■全軸2相ステッピングモータ仕様 ■各種センサを...

    メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社

  • 食品工場 協働ロボット 事例:水産練り製品メーカー 製品画像

    食品工場 協働ロボット 事例:水産練り製品メーカー

    箱詰め作業の省人化!全工場の同ラインに水平展開した事例

    当社で取り扱う「真空包装品ケーサ」を、水産練り製品メーカー 様へ 導入した事例をご紹介いたします。 箱詰め作業人員の削減や全国の工場への水平展開が導入の目的で、 狭い設置環境や、工場ごとに異なる配置やライン仕様が課題でした。 各工場のライン毎に合った仕様にするため、事前の現場確認を行い、 何度も打合せを重ねた結果、各ラインの環境に好適なケーサとなり、 また各工場で1名の省人化を実現しました。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社FAMS

  • 光学式アライナ SAL4381シリーズ 製品画像

    光学式アライナ SAL4381シリーズ

    ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

    光学式アライナ SAL4381シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。オプションでGaAsウェーハやガラスにも対応が可能です。 詳しくは...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル

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