真空仕様 | イプロスものづくり

PRまるで、充填機界の4WD！計量フィードバック方式により、精度が向上しま…

『4軸オーーーガ』は、パワフルでスピーディな高性能充填機です。容器に均一な充填が可能で、タッチパネル採用により、操作性・視認性も向上。またオプションとして、主軸スクリューWC溶射や、スクリュー先端ゲート内面コーティング、容器高さ検知機能などをご用意しております。【特長】 ■大幅にスピードアップ ■よりコンパクトに ■タッチパネル採用による操作性・視認性向上 ...

メーカー・取り扱い企業：讃光工業株式会社

独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

１０‐⁷ｐａの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。高効率強磁性体用カソードやワイドエロージョンカソードなど成膜機構も選択でき、基板や目的に合わせて個別要求にご対応いたします。シンプルな装置構成にも対応可能、リーズナブルなコスト対応を実現いたし...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』

2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献

『SPE-2136A』はφ4～φ6インチウエハに対し、残渣除去・表面改質・アッシング処理が可能なプラズマクリーナー装置です。自動搬送機構が付属しており、ウエハ割れの防止やウエハ移載にかかる人件費・作業時間を削減可能。プロセス室はウエハを2枚同時に処理でき、高いスループットを実現しています。【特長】 ■1400(W)×3000(D)×1900(H)mmのコンパク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

サンプル形状を選ばず、自由に処理！バレルタイププラズマ処理装置

微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能！溶液を使用せずに洗…

バレルタイププラズマ処理装置「ＰＢシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去（Ashing）や油分の除去（Cleaning）、珪素化合物（ＳｉＯ2，ＳｉＮ）のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液（Ｗｅt）を使用すること無く行える装置です。良環境性（クリーンな作業環境、無廃液）と低ランニングコストを実現します。全方向から処理が進行し、対象物の形状に問わず、ナノレベルの処理、洗浄、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

熱のないエネルギー「真空プラズマ」とは？【※小冊子を進呈】

「いまさら聞けない」プラズマ技術を図解を交えて解説！プラズマ表面処理装…

ピンク・ジャパンが取り扱うプラズマ表面処理装置とプラズマ原理が分かる小冊子の紹介です。物質は温度によりその状態を変化させます。一般的に知られている物質の凝集状態は、固体、液体、気体です。しかし、これらに続く状態が存在します。それが「プラズマ」です！プラズマは、気体がイオン化された状態であり「第4 の状態」とも言われています。ガスとプラズマの違いは高い電気伝導率と化学反...

メーカー・取り扱い企業：ピンク・ジャパン株式会社

コールドカソード減速イオン銃『OMI0750シリーズ』

高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の低速イオンビームを照射可能

当製品は、超高真空において使用可能なビームエネルギー10eVから3000eVの減速型コールドカソードイオン銃です。効率よくイオンを引き出し、高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の低速イオンビームを照射可能です。フィラメントがない構造は反応性ガスを使用可能となっており、長寿命の為メンテナンスサイクルを短くすることが可能。整備性に優れた新設計ディスチャージチャンバー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オメガトロン

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。また小型のため、スペースの限られた研究室で活躍します。【特長】 ■卓上サイズでコンパクト ■局所的なプラズ...

メーカー・取り扱い企業：ナラサキ産業株式会社メカトロソリューション部　機能材料課

PIG式 DLCコーティング装置

優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備していま…

『PIG式 DLC膜形成装置』は、独自開発によるPIGプラズマガンを採用し、極めて平滑で相手攻撃性の低いDLC膜を高速で形成できる高密度プラズマCVD装置です。スパッタカソードを標準装備しており、スパッタ膜との積層構造により優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現しています。自動車部品の表面処理用途に豊富な実績を持っており、多くの用途に採用。また新開発のアーク放電式マグネ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

DC-IMPACT（低温プラズマ浸炭）処理

低温域の処理において、窒素拡散だけではなく、炭素拡散も有効な表面硬化法…

当社で行っている、DC-IMPACT（低温プラズマ浸炭）処理についての紹介です。 SUS鋼を対象にして、500℃未満の低温浸炭を行った場合、耐食性の低下を制御した浸炭が可能で、当社の技術は航空宇宙に採択されています。又、複合処理として、シナジー・ハイブリッド表面改質技術を開発し、 “ものづくり新撰”に認定されている技術法のひとつです。【特長】 ■析出硬化系ステンレス鋼...

メーカー・取り扱い企業：朝日熱処理工業株式会社

プラズマ容器内壁処理装置『IP-200』

特許取得済！様々な形状の容器内壁面を集中改質できるプラズマ処理装置

『IP-200』は、試験管・シャーレ・チューブ・マイクロプレートなど多様な形状にも対応し、親水性・撥水性・除菌・クリーニング性を付与させるプラズマ処理装置です。「樹脂製試験管でスラントを作りたい」「容器の内壁を親水化させたい」「チューブ内の液溜まりをなくしたい」などのご要望に最適です。泉工業のプラズマ処理装置は、様々な材質の改質を驚く程短時間で行います。【特徴】 ○容器の内壁表面...

メーカー・取り扱い企業：泉工業株式会社

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーするシンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種のプロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

大気圧プラズマ装置

大気圧プラズマ装置です。接着、洗浄などに最適です。

窒素、空気をプラズマ原料とします。プラズマを液晶パネルからプリント基板などへ照射しますと、表面の洗浄から、表面の接着力が上がります。...電極ユニットを取り付けることでプラズマ処理を可能にする、大気圧プラズマ装置【特徴】 ○ラミネーターの上流側に装着し　窒素と空気の混合ガスの大気圧プラズマ処理を行う ○ガスが窒素のため安価 ○真空ユニットなど高価な装置は不要 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エム・シー・ケー東京電子事業本部

高電流密度イオンビーム型イオン銃

EUROVAC社製VARIAN型廉価版3keVイオン銃

EUROVAC社(スウェーデン国)は、30年以上前に設立され、ミュンヘンのパーキンエルマー社PHI部門出身の物理学者たちによって運営されています。実用的、技術的、基礎的な研究課題の解決に向け、お客様をサポートする体制を整えています。1998年にEUROVAC社は、バリアン表面科学部門(米国/パロアルト)を買収し、イオン銃、電子銃、LEED、RHEED、CMAの製造をスウェーデンのストックホルムに移...

メーカー・取り扱い企業：有限会社テク

高出力ECRプラズマ源『EPS-120』

微細加工装置に適用可能！ECR放電型の高出力プラズマ源をご紹介します

『EPS-120』は、微細加工装置に適用できるECR(電子サイクロトロン共鳴) 放電型の高出力プラズマ源です。複数配置により大面積プラズマを実現するモジュールコンセプト。ドライエッチング装置やアッシング装置のソースパワーをはじめ、反応性イオンビーム加工装置(RIBE)のイオン源などに応用できます。【特長】 ■独創的な磁石構成による大容積ECR磁場 ■強力な冷却シス...

メーカー・取り扱い企業：ノベリオンシステムズ株式会社

先端表面処理技術を用いた高機能性ロールの開発

ゴムの弾性特性を維持しつつ低摩擦化が可能！グリップ起因の搬送時のシワ発…

当社が取り扱う、「先端表面処理技術を用いた高機能性ロール」をご紹介します。産学官連携を駆使して開発した真空雰囲気下でのプラズマ技術を用いることで、次世代の電子デバイス機器の高品質生産を可能としました。振れ精度などのロールの精度を維持しつつ、帯電防止や親水性などの表面エネルギ制御等の機能性付与は無論のこと、相手基材の汚染低減等も可能です。【特長】 ■ゴムロー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社都ローラー工業

CVD(熱化学蒸着法)コーティングとは

熱化学蒸着法により各種機能性セラミック膜を、単層又は多層コーティングし…

CVDコーティングとは CVD(Chemical Vapor Deposition)コーティングは化学的な成膜方式で、大気圧～中真空（100～10-1Pa）の状態において、ガス状の気体原料を送り込み、熱、プラズマ、光などのエネルギーを与えて化学反応を励起・促進して薄膜や微粒子を合成し、基材・基板の表面に吸着・堆積させ処理物表面に超硬質のセラミック化合物を化学的にコーティ...

メーカー・取り扱い企業：みのる産業株式会社

バレルタイププラズマ処理装置　ＰＢシリーズ

等方性プラズマを利用　微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質に最…

バレルタイププラズマ処理装置「ＰＢシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去（Ashing）や油分の除去（Cleaning）、珪素化合物（ＳｉＯ2，ＳｉＮ）のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液（Ｗｅt）を使用すること無く行える装置です。良環境性（クリーンな作業環境、無廃液）と低ランニングコストを実現します。全方向から処理が進行し、対象物の形状に問わず、ナノレベルの処理、洗浄、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

プラズマエッチャーセミオートシリーズ【CPE-300S】

使い勝手の良い真空プラズマ装置の廉価版！テフロン親水化や各種素材の撥水…

使い勝手が良い卓上型の真空プラズマ装置「プラズマエッチャー」シリーズに新ラインナップ、セミオートタイプが登場！従来より更に小型化、省スペースでの設置が可能。オート、マニュアルの両機能を備え更に使いやすくなりました。タッチパネルでマニュアル操作や事前にレシピを設定し1ボタンの簡単操作も可能。ステージサイズはφ100mm～φ1000mmで自由に選ぶことができます。一般的なセラミック・金...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体