真空仕様 | イプロスものづくり

PRまるで、充填機界の4WD！計量フィードバック方式により、精度が向上しま…

『4軸オーーーガ』は、パワフルでスピーディな高性能充填機です。容器に均一な充填が可能で、タッチパネル採用により、操作性・視認性も向上。またオプションとして、主軸スクリューWC溶射や、スクリュー先端ゲート内面コーティング、容器高さ検知機能などをご用意しております。【特長】 ■大幅にスピードアップ ■よりコンパクトに ■タッチパネル採用による操作性・視認性向上 ...

メーカー・取り扱い企業：讃光工業株式会社

【最新モデル】Druck ハンドヘルド圧力校正器 DPI610E

PR圧力校正器が「６月28日まで」期間限定の特価キャンペーン！現場校正作業…

ドラック伝説の校正器 DPI600シリーズからの待望の最新モデルのキャンペーンを実施します。現場校正作業の効率アップに欠かせない一台です。【４月１日～６月28日まで期間限定特価キャンペーン中】この機会に、使いやすい最新モデルにアップデートしませんか？【特長】 ◆簡単操作の圧力測定と圧力発生、信号測定、ループ電源機能を一台に統合 ◆前モデルより大幅に改善されたポンプ機能と...

メーカー・取り扱い企業：日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　（旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

真空対応位置決めテーブル＜VT＞

　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製）　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製）　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可　◇汎用型のステージとの互換性が高く、大気→真空仕様への移行が　　スムーズです。　◇真空環境下以外でも、高温環境や放出ガスを嫌う環境などで使用　　にもお薦めです。 [仕様] 　外形サイズ：　Ｗ１８８×Ｌ１８８×Ｈ３８［ｍｍ］ ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

各企業様の研究・開発部門や各種研究開発機構様とのお取引をさせて頂いており、最先端技術を取り入れた技術の提供が可能です。御客様の御要望に沿った装置設計が弊社の最も得意とするところです。その他、ユニット、部品単体の設計や改造案件なども承っておりますので、お気軽にご相談下さい。【取り扱い産業一覧】半導体製造／有機EL・液晶パネル製造／太陽電池パネル製造／医薬品製造／食品加工／他 ...近年...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

真空プレス機

売り上げ実績No.1　ミカド真空プレス機シリーズ

カスタムメイド、オーダーメイドながら累計300台以上の販売実績を持つミカド式真空プレス機創業65年以上の社歴をもつミカドテクノスの安心と安全。きめ細やかなサービスと数々の経験に裏付けされた機械仕様。リピートオーダー率の高さがその技術評価の実証です。...レンタルラボミカドの真空プレス機の特徴を実感していただきながら新製品の開発や工法開発、試作評価用のサンプル作り、量産試作などにレン...

メーカー・取り扱い企業：ミカドテクノス株式会社

真空対応マイクロリニアアクチュエータ＜MLA＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...真空度（：到達 5×10-4Pa）対応の超小型アクチュエータです。【特長】　◇ステッピングモータ駆動でパルスによる簡単な位置決め　◇超小型！ボールペンや単４電池よりも小さい [仕様]　　外形サ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

窓交換式高真空用ビューイングポート（ビューポート）

窓材の交換が簡単にできます！

Oリングを使用した、窓交換式高真空用ビューイングポート（ビューポート）です。窓材がフランジから取り外せるため、窓材の交換やクリーニングなどを簡単に行うことが可能です。窓材はホウケイ酸グラスまたは溶融石英から選択できます。溶融石英は波長域に応じて4種類のラインナップがあります。 - ARコートなし - UV(290~370nm) - Type-A (350~700nm) - Type...

メーカー・取り扱い企業：有限会社テクサム

真空非磁性ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することができます。...駆動源に回転式超音波モータ（ＵＳＭ）を採用した真空非磁性対応ＵＳＭ駆動ユニットです。【特長】　◇回転式超音波モータを採用し、真空や非磁性環境に対応　◇動作毎のユニットで組合せ自由な軸構成　◇環境や精度グレードによるモデル分けでコストパフ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

超高真空用ビューイングポート　Glass 7056

最新のグラス-メタル接合技術を使用した、超高真空用ビューイングポート

コストパフォーマンスの良いグラスビューイングポートです。 ■コーニング社の Glass 7056（コバール封着用ホウケイ酸ガラス）を使用 ■最新のグラス - メタル接合技術を使用しています。 ■ハウジングはICF・NWフランジから選べます（真空度・耐熱温度は異なります）。...【特長】 ○コーニング社の Glass 7056（コバール封着用ホウケイ酸ガラス）を使用 ○最新のグラス...

メーカー・取り扱い企業：有限会社テクサム

4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP！　4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

4軸同時駆動の卓上型スピンコート機『ACT-220AII-4axis』のご紹介です。 2軸、3軸、4軸同時処理（起動）が可能で、枚様式でありながら4枚同時にスピンコートできます。処理する基板が小型（丸基板の場合はφ100、四角基板の場合は□70mmまで）の場合は是非ご検討下さい。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

自立型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-700AII』

□360mm、20インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-70…

アクティブの『自立型スピンコーターACT-700AII』はφ500mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の装置です。 1分間の回転数を0～3000の範囲で設定でき、その精度は±2rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パター...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

アーク放電型イオンプレーティング装置「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

SIA-400Tは、工具・刃物・金型等への「表面硬化膜」及び、「装飾膜」に最適なホロカソードタイプを、さらにバージョンアップしたアーク放電タイプ（蒸発源表面上にアーク放電を発生させ、溶解・蒸着・イオン化という過程を経て膜形成）を採用した装置です。【特徴】 ○ムダを極力少なくし、処理量の確保をはかった ○1バッチごとの蒸発源の補給が不要 ○基板取付けを容易にした担当者にやさしい装置 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

小型回転式真空プラズマ装置『MUG-80』

一括処理で時間短縮&コスト削減！　少量の粉体・微小な部材の表面改質に！

ご要望の多かった、回転式卓上プラズマ装置の小型版がついに登場！『粉体や固体全面』など様々な材料の『親水化』『洗浄』『密着強化』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂ける回転式真空プラズマ装置！通常のプラズマ装置はサンプルとプラズマが触れていない底面などの接触部分は処理できず裏返す工程が必要となっていました。本製品はチャンバーが回転する事によりサンプル全...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

イオンプレーティング装置「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

イオンプレーティング装置「SIP-1600」は樹脂基板へ金属膜を成膜する装置です。同一バッチで2種類の材料が成膜可能です。内部治具及び台車が2式付属しており高い生産性を有します。イオンプレーティング機構により、付き回りよく成膜できます。【特徴】 ○ワークの大きさにより、6軸もしくは8軸の自公転治具が搭載可能 ○抵抗加熱蒸発源は切替電極（2式）を搭載している ○イオンプレ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

真空非磁性超音波モータ＜US36＞

弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することができます。...真空非磁性対応の回転式超音波モータ（ＵＳＭ）です。【特長】　◇真空環境、磁場の影響が気になる環境下の駆動源として使用　◇自己保持タイプで停電時の安全対策に適したモータ　◇エンコーダを装着することで高精度な位置決めも可能 ⇒詳細はダウン...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

真空ガス四重極分析計

遠隔インターネット管理を実現、真空ガス分析管理装置

装置の真空の質（正常／異常）を判別するＲＧＡ装置です。これまで、シリアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離を越えて制御が行えます。使い易さの向上のみならず、プロセスモニタリングやe-Diagnostics（診断）に新しい可能性を切り開きます。【仕様】 ◇マスレンジ：　1-100 ...

メーカー・取り扱い企業：日本エム・ケー・エス株式会社

真空用オゾン除害器

真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。

PARAM社製、真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。従来製品に比べ、分解効率が数倍高いマテリアルを開発したことにより、処理能力が非常に高く、発塵の無いオゾン除害器となっております。 ...【特長】 ○真空下で使用できます。 ○発塵無くオゾンを分解します。 ○真空ポンプ前段に設置することで、真空ポンプの腐食を防ぎます。【仕様】型式　　　　　　　　　　OZ-1000 入...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

高機能ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ源3源+3系統（MFC制御）、RF/DC PSUの増設（最大2電源まで）...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することでスループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダイヘン

真空チャンバー制作技術紹介

真空容器製作等にお困りの方は是非弊社まで！！

真空容器製作事例を紹介。真空設計製造ならお任せください！...真空容器製作事例を紹介いたします！！《フレキシブルな受注範囲》チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含むユニットとしての対応が可能《幅広い製作範囲》材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他) 《グレードに応じた表面処理》・酸洗浄：低コスト・電解研磨：SM...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

半導体部品の欠陥検出　「遠心定加速度試験装置」

高加速度試験（最大34,000rpm、100,000G）。槽内温度コン…

「遠心定加速度試験装置」は、半導体部品の構造上・機械的欠陥の検出をします。【特徴】ローター室保護のために鋼鉄製の二重リング銅やスライドドアを採用回転体のアンバランス検地に非接触の渦流センサーを採用モーターの回転数が設定値より20%を超えると停止する過回転保護機構を採用本体の異常振動検知に振動スイッチを採用真空度のチェックに真空監視機構を採用その他詳細は、カタログをダ...

メーカー・取り扱い企業：エア・ブラウン株式会社電子機器部

親水・洗浄・密着強化『回転式真空プラズマ装置』

乾式で『粉体や固体全面』の『表面改質(親水・洗浄・密着強化)』を一括処…

『粉体や固体全面』など様々な材料の『親水化』『洗浄』『密着強化』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂ける回転式真空プラズマ装置！通常のプラズマ装置はサンプルとプラズマが触れていない底面などの接触部分は処理できず裏返す工程が必要となっていました。本製品はチャンバーが回転する事によりサンプル全面に均一なプラズマ処理一括処理する事ができます。【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

磁性流体シール

半導体製造装置、真空装置に使用され、クリーンなシールが可能！バリエーシ…

『磁性流体シール』は、Oリングの個体摺動の無いシール方式で、目的は真空シール、ダストシールとして使われています。バリエーションを豊富にそろえており、シャフトタイプ、フランジタイプ、水冷有無等をご用意。お客様のご要求に合わせた各種フランジ形状や軸形状の仕様にも対応いたします。【特長】 ■クリーンなシールが可能 ■Oリングの個体摺動の無いシール方式 ■真空シー...

メーカー・取り扱い企業：ナカンテクノ株式会社

超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』

スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転！スピンコート機ACT-2…

『ACT-200SM-S』は、1,000～60,000rpm±1％以下（試料台Φ20実績値）の超高速回転が可能な卓上型スピンコーターです。薬液の揮発性が高くスピード重視、粘性が高めでより強いスピンが必要、さっと広げてごく薄い膜を得たい・・・そのような課題をお持ちであれば是非超高速回転による遠心力をご検討ください。基板サイズΦ3～Φ50mmに対応し、基板の保持方法は両面テープやピン保...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

ガス配管製作

自動溶接作業は、クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な　体制となっており...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

マイクロ波イオン源　EMIS-221C

ラミック放電管タイプでチャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起イオン源【特徴】 ○超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られる ○プラズマ室は高純度アルミナ製で　金属汚染の少ないイオンが得られる ○完全金属シール構造により、MBE装置など　各種超高真空装置に使用可能...

メーカー・取り扱い企業：アリオス株式会社

インライン式周波数調整装置「SFE-X2012」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

インライン式周波数調整装置「SFE-X2012」は、処理室と取出室を別にし、イオンソースもＨ／Ｌを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。ＳＦＥ‐Ｂ０３に搭載したＩＧＦ－２０１型１００ｍｍビームのイオンソースを２基搭載しています。イオンソース１台あたり最大２４個、計４８個同時処理が可能です。ＳＦＥ－Ｂ０３で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

【フィルタ(FERENA)の特徴・仕様　興研KOACH】興研

◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る

■FERENA※の特長 ◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る ◆ナノファイバーの存在比率が高い ◆フィルタとして有効なランダム構造 ◆耐水・耐油性に優れる ◆耐熱性に優れる ◆ボロンが出ない ※FERENA(フェリナ)とは、オープンクリーンシステムKOACHのプッシュフードに搭載されているフィルタです。FERENAにより、KOACHは清浄度ISO...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。【特長】・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。【仕様】ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200までクリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター洗浄方式：スピン洗浄＋ブラシ又...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

原子層堆積装置「ALD-Series」

複雑な形状の基板への成膜に最適で、低温成膜で樹脂基板にも対応します。ま…

ALD（Atomic Layer Deposition）とは原子層堆積法という単原子層を1サイクルで成膜する手法で、サイクルを繰り返すことにより薄膜を形成します。一原子層レベルの均一なレイヤーコントロールが可能となり、高品質かつ段差被覆性の高い薄膜を形成する事が可能です。【特徴】 ○複雑な形状の基板への成膜に最適 ○低温成膜で樹脂基板にも対応 ○ガスバリア性に優れた薄膜が得られる...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

真空容器制作事例「実験用チャンバー」

真空容器制作事例のご紹介

チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含ユニットとしての対応が可能 ...真空容器製作事例《フレキシブルな受注範囲》《幅広い製作範囲》材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他) 《グレードに応じた表面処理》 1、酸洗浄：低コスト 2、電解研磨：SMC洗浄、サスピカ、アルピカの高グレード対応可能 3、バフ研磨、各種めっき...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

マイクロヒーター

マイクロヒーターは配管などに容易に巻きつけ可能で、真空中でも使用可能で…

マイクロヒーター（細管ヒータ）は、液体や気体などの被加熱物に直接触れる構造で加熱することが可能です。主に配管巻き付け、溝に埋め込み、熱板、真空中の加熱などに使われています。形状は、取付装置や部品に合わせて自由に設計可能です。新日電熱工業株式会社では、熱効率や加熱性にすぐれた電熱ヒーターを取り揃えております。あらゆる設計に対応できる製品を取り揃えることによって、お客さまのご利用...

メーカー・取り扱い企業：新日電熱工業株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

AFTEX-8000シリーズは、1つの成膜室に傾斜配置したECRプラズマ源を2基搭載し、高品質な光学薄膜などを最大8インチ径の基板上に均一性に優れた多層膜を形成できる、C to C枚葉式全自動多層膜形成装置です。高活性・高密度ECR(Electron Cyclotron Resonance)プラズマ源を用い、プラズマ引き出し部にターゲットを配置することによって固体ソースによるECRプラズマ成膜...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

大型機・自立型スピンコーター

大型基板にも対応！研究、実験用にも適したアクティブの自立型スピンコータ…

アクティブのスピンコーターは大型基板にも対応可能です。対応基板サイズ（カップ径）が大きくなると装置サイズも大きく重くなります。卓上にのせると作業高さが使いにくくなるのもあり、自立型として製作しております。自立型はアジャスターを縮めることでキャスターが接地するので移動も楽です。対応基板サイズ（カップ径）の小さい卓上型スピンコーター同様、インターロックセンサー付き安全カバー、基板吸着圧...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

コンタクトアニール用ランプアニール装置『RLA-3100-V』

GaN基板の処理も可能！コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装…

『RLA-3100-V』は、6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応可能なコンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装置です。耐真空設計された石英チューブの採用でクリーンな真空(LP)環境、 N2ロードロック雰囲気での処理が可能です。また、自動ウェーハ載せ替え機構を装備し、C to C搬送を実現します。【特長】 ■～6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応 ■自...

メーカー・取り扱い企業：光洋サーモシステム株式会社営業管理部

後工程の半導体製造装置に「本当に適した部品」を使用できてますか？

「チップの引っ掛けキズやひび割れ」「作業時にチップの持ち帰り問題」など…

当資料は、有限会社オルテコーポレーションが提案した後工程における、半導体製造装置の課題解決事例集です。弊社が得意とする消耗パーツの紹介をはじめ、多くのユーザーが課題に挙げる、チップの破損ダメージについてや、ディスペンサーやエポキシ転写の不安定問題、ワイヤボンディング用トーチ電極などの事例を多数ご紹介しております。当社は、装置メーカーが勧める汎用性の高いパーツでは対応できないケースにおいても、数多く...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

サーマルALD装置『Phoenix G2』

量産に必要な多くの安全対策仕様！コンパクトな装置サイズで成膜温度50～…

『Phoenix G2』は、中規模量産に適したサーマル式のALD装置です。優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザインで、多用途に対し容易に使用可能。また、セミオートローダー又は真空ロードロックに対応しており、適切なチャンバーサイズ(＜370mm×470mm)となっております。【特長】 ■優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ

『表面活性化接合タイプ常温接合装置　量産機』

ウェハーやバルクを熱を加えず接合！

当製品は、超高真空(10^-6Pa台)下で、Arビームにより接合面を活性化し、常温・無加圧でウェハーやバルクを接合する量産機ベースの装置です。非加熱で接合するため、生産工程の短縮・効率化に寄与します。当社が長年培った超高真空技術を注ぎ込み、高い操作性とメンテナンス性を達成しております。【特長】 ■非加熱のため熱膨張率の異なる材料も接合可能 ■一組あたりの接合時間...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ムサシノエンジニアリング

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度の...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

精密部品洗浄装置（脱脂）

HDD用モーター部品（HUB・ケース等）の脱脂洗浄装置　構成例：洗剤＋…

本装置はHDD用モーター部品（HUB・ケース等）を脱脂洗浄する装置です。構成：洗剤＋US（脱脂洗浄）→純水リンス＋US→温風乾燥→真空乾燥　用途に合わせ製作致します...＜主な仕様＞ 1.被洗浄物　：　HDD用モーター部品（HUB・ケース等） 2.処理方法　：　専用バスケットによるDip処理 3.処理速度　：　2.5min（2kg×4バスケット） 4.パスライン　：　FL+...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウンアームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...ロボット仕様ロボット型式 TSVCR3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハウェーハ保持方式落とし込みによるラフガイド方式機械構造形式円筒座標型制御軸 3軸モータタイプエンコー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

全自動RTP（高速熱処理）装置

Premtek　RTP-1200A（SEC）（SEF）

4～8インチに対応した、シングルチャンバ全自動RTP装置です。搬送方式はオープンカセット・SMIFどちらかの選択で、カセットステーションは2台になります。ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。温度測定範囲は20℃～1250℃となります。熱電対とパイロメータが...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは、200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

4層ベローズ

高耐圧と低いバネ定数を兼ねそろえた4層ベローズ、強度を保って抜群のやわ…

『4層ベローズ』は、高圧下で柔らかさ、超寿命が求められる、振動配管・真空振動乾燥機の振動吸収用ベローズです。高い使用圧力にも拘らずベローズの長さに制限があり、バネ定数に制約のある、バルブ・安全弁・メカニカルシール・ロータリージョイント等に適しています。板厚、層数、材質等色々な組み合わせで各種ご要望にお答えできます。【特長】 ■振動配管・真空振動乾燥機の振動吸収...

メーカー・取り扱い企業：三元ラセン管工業株式会社

ハーメチックフィードスルー

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...真空チャンバーの隔壁に使用するハーメチックフィードスルーです。【特長】　◇多極に対応するＤ－ＳＵＢ型＜DC＞シリーズ　◇多極に対応するＭＳ丸型＜MC＞シリーズ　◇単極（同軸）にはＢＮＣ型、高圧タイプのＳＨＶ型、コンパクトな　　ＬＥＭＯ型＜CC＞シリーズ ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所