真空仕様 | イプロスものづくり

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー

【最新モデル】Druck ハンドヘルド圧力校正器 DPI610E

PR圧力校正器が「６月28日まで」期間限定の特価キャンペーン！現場校正作業…

ドラック伝説の校正器 DPI600シリーズからの待望の最新モデルのキャンペーンを実施します。現場校正作業の効率アップに欠かせない一台です。【４月１日～６月28日まで期間限定特価キャンペーン中】この機会に、使いやすい最新モデルにアップデートしませんか？【特長】 ◆簡単操作の圧力測定と圧力発生、信号測定、ループ電源機能を一台に統合 ◆前モデルより大幅に改善されたポンプ機能と...

メーカー・取り扱い企業：日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　（旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

【協働ロボット】【OnRobot】電動真空グリッパー　VGP20

無制限にカスタマイズ可能で様々なアプリケーションに対応！柔軟でフェール…

『VGP20』は、ダンボール箱のパレタイジングおよび不規則で形状・多孔質な表面の取り扱いに好適です。業界最高クラスの強力な電動真空グリッパーにより、空気グリッパーに比べ最大90%のコスト削減が可能。内蔵型インテリジェンスとマルチチャンネル機能が柔軟でフェールセーフな操作を実現します。【特長】 ■ダンボール箱のパレタイジングおよび不規則で　形状・多孔質な表面...

メーカー・取り扱い企業：芳賀電機株式会社

342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズ

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズは、真空環境下におけるサセプタ（化合物半導体、シリコンウエハ等）をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。位置決め用センサを真空環境下に配置することで、本気単体のみの設置だけで完了し、装置設計の自由度もUPします。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ワーク(トレイ)重量4kgまでのア...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

【産業用ロボット対応！】『真空パッドブラケット』岩田製作所

多関節ロボット、スカラロボット、パラレルリンクロボット、エアシリンダに…

お客様で内製されていませんか？岩田製作所の真空パッドブラケットは規格品のため、設計が不要です。また、ロボットに直接取付ができ手間がかかりません。主要真空パッドのネジサイズ【Ｍ５】に合わせた設計で、標準品以外の特注品も１個から対応可能です。 ...【多関節ロボット・エアシリンダ用】＊フラットシリーズ（SUS304製）・2穴、・4穴タイプ板厚：t2.0 ＊ライトシリ...

メーカー・取り扱い企業：大喜産業株式会社

電動真空グリッパー『VGP20』

到着後すぐに使える！さまざまな主要ロボットに迅速かつ簡単に導入可能

『VGP20』は、最大90%のコスト削減が可能な、業界最高クラスの強力な電動真空グリッパーです。内蔵型インテリジェンスとマルチチャンネル機能が柔軟でフェールセーフな操作を実現。無制限にカスタマイズ可能な汎用性の高いグリッパーで、さまざまなアプリケーションに対応します。また、ダンボール箱のパレタイジングおよび不規則な形状・多孔質な表面の取り扱いに適しています。...

メーカー・取り扱い企業：常盤電機株式会社

真空グリッパー『VGC10』

さまざまなニーズに対応！アームの交換・カスタマイズが可能でコンパクト

当社が取り扱う『VGC10』をご紹介します。カスタマイズ無限の柔軟性を誇り、さまざまなアプリケーションのニーズに対応する電動真空グリッパーです。外部からの給気不要で、メンテナンスコストの削減・素早い配備を実現。狭いスペースでの使用に適しており、最大15kgまで対応可能です。【技術仕様(抜粋)】 ■真空　・最小5%　最大80% 　・最小-0.05バール　最...

メーカー・取り扱い企業：常盤電機株式会社

ユニバーサルロボット用エジェクタ式真空グリッパーpiCOBOT

4種類の吸着パッドを用意し、様々なワーク吸着の選定対応が可能！真空グリ…

『piCOBOT』は、UR認定のバキュームグリッパーユニットで、小型でパワフルなUR協働ロボット用のグリッパーです。自動状態監視機能（Automatic Condition Monitoring）により、電磁弁を保護。ヒステレシス調整可能な省エネ機能により、エネルギー消費量を最大90-95％削減します。【特長】 ■自動状態監視機能により、電磁弁を保護 ■自動...

メーカー・取り扱い企業：高島ロボットマーケティング株式会社

国際ロボット展にて初披露！『コボットポンプミニ ECBPM』

協働ロボットにプラス1！ロボットからの電力供給のみで真空搬送を実現す…

協働ロボットを導入したけれど、イマイチ活用しきれない。こんなお困りごとはありませんか？・ハンドの選定が難しい！・狭いスペースでエア配管やケーブルの振り回しが不安！・取付やプログラミングが複雑で結局活用できない！エアレス・ホースレスで使用可能！大好評のシュマルツ小型真空ポンプ ECBPiシリーズに、ご要望の多かったミニタイプが新登場します。コボットポンプミニ ECBPMな...

メーカー・取り扱い企業：シュマルツ株式会社

ユニバーサルロボット用真空ソフトグリッパーpiSOFT GRIP

傷つきやすく繊細なワークの取り扱いが可能！内部が空洞になっている真空ソ…

『piSOFT GRIP』は、食品業界のオートメーション向けに開発された真空駆動ソフトグリッパーです。 FDA21 CFRおよびEU1935/2004規制に準拠しており、食品との直接接触が承認されたシリコン製。 2本指・3本指のバリエーションがあり、多様な形状のワーク把持が可能です。【特長】 ■傷つきやすく繊細なワークの取り扱いが可能 ■食品との直接接触が承認さ...

メーカー・取り扱い企業：高島ロボットマーケティング株式会社

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSTVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮を実現しました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

【ユニバーサルロボット用】電気真空グリッパー『EPick』

ロボットからの電源供給により、配管・配線が不要！取り扱いが簡単な電気真…

『EPick』は、コンプレッサーもエア用ホースも必要なく、ロボットからの電気供給のみで使用することができる電気真空グリッパーです。小型ワークのピッキングなどに適しており、非多孔質材に好適。吸着パッド1個入り、2個入り、4個入りKITの中から選択でき、自由にカスタマイズが可能です。【特長】 ■エアレス・ホースレス、DC-24Vで駆動 ■非多孔質材に好適 ■UR＋...

メーカー・取り扱い企業：高島ロボットマーケティング株式会社

【テックマンロボット用】電気真空グリッパー『FQE』

ロボットへの負荷を削減、搬送速度の向上に寄与！多数量ワークの一括搬送に…

『FQE』は、多品種・多数量ワークの搬送に適した真空グリッパーです。段替え作業なしで、様々なワークに対応することが可能。さらに、SO/TS 15066に準拠した丸みを帯びたデザインで、約65dbの低いノイズレベルで作業者の負荷を軽減します。【特長】 ■ハンドの段替えなしで様々なワークの搬送可能 ■軽量 ■協働作業に適した設計 ■モジュール仕様 ※詳しくは関...

メーカー・取り扱い企業：高島ロボットマーケティング株式会社

洗浄用ダブルロボット

革命的高性能！CNC高圧洗浄、CNC エアブロ、真空乾燥が同時に可能

当社で取り扱う、『洗浄用ダブルロボット』をご紹介します。自社開発の製品で、CNC高圧洗浄、CNC エアブロ、真空乾燥が同時に可能。効率2-3倍、無人化対応、自動段取り替えといった特長があります。調圧方式は電子調圧システムを採用しております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■効率2-3倍 ■無人化対応 ■自動段取り替え ■自社開発 ...

メーカー・取り扱い企業：モバック株式会社

【カタログ無料進呈】『半導体ウェハー・ガラス基板搬送用ロボット』

＜高精度・高速性・高剛性＞大気、真空用あらゆるサイズの仕様を取り揃えて…

当カタログは、半導体ウェハー及びガラス基板搬送用ロボットの専門メーカー株式会社アイテックの製品カタログです。「ウエハー真空搬送ロボット(～450mm)」をはじめ、「GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代)」や、「GLASS大気搬送ロボット(～G4世代)」などを掲載しております。【掲載内容】 ■ウエハー真空搬送ロボット(～450mm) ■ウエハー大気搬送ロボット(～450...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテック

【テックマンロボット用】電気真空グリッパー『ECBPMi』

ロボットフランジ、電気接続ケーブルが一体化！専用工具なしで容易に取付…

『ECBPMi』は、コンプレッサーもエア用ホースも必要なく、ロボットからの電気供給のみで使用することができる電気真空グリッパーです。きわめて軽量・小型なボディで、ロボットの可搬域を最大限活用した作業が可能。本体重量が225gと非常に小型なため、可搬の小さな協働ロボットでもご使用頂けるほか、狭い場所へのアプローチにも適しています。【特長】 ■エアレス・ホースレス...

メーカー・取り扱い企業：高島ロボットマーケティング株式会社

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4280-AMシリーズ

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR3115Sシリーズ

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSSCR3115Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○S...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

耐環境性+高精度位置センサー

Temposonicsなら目的に応じたセンサーを提案できます

Temposonicsセンサは、磁歪技術を用いた、衝撃や振動、温度等の過酷な環境に対し堅牢なアブソリュートリニアスケールです。非接触計測で摩耗がなく、ロッドタイプのセンサは、小型で、油圧シリンダ、空圧シリンダ内にも収まります。また、Level Plusは、磁歪技術による高精度、高信頼性を誇る液面変位センサで、一本の液面計で複数の液面、境界面の計測だけでなく、温度計測、マイコンによるタンク容量の自動...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

〔製品〕TM パレタイジングオペレータ―

倉庫業、食品加工業など様々な業種で応用！事前にパレタイジングの衝突チェ…

『TM パレタイジングオペレータ―』は、パレタイジング専用に設計されたオールインワンパッケージです。ユーザーが素早く設定できる支援ガイドソフトウェアを無償で利用でき、事前にパレタイジングのシミュレーションや衝突チェックが出来るなど、設定の所要時間を最短5分にまで短縮可能。倉庫業、物流業、食品加工業、製造業など、様々な業種に応用いただけます。 SIer目線で、導入の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レステックス

スリーワンデザイン株式会社　事業案内

試作・設計・製造が1台から可能！長年培ってきた技術と経験をベースに治工…

スリーワンデザイン株式会社は、お客様のご要望を形にするFA機器の設計・製作の会社です。ロボット・搬送系の設計・製作を得意としており、自動化技術・真空装置を含む生産設備の設計ノウハウの蓄積があります。また、製造・エレキ・ソフト等の協力会社の体制が整っているため、コンサルタント・仕様作成・設計・製造まで、一環して受注できます。さらに、緊急時でも即座に対応。難易度の高...

メーカー・取り扱い企業：スリーワンデザイン株式会社

光学式アライナ　SAL3261GRシリーズ

2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です

光学式アライナ　SAL3261GRシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です。ウェーハ端面を検出するタイプのセンサを搭載し、シリコン、透明、半透明ガラス、ガリ砒素、サファイヤウェーハ等のアライメントが可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

焼結プレス装置『X-SINTER P200Xシリーズ』

パワーエレクトロニクス部品の高信頼性接合技術！ご興味頂いた方には装置の…

「放熱性や接合信頼性を低下させるボイドが発生しやすい」や「高さが異なるチップや基板を均一に一括接合できない」といったお困りごとはございませんか？当製品は、基板上のすべてのコンポーネント（サーミスタ、IGBT、MOSFET、ダイ、チップなど）を個別に専用圧力でプレスすることが可能。　　　　　　　　 DBC、DBA、AMB、フレーム上の焼結ダイとクリップ、さらにはヒートシンク上の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社Found Four

光学式アライナ　SAL4381シリーズ

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

光学式アライナ　SAL4381シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。オプションでGaAsウェーハやガラスにも対応が可能です。詳しくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

KV416 ロボット多列小物受取機

非接触整列仕様！発塵対策、基板へのダメージ軽減が期待できる多列小物受取…

『KV416 ロボット多列小物受取機』は、カメラで基板の位置や傾きを認識し、あらかじめ決めておいた基板の基準位置・向きで吸着ハンドが受取動作を行います。非接触整列なので、発塵対策、基板へのダメージ軽減が期待できます。他にも、高速でスムーズに基板を移載する「KV217 多列小物投入機」や、ストックコンベア部に積み上げて受け取る装置「KV324 多列小物受取機」もご用意して...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダイワ

ジェーイーエル　ソーターシステム

アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にしました。

ソーターシステムは、SEMI Standardに準拠(E15.1-0600,E57-0600,E62-0999,E63-0600,E64-0600)しております。アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にし、高スループットを実現しました。IDリーダ搭載によりウェーハのID読取が可能(表裏対応はオプション)です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

NX761 Dラック式自動投入機（3軸ロボットタイプ）

薄板にも対応！不揃いの基板サイズが流れるラインでも対応可能な自動投入機

『NX761 Dラック式自動投入機（3軸ロボットタイプ）』は、自立できない 0.1mm未満の薄板基板にも対応している製品です。真空シリンダ等を用いた独自の二枚分離機構で薄板基板でありがちな静電気等による基板同士のくっつきを解消。二枚投入を防ぎます。 Lラック・Dラック・平積み等、ラック形態に合わせてフレキシブルに対応できます。他にも、可搬重量10Kgまで対応可能な「ダイワオ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダイワ

光学式アライナ　SAL4484シリーズ

制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。

100mm～200mm対応光学式アライナ　SAL4484シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【仕様】 ○被搬送物　SEMI規格　100～20...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ジェーイーエル　ソーターシステム6インチ

装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

ソーターシステム6インチは、カセット2個を2段（計4個）に配置することで幅方向はインラインタイプの50％に縮小します。装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載しております。多軸型GCRタイプを搭載することにより、ロボットのみでカセットの平行配置が可能です。ガラス対応アライナは透明、半透明、シリコンのセンタリングとオリフラロケートを高速、高精度に位置決め可能です。詳しくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ユニバーサルロボット用エジェクタ式真空グリッパーAirPick

協働ロボットに適したコンパクト設計！パワフルな真空流量で低ノイズな真空…

『AirPick』は、パワフルな吸引で起伏のある部品や平らな部品のピッキングに適したエジェクタ式真空グリッパーです。吸着パッド1個入り、2個入り、4個入りKITの中から選択でき、自由にカスタマイズが可能。 UR＋認証でPLUG＆PLAYができます。【特長】 ■パワフルな真空流量で低ノイズ ■協働ロボットに適したコンパクト設計 ■UR＋認証でPLUG＆PLAYが可...

メーカー・取り扱い企業：高島ロボットマーケティング株式会社

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ロボットヘッド軸の小型化、ケイドン超薄型ベアリングが実現！

ケイドン超薄型ベアリングは製品の小型化、省スペース化に貢献します

ケイドン超薄型ベアリングは、小型化、省スペース化に加え、特殊環境下(真空、高温/低温)での稼働や、高精度の要求等、仕様に応じたカスタマイズで、様々なロボットに採用されてきました。創業約80年の経験を基に、最適なベアリングを提供致します。【ケイドンを採用するメリット】 ■ 装置に占めるベアリングのスペースを最小化 ■ 装置の軽量化 ■ 中空軸の内径を大きくできるため、内部ス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社木村洋行

【ユニバーサルロボット用】電気真空グリッパー『FQE』

ロボットへの負荷を削減、搬送速度の向上に寄与！多数量ワークの一括搬送に…

『FQE』は、多品種・多数量ワークの搬送に適した真空グリッパーです。協働作業に適した設計で、ISO/TS 15066に準拠した丸みを帯びたデザインに、約65dbの低いノイズレベルで作業者の負荷を軽減。また、段替え作業なしで、様々なワークに対応することが可能です。【特長】 ■ハンドの段替えなしで様々なワークの搬送可能 ■軽量 ■協働作業に適した設計 ■モジュール仕...

メーカー・取り扱い企業：高島ロボットマーケティング株式会社

【ユニバーサルロボット用】電気真空グリッパー『VG10』

二重グリップ機能により生産ラインにおける効率性を向上！CNCなどの分野…

『VG10』は、コンプレッサーもエア用ホースも必要ない真空グリッパーです。コンパクトなため移動も簡単。生産ラインに合わせて柔軟にお使いいただけます。また、異なるサイズの様々なワークの吸着が可能なほか、難しい設定なしで30分以内に生産ラインでの使用ができます。【特長】 ■電気真空式ポンプでコンプレッサーやポンプが不要 ■異なるサイズの様々なワークの吸着が可能 ■...

メーカー・取り扱い企業：高島ロボットマーケティング株式会社

【ユニバーサルロボット用】電気真空グリッパー『ECBPi』

離れた場所からの状態監視が可能！組み立て/マシンテンディングなどの分野…

『ECBPi』は、コンプレッサーもエア用ホースも必要なく、ロボットからの電気供給のみで使用することができる電気真空グリッパーです。エンドエフェクタセットをオプションで用意しており、幅広いワークに対応可能。軽量かつコンパクトなデザインで、小型ワークのピッキングなどに適しています。【特長】 ■エアレス・ホースレス、DC-24Vで駆動 ■小型・軽量 ■IO-Link...

メーカー・取り扱い企業：高島ロボットマーケティング株式会社

【テックマンロボット用】電気真空グリッパー『ECBPi』

幅広いワークに対応可能！ロボットからの電源共有により、配管・配線が不要

『ECBPi』は、コンプレッサーもエア用ホースも必要なく、ロボットからの電気供給のみで使用することができる電気真空グリッパーです。軽量かつコンパクトなデザインで、小型ワークのピッキングなどに好適。離れた場所からの状態監視が可能で、ロボットからの電源共有により、配管・配線が不要です。【特長】 ■エアレス・ホースレス、DC-24Vで駆動 ■小型・軽量 ■IO-Li...

メーカー・取り扱い企業：高島ロボットマーケティング株式会社

【ユニバーサルロボット用】電気真空グリッパー『ECBPMi』

ロボットからの電源共有により、配管・配線が不要！品質検査などの分野に適…

『ECBPMi』は、コンプレッサーもエア用ホースも必要なく、ロボットからの電気供給のみで使用することができる電気真空グリッパーです。ロボットフランジ、電気接続ケーブルが一体化しており、専用工具なしで容易に取付可能。本体重量が225gと非常に小型なため、可搬の小さな協働ロボットでもご使用頂けるほか、狭い場所へのアプローチにも適しています。【特長】 ■エアレス・ホ...

メーカー・取り扱い企業：高島ロボットマーケティング株式会社

【ユニバーサルロボット用】電気真空グリッパー『SLG』

オーダーメイド式軽量ハンド！射出成形、品質検査などの分野に適しています

『SLG』は、お客様ご自身で、簡単に設計ができるロボットハンドです。オンラインで公開している専用コンフィギュレータ(設計システム）に必要な情報を入力するだけで、手間なくハンドの設計が可能。配管が一体化したハンド生成で配管作業が不要なほか、到着後すぐに取り付けて使用することが可能です。【特長】 ■オーダーメイド ■短い時間で簡単設計 ■樹脂製で非常に軽量 ■配...

メーカー・取り扱い企業：高島ロボットマーケティング株式会社

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4000-AMシリーズ

ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化

スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-AMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

2軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR2090Sシリーズ

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

スーパークリーンルーム用2軸円筒座標型クリーンロボットSSCR2090Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。各軸にはエンコーダ、ラッチ式電磁弁、デジタル表示付圧力スイッチの装備等、上位機種のスペックはそのまま受け継いでおります。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ビーエル　クイックチェンジ　Ｆｌｅｘ−３００

重量物ハンドリング・パレタイジングやモーメント剛性が必要な用途に最適！…

ＢＬクイックチェンジ　モデル：Ｆｌｅｘ−３００は、重量物のハンドリング・パレタイジングやモーメント剛性が必要な用途に最適です。ユーティリティは空気圧ポートと電気信号接点の容量・数をオプションにより選択できます。...【特長】 ● ヘビーデューティ仕様可搬重量300kg、モーメント270kgf・m(Tx,Ty)と重可搬を実現し、ロック機構部及び本体部の電気信号接点部に粉塵の侵入を防止するシ...

メーカー・取り扱い企業：ビー・エル・オートテック株式会社

50～100mm対応アライナ　SAL2241シリーズ

小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。

50mm～100mm対応アライナ　SAL2241シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルターを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。詳しくはお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL46C6シリーズ

シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

150mm～300mm対応光学式アライナ　SAL46C6シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【仕様】 ○被搬送物　SEMI規格　150～30...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ

シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。

300mm対応5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000シリーズは、ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保し、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル