真空仕様 | イプロスものづくり

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【シロキサンフリー】半導体チップ搬送ケース『ゲルベースVタイプ』

PR半導体チップや精密デバイスなどを振動から守り安全に保管・搬送！シロキ…

★電子機器トータルソリューション展に出展します★ JPCA Show 2024 2024/4/24(水)～26(金) 10:00-17:00 パシフィコ横浜　展示ホール小間番号：6H-10 ゲルベースは半導体チップや精密デバイスなど細かな部品の工場内、工程内搬送、海外搬送用として使用できます。搬送時は振動から精密部品を守り、また半導体等部品のデバイス固定用としても大活躍。粘...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エクシール本社
三浦工業のバイデルポンプ・ロータリーポンプ【展示会出展】

PR【FOOMA JAPAN 出展！】豊かな発想と技術力でお客様により良い…

三浦工業株式会社は、ボイラの開発で蓄積してきた豊富なノウハウを活かし各種ポンプを取り扱っております。高粘度液の移送が可能な「高粘度液移送ポンプ VRP」をはじめ脱気、吸引、吸着に適した「水封式真空ポンプ MEA」などをラインアップ。お客様に様々な用途でより良い「機能」と「安全」「安心」をお届けしたいと考えています。【取扱い製品】 ■高粘度液移送ポンプ VRP ■高粘度液...
メーカー・取り扱い企業：三浦工業株式会社
半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポン…

IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。【製品】 ■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所
真空対応位置決めテーブル＜VT＞

真空対応位置決めテーブル＜VT＞

　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製）　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製）　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可　◇汎用型のステージとの互換性が高く、大気→真空仕様への移行が　　スムーズです。　◇真空環境下以外でも、高温環境や放出ガスを嫌う環境などで使用　　にもお薦めです。 [仕様] 　外形サイズ：　Ｗ１８８×Ｌ１８８×Ｈ３８［ｍｍ］ ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
真空対応マイクロリニアアクチュエータ＜MLA＞

真空対応マイクロリニアアクチュエータ＜MLA＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...真空度（：到達 5×10-4Pa）対応の超小型アクチュエータです。【特長】　◇ステッピングモータ駆動でパルスによる簡単な位置決め　◇超小型！ボールペンや単４電池よりも小さい [仕様]　　外形サ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
８９００型シリーズ　脱気装置

装置のロングライフ運転に成功しました。脱気装置の高耐久性は、送液ポンプ…

大きな真空変動もなく、安定した溶存酸素を取り除いた溶媒を、送液ポンプに供給する高性能な脱気装置を開発しました。パルスモータと独自の制御ソフトの組合せ、そして装置作動中は常時大気導入機構の自己クリーニング方式で真空ポンプの長寿命が実現できました。脱気モジュールの透過膜は、高性能テフロンAF（アモルファス　フルオロポルマー）を使用しています。AF素材はエアー透過率にとても優れています。よって、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＡＱＵＡＴＨ
高温観察装置『IR-HP』/ 接触角・濡れ性測定アプリケーション

上部・側部の観察窓から加熱中のサンプル状態も観察可能！画像データから接…

『IR-HP』は、サンプルのみの集光加熱により、1300℃までの加熱が可能な高温観察装置です。 100ｍｍの大型試料ホルダーを標準装備し、上部に加えて側部に観察窓を設けることにより、色々な角度で加熱中のサンプルの状態が観察可能です。また、Nick社との共同開発により、高温化での接触角および濡れ性を画像データから自動計算が可能になりました！固体である物質が液体化する高温時の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社米倉製作所
真空非磁性ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

真空非磁性ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することができます。...駆動源に回転式超音波モータ（ＵＳＭ）を採用した真空非磁性対応ＵＳＭ駆動ユニットです。【特長】　◇回転式超音波モータを採用し、真空や非磁性環境に対応　◇動作毎のユニットで組合せ自由な軸構成　◇環境や精度グレードによるモデル分けでコストパフ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
光学式熱膨張率測定装置

光学式膨張測定は、軟化点だけでなく融解点までサンプルに接触することなく…

【Optical Dilatometer】: 測定システムとサンプルが接触することなく、試料の寸法変化を測定できる機器。従来のプッシュロッド膨張計とは異なり、実験は軟化点を超えて拡張できます。典型的な感度は1µmよりも良くなければなりません。【Heating Microscope】試料の画像全体と、定義された温度範囲で変化する形状を分析できる非接触デバイス。実験は、軟化点を...
メーカー・取り扱い企業：ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン株式会社（TAInstruments）
熱分析/示差熱-熱重量同時分析装置 TG-DTA／DSCシリーズ

世界でもっとも優れた示差熱-熱重量同時分析装置Discovery SD…

特徴と利点・優れたヒートフローと重量測定のための設計された水平式デュアルビーム・競合システムよりもはるかに優れた生産性デュアルサンプルTGAモード・卓越したベースライン平坦性、感度、分解能を提供する極めて低いドリフトバランス設計・熱容量の測定に最適なモジュレイテッドDSC(MDSC) ・重なり合う重量減少の分離に最適なHi-Res TGA ・速度論的研究の生産性を向上するモジュ...

メーカー・取り扱い企業：ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン株式会社（TAInstruments）
示差熱-熱重量同時測定装置（TG-DTA）『SDT650』

広い温度範囲で、同じ試料の重量変化とヒートフローを同時に測定できる熱分…

『TG-DTA／DSCシリーズ』は、室温から1500℃までの範囲で同じサンプルの重量変化（TGA）と、ヒートフロー（DSC）を同時に測定する装置です。ビームの伸び自動補償付のデュアルビーム方式で精度の高い TGAとDSC測定が可能になります。また、広い温度範囲で質の高い結果を得ることができ、高い能力と簡単な操作性であらゆる研究分野に役立ちます。【特長】 ■優れた...
メーカー・取り扱い企業：ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン株式会社（TAInstruments）
【製品カタログ有】熱重量測定装置『Discovery TGA』

特許取得のバランスシステムで、純粋なリアルタイム重量データ取得が可能に…

『TGAシリーズ』は、ベースライン補正や他の試験後マニピュレーションを行わずに最適な性能を実現可能な熱重量測定装置です。当製品の主要部には、特許取得済みの「Tru-Mass Balance」が搭載されており、重量ドリフトおよび感度において優れた性能を発揮します。当シリーズは、要件の厳しい用途にも対応可能な『TGA 5500』をはじめ、高度なオプションと構成の柔軟性を備え...
メーカー・取り扱い企業：ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン株式会社（TAInstruments）
《加熱・冷却観察装置 MHO-300-2 》小型・置くだけ・簡単

《加熱・冷却観察装置 MHO-300-2 》お持ちの顕微鏡・マイクロス…

お持ちの顕微鏡やマイクロスコープのステージに置くだけで、マイナス100℃から300℃の変化の様子をリアルタイムで観察。気密構造の炉では、様々な真空中不活性ガス雰囲気下での昇温冷却が可能です。【ポイント】 ▮フレキシブルな温度制御性能専用ソフト「TeCSS（テックス）」上で、温度プログラム・モニタリングが簡単にできます（温調器単体でも操作は可）。また、温度・時間・スケールを表示、動...

メーカー・取り扱い企業：株式会社米倉製作所
トランスファーロッド（Ｚ-φ軸　KTMシリーズ）

【 4000台販売突破キャンペーン実施中】弊社トランスファーロッドは…

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。本製品は、比較的短い距離（200mm～300mm）での試料等の搬送を行う際におすすめです。マグネット方式の為、外部との真空封止は完全で、半永久的に安定した動作を得られます。真空中に取り付けられた直線運動及び回転運度を要する機器への応用が可能です。本体の内部には、電界研磨処理を施し超高真空領域まで使用可能です。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
超高温2200℃、真空・ガス雰囲気電気炉【研究・開発向け】

超高温2200℃を実現！より高度な研究・開発をサポートします。真空…

電気炉仕様に求められる性能の全てを、この１台にパッケージ。超高温２２００℃の真空ガス雰囲気電気炉です！最高２２００℃（アルゴンガス雰囲気）の超高温で、より高度な研究が可能です。【特長】 ◆欲しかった機能をオールインワンパッケージ！　システム構築に伴う様々な付帯装置の購入や設置の煩わしさ等、　経費や時間の浪費から貴方を解放 ◆驚きのハイコストパフォーマンス ...
メーカー・取り扱い企業：石川産業株式会社
高真空蒸着装置『KW-030D』

水晶振動式膜厚モニター搭載！コンパクト設計でクリーンな成膜が可能

『KW-030D』は、小規模生産用及び各研究機関の実験用として、コンパクト設計により初心者でも容易に作業ができる高真空蒸着装置です。ターボ分子ポンプを搭載することにより、高真空での成膜が可能。また、基板傾斜機構も搭載し、2軸の回転角度を調節することにより斜め蒸着ができます。【特長】 ■初心者でも容易に作業可能 ■ターボ分子ポンプ搭載 ■基板傾斜機構搭載 ■蒸...

メーカー・取り扱い企業：株式会社片桐エンジニアリング
真空非磁性超音波モータ＜US36＞

真空非磁性超音波モータ＜US36＞

弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することができます。...真空非磁性対応の回転式超音波モータ（ＵＳＭ）です。【特長】　◇真空環境、磁場の影響が気になる環境下の駆動源として使用　◇自己保持タイプで停電時の安全対策に適したモータ　◇エンコーダを装着することで高精度な位置決めも可能 ⇒詳細はダウン...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
四重極質量分析計『TDS1200II』

高感度にリアルタイム検出できる四重極質量分析計！

『TDS1200II』は、超高真空環境で試料を赤外線で加熱した際に、試料から放出される成分を、四重極質量分析計(QMS)で、リアルタイム検出する分析装置です。本製品は、測定の効率化、分析チャンバの良質な超高真空環境維持のために必須なロードロックを装備しており、分析チャンバ内の圧力を大気圧にしてから試料をセットする必要がありません。また、QMSの配置により、高感度を実...
メーカー・取り扱い企業：電子科学株式会社
ジルコニア式O2センサー　TB- II VNシリーズ

グローブボックス、真空チャンバー等、サンプリングの困難な小型密閉容器や…

エコアゼットTB- II VNシリーズは、検出器に安定化ジルコニアセラミックスを使用したO2センサーです。真空装置用として多数の実績があるＴＢ－ II Ｖシリーズを改良し、応答性を飛躍的に向上させました。グローブボックス・真空炉の他、サンプリングの困難な小型密閉容器、配管に直接挿入します。1×10-3Pa（1×10-5Torr）の減圧下でのO2分圧測定が可能です。シンプルな構造のため、メンテナンス...

メーカー・取り扱い企業：第一熱研株式会社
真空装置『ガス採取装置』

希少サンプルを5系統以上に分配可能な真空装置！

『ガス採取装置』は、ガス分析を目的として、希少サンプルを超高真空とPLCソフトの技術でバルブ制御し、不純物の無い超高真空容器に 5系統以上に分配できる真空装置です。ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。【仕様】 ■ガス分析系：高精度四重極質量分析計　2台搭載 ■サンプルガス分配：5系統（容積確度±5％） ■バルブ開閉：モーター駆動／PLC制御（モータートルク、開閉...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイブイシー
セミ・マニピュレーター『KSM-70-50Z』

超高真空領域まで使用可能！X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを…

『KSM-70-50Z』は、中空構造のXYZ機構を本体としたセミ・マニピュレーターです。ベローズに工夫をこらしていることで、X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせており、Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。接続フランジがICF-152のタイプをの場合、接続フランジ上部に設置された 6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
平板型赤外線加熱炉　IR-FP Series

赤外線集光加熱により秒速・高温・均一加熱が可能です。お客様のニーズに合…

「IR-FP Series」は、Max1100℃まで加熱可能な平板型の赤外線加熱炉です。各ゾーンごとの出力調整が可能なため、色々な温度環境での加熱が可能です。クリーンな加熱で真空対応やガスフロー、観察も可能です。シリコンウエハ、化合物半導体及び薄版鋼板加工の加熱に最適です。樹脂やフィルム、接着剤の耐熱・変形・観察の用途に使用できます。試料サイズにより炉サイズの対応が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社米倉製作所
超高真空エバポレーター UEシリーズ

コンパクトな多元蒸着源

超高真空中で試料表面に微量の金属または有機物を蒸着できる多元蒸着源です。オプションでシャッターや膜厚測定機能を追加できます。 <特長> ・コンパクトかつコストパフォーマンスに優れたルツボ式3元または4元蒸着源・多元高温用エバポレーター (温度範囲700°C～1700°C）UE-103C/104Cシリーズと多元エバポレーター (温度範囲150°C～800°C) UE-203C/204Cシ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ユニソク
お持ちの顕微鏡で《最高1500℃》高温その場観察【IR-TPS】

コンパクトに設計された高温加熱観察装置です。お持ちの顕微鏡、マイク…

IR-TPSは、”高機能とローコスト”の相反する事を追求して完成した顕微鏡用高温ステージです。標準構成はもとより、高品質オプションで高度なシステム機器が構築できます。精密な温度制御と空気中・不活性ガス中・真空中の雰囲気下で、材料解析等の研究や品質管理等にご利用いただけます。【特徴】 ○赤外線集光で試料だけの秒速高温均一加熱（1500℃まで60秒以内） ○クリーン加熱で省エネ ○メンテナンス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社米倉製作所
ポータブルミニサンプラー LYSAM-MN　レンタル

一定間隔で自動採水！面倒な水質測定が楽になる省スペース設計の水質測定…

※※こちらの製品はレンタル取り扱いを終了いたしました。代替提案のご相談は「お問い合わせ」へお進みください※※ ※※(商品によってはご案内が難しい場合もございます。予めご了承ください)※※ 『LYSAM-MN』は、任意の間隔で自動サンプリングできる真空式採水方式採用のポータブルミニサンプラー。容量500ミリリットルのボトルで24回まで自動採水できるので、今まで面倒だった時間ごとのサンプリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レックス
高速高温加熱装置『IR-HP2-18』

最高加熱温度1400℃！金属やセラミックスの高速昇温、加熱・冷却サイク…

『IR-HP2-18』は、ハロゲンランプ光の集光・反射により最高1400℃の非接触加熱に対応した高速高温加熱装置です。標準型のIR-HPシリーズの炉体はそのままにハイパワーランプを使用し昇温性能と最高温度を大幅に向上させています。 100mmの大型試料ホルダーを標準装備し、Φ70mmの試料サイズに対応。内部密閉構造のため、真空中、ガスフロー中での加熱にも対応でき、セラ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社米倉製作所
アスベスト前処理に最適な低温灰化装置JPA301型

メンブランフィルターや建材の灰化を無人で処理します。

JIS規格にも採用されているアセトン蒸着後の灰化により分散染色法に対応しした灰化装置です。装置はSTARTボタンで最適なチューニングを行い、無人でプラズマ処理～大気開放まで行います。さらに建材中に含まれる有機物を原子状酸素レベルで灰化し取り除くことでアスベスト同定に威力発揮します。...JPA301仕様 ●チャンバー部チャンバーのサイズ部：内径153mm　長さ250mm チャンバーの材...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェイ・サイエンス・ラボ本社
小型VUV分光器『RadiMo-DP，SP』

コンパクト設計！波長帯域は115-200nm、さまざまな応用にお使いい…

『RadiMo-DP，SP』は、RadiMo用に開発した小型真空紫外分光器です、真空紫外分光用途に単独でもご使用できます。従来の同レベルの波長分解能を持つ真空紫外分光器よりも体積比で1/3もコンパクトになりました。また、波長走査用ドライバ、光電子増倍管用高電圧電源、光電子増倍管用プリアンプは、19インチラック対応の制御ボックスに収められています。【特長】 ■R...

メーカー・取り扱い企業：株式会社片桐エンジニアリング
高温観察装置　IR-QP1-4、QP2-4

1700℃まで高速加熱が可能で、保持もできます！

「IR-QP1-4」、「QP2-4」は、サンプルのみの集光加熱により、1700℃までの加熱が可能な高温観察装置です。ハロゲンヒーターにより、わずか4kW（8kW）の低電力で1000℃/min以上の高速加熱を実現します。観察窓を設ける事により加熱中のサンプルの状態を観察することができます。120W×115H×282（382）Lｍｍ（突起物を除く）のコンパクトサイズで、場所を取らずに加熱が可能です...

メーカー・取り扱い企業：株式会社米倉製作所
No.633 PVT測定装置『P-V-Tテストシステム』

溶融樹脂の圧力(P)－比容積(V)―温度(T)の関係を測定する装置で、…

●少量サンプル(約1.5ml)で測定が可能 ●加圧システムに空気圧方式を採用しているので、高速負荷が可能で、取り扱いが容易 ●真空脱泡装置によりサンプルセット時に空気の巻き込みを防止 ●サンプル注入、掃除などの機構が標準化 ●サンプルセット後は測定終了まで完全自動化測定（最大10試験の自動測定） ●熱硬化性樹脂用の専用ソフトウェア付属 ●電子メールによるお知らせ機能（測定終了時、エラー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東洋精機製作所
表面分析装置『超高真空表面構造分析装置』

金属薄膜作製に好適なEBエバポレーターなどを搭載した表面構造分析装置！

『超高真空表面構造分析装置』は、半導体やモデル触媒等における LEED回折像、オージェ分析、昇温脱離分析が行える表面分析装置です。分析計にはLEED/AES質量分析計を搭載しており、金属薄膜作製に適した EBエバポレーターなどを装備しています。ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。【仕様】 ■表面分析系：LEED/AES ■蒸発源：超高真空エバポレーター「AE...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイブイシー
ハイパフォーマンスプロセスガスモニタQulee HGMシリーズ

各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応【ア…

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計Qulee シリーズのハイエンドモデル機“Qulee HGM”です。 2.5 × 10-6A/Pa（ファラデーカップ）という高感度を実現、各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。【仕様】 ○電源電圧　DC24V±10% 50W ○質量（センサユニット/分析管）　2.4kg...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.