パワーモジュール材料評価システム　ASU/PM-Lifetime

PR次世代パワーモジュール実装材料の実装後の信頼性を、統計的シミュレーショ…

ASU/PM-Lifetimeは、パワーモジュール実装信頼性評価を効率的に行うためのシステムであり、材料開発やモジュール設計を強力に支援します。 本システムでは、温度サイクル/パワーサイクル試験時の接合材やワイヤボンディングの寿命評価や、実装信頼性に対するモジュール寸法や材料物性などの因子の影響度を評価することができます。パワーモジュール評価専用にユーザーインターフェースが整えられているため扱い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社先端力学シミュレーション研究所

Maku ag社 Tダイリップ自動調整ロボット

PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…

Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット（アクチュエータ）が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のＴダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Ｔダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

ソーラーリサーチ研究所の非接触搬送装置：フロートチャックSAC型

オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型…

ベルヌーイ効果・エゼクタ効果・コアンダー効果を持つベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」の新機構を採用したオーダメイドの「ベルヌーイチャック・非接触搬送装置」製作いたします。 新機構：非接触搬送装置「フロ－トチャックSAＣ型」には吸引力を生じるエゼクタ効果を高めるためにコアンダー効果を付加させました。 ベルヌーイ効果と併せて高効率、気体消費量の少ない非接触搬送装置です 新方式「気流垂...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ELID搭載　切断機「ワン・ツー・カットIII型」理学・工学研究

≪ 第12回中小企業庁 長官賞受賞 ≫ マルトーと理学研究所の技術指導…

マルトー社と理学研究所の技術指導者により開発された 高精度な切断機 ■□■特徴■□■ ■切断および研削砥石にELIDを行う事により、常に一定の砥粒の突出量を得ることができ、安定した研削が可能 ※ELIE...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

超音波の音圧測定解析システム（オシロスコープ100MHzタイプ）

超音波の測定解析が容易にできる 超音波テスターＮＡ（オシロスコープ1…

超音波システム研究所（所在地：東京都八王子市）は、 超音波の測定解析が容易にできる 超音波テスターＮＡ（オシロスコープ100MHzタイプ）を開発しました 特徴（標準的な仕様） 　　＊測定（解析）周波数...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

『アビコ技術研究所 製品群』

超精密機械技術をご提供！お客様のニーズに合わせた高品質な製品を多数ご用…

アビコ技術研究所では、分解能10ナノ、回転精度40ナノの超精密機械をはじめ、 単結晶ダイヤモンドの自動研磨装置などの超精密機械技術を提供しています。 未経験者でも研磨ができる万能ダイヤモンド研磨機「ND-...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アビコ技術研究所

複数の異なる「超音波振動子」を同時に照射する技術・装置

超音波を＜超音波ダイナミックシステムとして＞とらえ、解析と制御を行いま…

超音波システム研究所は、 複数の異なる周波数の「超音波振動子」を利用する技術を応用・発展させ ました。 今回開発した応用技術は 　定在波の制御により、キャビテーションと加速度の効果を 　具体的な伝搬周波...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング 装置を納入した事例を紹介させていただきます。 今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード ロック室(LL室)、真空排気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【株式会社金属被膜研究所】ステンレス電解研磨

研磨量を精密にコントロール！微細穴の内面まで電解研磨を施す事が可能！

態皮膜を形成する事が可能で光沢が良い ■グリーン調達基準をクリアしている(6価クロムが存在しない) ■部分的な電解研磨も可能 ■真空梱包ができる ※当社のグループ会社の株式会社金属被膜研究所の事業のご紹介となります。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三栄精機工業

精密加工機械　ＮＣ円テーブル／研磨機

アビコ技術研究所のＮＣ円テーブル／研磨機を紹介します。

株式会社アビコ技術研究所は、超精密CNC機械・装置の開発、製造、ダイヤモンド工具のナノ研磨技術、CNC研磨機、超精密加工を基軸とした最高水準の技術をご提供いたします。 ゼロテーブル210は、バックラッシュの無いNC円テ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アビコ技術研究所

気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」

気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「…

ソーラーリサーチ研究所にて発明開発した気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績をもとにオーダーメイドにて製作します。 ・ウ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

超音波システム１ＭＨｚタイプ

市販のファンクションジェネレータを利用したシステム

超音波システム研究所は、 超音波の発振制御が容易にできる 「超音波発振システム（１ＭＨｚ）」について、 　タイマー制御により応用する方法を公開しました。 具体例 １）機械加工油へ、夜間に超音波照射で加工...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

気体垂直噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」の理論解析

気体垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」を理…

非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」理論計算式 本計算式は（有）ソーラーリサーチ研究所で開発した非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ-Ｃ型」（特許）の理論計算式である。 「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」の概要を以下に示します。また、仮定として（１）部材との隙間は「フロートチャックＳ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…

ソ－ラ－リサ－チ研究所では、5.0ｍｍ□～ 微小ワークのチップを非接触にてチャックし 搬送する「クリーンルーム対応小型ベルヌーイチャック」を 開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及び...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

プラズマCVD装置

パワーデバイス、LED、MEMS等の量産で多数の実績がある装置です。

膜質の制御範囲が非常に広く、様々なお客様の求める膜質に対応します。また、化合物ウエハや特殊ウエハなど、従来の装置では問題があった安定した自動搬送を実現し、歩留まり向上に貢献します。当社では、お客様のご要望を出来るだけ装置に反映するため、装置毎のカスタマイズを積極的に行います。社内にデモ機を常設していますので、お気軽にご相談ください。...当社の装置は1回の処理で複数枚のウエハに成膜を実施する、バッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本生産技術研究所

微小ウエハチップ非接触チャック

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、トレーに収納します。 　　　　　 　　 搬送...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。　クッション室に生じるエゼクタ効果に...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 「微小物の非接触搬送装置」は、空気を基板に向...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体垂直気体噴流方式のベルヌーイチャック

空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。「フロートチャック」は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

万能ダイヤモンド研磨機『ND-10』

あらゆる研磨方向に対応可能な万能ダイヤモンド研磨機！単結晶ダイヤモンド…

『ND-10』は、ダイヤモンドのチッピングレス研磨に最適な研磨機です。未経験者でもダイヤモンド研磨が可能で、様々な研磨方向に対応できます。スカイフ板（ダイヤ砥石）振動の無い研磨環境でチッピングレスを実現しました。また、ABICOスコープにより、機械上で工具の形状検査が可能です。 【特長】 ■未経験者でもダイヤモンド研磨が可能 ■様々な研磨方向に対応 ■NCによる自動研磨が可能 ■ダイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アビコ技術研究所

超細1.4ｍｍｘ長55ｍｍの極細・長尺ワーク用ベルヌーイチャック

幅1.4ｍｍｘ長さ55ｍｍの極細・長尺ワークを 非接触にて搬送するベ…

超細・長尺ワ－クを非接触吸引するため新方式： 気体垂直噴流方式（VGF方式)を採用。 ベルヌーイチャック「フロートチャックSA-CL型」シリーズは極細・長尺ワ－クを効率良く吸引するため新しく気体垂直噴流方式（VGFS)を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることにより、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

スプレーコーターによる機能膜形成加工サービス

機能薄膜コーティングのソリューションを提案。　　　　　　　　　　　～薄…

ります。凹凸・立体（３D）形状に対しての塗布に問題があり、お困りでしたら是非ご相談ください。 お客様の「レンタル試作課」として日々活動をしています。 また特殊コーティングで、つくば産業技術総合研究所様や神奈川県産業総合研究所様、横浜国立大学様や信州大学様と連携をしています。またテーマを頂き様々な業界に数多くの研究・開発試作の支援をしています。 現在、慶応藤沢SFC-IVで活動をしています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

化合物半導体ウエハ用非接触ピンセット

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非…

◎特徴 １．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 ２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/4ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/2ウエハ ...高温化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）をベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」（特許）に気体供給のＯＮ－Ｏ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

バイアススパッタリング装置『SPR-014-B』

良好な絶縁膜形成を実現するバイアススパッタリング装置！

『SPR-014-B』 は、基板側にバイアスを印加しながら スパッタリングを行い、絶縁層用の成膜が可能なロードロック式 バイアススパッタリング装置です。 ピンホール密度が低く、良好なステップカバレージ性を備えた 良好な絶縁膜形成ができます。 【特長】 ■低いピンホール密度 ■良好なステップカバレージ性 ■次の電極層に有利な平坦性 　・排気系はドライポンプと磁気浮上型TMP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本シード研究所

非接触シート・フィルム積層装置

送られてきた偏向板・フィルム・シートを非接触、高速、精度積層する

１．　特徴 　ａ．非接触にて積層・段積みする ｂ．フィルムに傷・汚れを付着させない ｃ．高速である。 ｅ．クリーンである。 ２．適応 　ａ．偏向板 ｂ．ＦＰＣ ｃ．プラスチック板 ｄ．光輝金属板 ...送られてきた偏向板・シート・フィルム・紙・不織布を非接触にて、精度よく揃えて集積する装置です。 　非接触搬送装置「フロートチャック」にて構成される保持装置と、ワーク進行と同調...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

化合物半導体ウエハ用非接触搬送装置「ＳＡＧ（ＩｎＰ）型」

化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を気体供給操作を行い、ウ…

◎特徴 １．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 ２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/4ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/2ウエハ ...高温化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）をベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」（特許）に気体供給のＯＮ－Ｏ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

研磨技術『SiC ウエハー』

革新的研磨技術を確立！短時間・低コストで究極の面粗さとTTVを実現しま…

立しました。 SiCは大変優れた材料特性から、次世代パワーデバイス材料として有望視 されていますが、研磨プロセスのコストが障壁となっていました。 そこで当社では、東北大学多元物質科学研究所との共同研究、産業技術総合 研究所のご指導の下、自社独自の研磨技術を開発し、短時間・低コストで ウエハー品質（粗さ・TTV）を実現することに成功しました。 【特長】 ■東北大学多元物質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ティ・ディ・シー

金属蒸着装置『ESE-09』

容易に基板セットや蒸着用試料補充と交換が可能！大規模集積回路用の装置で…

『ESE-09』は、高真空領域での使用を目的とした抵抗加熱式の蒸着装置です。 アルミ蒸着も想定してBNコンポジットの選択が可能。また、チャンバ開閉は 上下分割駆動式で、ウェハを公転させる機能を装備しています。 なお、排気系はドライな真空状態を得るために、磁気浮上式広帯域 ターボ分子ポンプとドライポンプの組み合わせによる排気システムです。 【特長】 ■基板サイズ　6インチ ■蒸着源は抵抗加熱式...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本シード研究所

スルーホール基板・ＦＰＣ基板の移載装置

穴あきセラミック基板・ＦＰＣ基板を穴の位置に関係なく非接触にて移載可能…

１．スルーホール穴あき基板、フィルム基板　吸着可能 ２．基板の大きさ、穴の位置に関係なく吸着可能 ３．段積み基板を１枚ずつ吸引 ４．吸着器の段取り替えが不要 ５．傷、汚れパッド跡を付着しない ...段積みされたプリント基板、スルーホール基板、ＦＰＣ、フィルム、セラミック基板を穴の位置、基板の大きさに関係なく１枚ずつ非接触にて搬送。基板に向かって気体を噴出することにより、ベルヌーイ効果による...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

超精密加工部品

単品の特急加工部品を確実に短納期でお届けします

・お見積は速やかに提出いたします ・特急加工は持ち回りで停滞時間を無くします 　加工、熱処理、表面処理、研磨、検査工程等 ・材料最大サイズ 　丸棒：Φ400mm x L1000mm 板材：1500mm x 800mm ・精度：公差1000分台、鏡面仕上げRa0.08 ・主な材料 　ステンレス鋼、特殊鋼（SCM、SK等） 　鍛鋼、鋳鉄（FC、FCD） ...生産活動はコロ...

メーカー・取り扱い企業： 合同会社樋口経済企画研究所

ABICO　５軸テーブル

繰り返し制度±0.0005deg(実測値)バックラッシュのない機械構造…

繰り返し制度±0.0005deg(実測値)バックラッシュのない機械構造で超精密な加工精度を追求します。 その他、顧客ニーズから生まれた各種ＣＮＣ加工装置、5万回転のHSKスピンドルや バックラッシュゼロのゼロテーブルも製品としてラインナップしています。 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アビコ技術研究所

PSD位置認識装置　ＰＳＤセンサー

半導体位置検出素子といい、スポット状の光の位置を検出できる光センサーで…

ＰＳＤセンサーは非常にシンプルな動作によるものですから、応答性が非常に速く、信頼性の高い位置認識ができるものです。 ...【特徴】 ○分解能が非常に高い ○精度の高いセンサーとして色々な展開ができる ○一次元ＰＳＤセンサーと二次元ＰＳＤセンサーがあります ●その他機能や詳細については、お問い合わせください...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社豊中研究所