クーラント廃液 超省エネ減容化装置【産廃量1/20に削減！】

PRクーラント（水溶性加工油）廃液の95％以上減容化を実現！産業廃棄物処理…

NC旋盤やMCなどを用いた金属加工工程をお持ちの製造業様でのクーラント （水溶性加工油）廃液の削減事例になります。クーラント廃液を産業廃棄物 処理しているため、環境負荷およびコスト削減を実現したいという課題を 抱えていました。ヒートポンプサイクルを利用した超省エネ減容化装置を 利用する事で大幅に廃液を削減しました。 【事例概要】 ■課題 ・クーラント廃液を産業廃棄物処理しているた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンアップ

ポータブル元素分析装置『MH-6000A』【設置工事不要】

PR＜液体の濃度変化にタイムリーに対応＞設置工事不要のため【現場分析/即時…

『MH-6000A』は、液体の濃度変化をタイムリーに管理したい場合や、 現場分析する際にお勧めのポータブル元素分析装置です。 ◇活用現場事例◇ ◎非鉄金属精錬 ◎金属表面処理 ◎飲料製造 ◎水耕栽培 ◎発酵・培養 etc... 小型で工事不要のため、分析ニーズのある場所に配置が可能。 即時分析ができ、DX化に寄与。 また、波長帯と分解能の調整もでき、アルカリ溶液の測定も可能です。 ガス配管...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロエミッション

各種金属・合金・セラミックに対応！『超微粒子・ナノ粒子製造装置』

無公害でローコスト！超微粒子の発生速度を上げ、効率よく補修！※特許出願…

『超微粒子・ナノ粒子製造装置』は、強制蒸発現象を利用して超微粒子の発生速度と発生量を増やし、さらに効率よく補修できる製品です。 超微粒子の発生部と捕集部はパイプで連結された閉鎖型で、さらに強制蒸発用の...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

超高真空フランジ(真空部品)『ICFフランジ』

シール用ガスケットは銅板製で超高真空用特殊処理を採用！オス・メスなしの…

当社では、超高真空フランジとして『ICFフランジ』を取り扱っています。 当製品は、メタルシールフランジで、現在知られている超高真空用 フランジの中では特に信頼性が高く、取り扱い方法も簡単。 専用の...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空バリアブルリークバルブ

全金属製で450℃までのベーキングが可能！広範囲にわたりガス流量の調節…

『超高真空バリアブルリークバルブ』は、導入ガス流量の調節を 必要とする真空装置に使用する製品です。 調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下と きわめて微少流量領域からの...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『超高真空ビューイングポート』

広く鮮明な有効視野！透過率の変化や変色が少なく優れた耐放射線特性があり…

『超高真空ビューイングポート』は、真空容器内を外部より観察するための のぞき窓です。 コバールガラス、または合成サファイアとコバールを封着したものを ICFフランジに溶接しているので、10^-...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

シエンタオミクロンSPM（走査型プローブ顕微鏡）超高真空排気装置

走査型プローブ顕微鏡用の様々な超高真空排気装置をご用意しております

各種SPM用超高真空排気装置、ボルトオン型SPM用超高真空排気装置（後日前処理室拡張可能／試料前処理室付き）、LT-SPM用超高真空排気装置（試料前処理室拡張可能）、Cryogenic型SPM用超高真空排気装置な...

メーカー・取り扱い企業： シエンタ オミクロン株式会社

超高真空導入機、ゼロレングス覗窓

UFC フランジを使用した超高真空対応の各種導入機です。【アルバック／…

UFC フランジ（ナイフエッジ型メタルシール方式の超高真空対応のベーカブルフランジ）を使用した超高真空対応の各種導入機です。 CMS シリーズは電流・電圧、TDU シリーズは回転運動、TSU シリーズは直線運動を大気側から超高真空容器内に漏れなく導...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU

超高真空仕様ターボ分子ポンプ

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

超高真空対応トランスファーベッセル (UHVスーツケース)

コンパクトで軽量化されたモジュール式ポータブルシステム！

Ferrovac社製の『UHVスーツケース』は、様々な構成に対応しており サンプル表面を清浄に保持しながら超高真空及び極低温環境下での保管や 搬送、装置間の移送等が可能なモジュール式ポータブルシステムです。 NEG（非蒸発型）ゲッターポンプと小型イオンポンプを融合させた 超小型高性能UHV用コン...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

超微粒子・ナノ粒子製造装置

対象材料は、各種金属・合金・セラミックなど広範囲！乾式なので清浄なナノ…

『超微粒子・ナノ粒子製造装置』は、水素（アルゴンとの混合）や 窒素などのガス雰囲気中で、材料をアーク溶解することにより強制的に 蒸発させ、超微粒子・ナノ粒子を作製することを目的に開発されました。 ...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

超小型・超軽量エジェクタ　小型真空発生器VUM

狭いスペースでの取付けに最適な、外径φ8.5mmの超小型真空発生器

従来型インラインタイプ真空発生器に比べ、外径で約35%のサイズダウンに成功しました（当社比）。小型・軽量で省エネ、省スペースに対応したインラインタイプ真空発生器です。 ...【特長】 ・小口径ノズル（φ0.3、φ0.4mm）タイプは、低消費流量を実現しました。 　また従来からのノズル径φ0.5mmもラインアップ。 ・真空ポート オネジタイプは、パッドホルダーへの直付けも可能です。 ・専用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

超高真空対応除震システム（フランジ）　ＶＩＢＲＡＴＩＯＮ　ＩＳＯＬＡＴＯＲ

超高真空対応除震システム（フランジ）　ＶＩＢＲＡＴＩＯＮ　ＩＳＯＬＡＴ…

表面分析、精密加工などの装置に付いているターボ分子ポンプの振動を10：1と軽減させることのできる『バイブレーション　アイソレーター』を是非、お使いください。 【特長】 ●超高真空対応です。 ●耐熱温度は250℃です。 ●振動を10：1と軽減できます。 ●ＣＦフランジ、ＩＳＯフランジ対応です。 ●コンパクト設計で取付も簡単です。 ●成形ベローズを使用し、有効内...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

超高真空フランジUFCシリーズ

ISO3669-1986に準拠した超高真空対応のベーカブルフランジです…

UFCシリーズは、アルバック独自のナイフエッジ型メタルシール方式のISO3669-1986に準拠した超高真空対応のベーカブルフランジです。 UFCフランジを使用した各種フィッティング、銅ガスケット、ボルトセットなども各種取りそろえています。 【仕様】 ○使用圧力領域　大気圧～ 10^-11...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

第17回"超"モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」を受賞！

17年連続受賞！半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ…

『"超"モノづくり部品大賞』とは、日本のモノづくりの競争力向上を支援 するため、モノづくり日本会議様と日刊工業新聞社様が実施されている、 「産業・社会の発展に貢献する部品・部材を対象に選出している」賞...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

真空ポンプリザーバ超高速排気システム『エコバックシステム』

連通する時間はわずか10秒！アイドリング中にリザーバを排気するシステム

『エコバックシステム』は、真空ポンプのアイドリング中に複数のリザーバを排気する超高速排気システムです。 ポンプのアイドリング中の電気を有効に活用することができます。 大気圧⇒1kPa(7.6Torr)まで10秒以内、ポンプを追加することなく装置にアドオン／複数の装置で共用可...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

シエンタオミクロン　複合型分析装置

様々なタイプの複合型分析装置をご用意しております

角度分解分析用超高真空排気装置、HREELS用超高真空排気装置、MBE用超高真空排気装置、複合型分析用超高真空排気装置、UHV NANOPROBEなど、様々なタイプの複合型分析装置をラインナップ。 また、大型複合...

メーカー・取り扱い企業： シエンタ オミクロン株式会社

超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」は、新開発のファイバー式光学モニターの採用や、安定した温度制御が可能な80点モニターガラス機構を搭載することで設計通りの特性が得られる高精度を実現しました。 徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。 【特徴】 ○高効率排気システム ○低パーティクル仕様（オプション） ○高精度膜厚制...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

超高真空バルブの世界市場シェア2023 YH Research

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル超高真空バルブのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を10月17日に発行しました。本レポートでは、超高真空バルブ市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

Airpel（エアーペル）エアーシリンダー

業界最高0.0015MPaから駆動可能な複動形エアーシリンダー！超低出…

Airpel（エアーペル）エアーシリンダーは、Airpot社がエアーダンパーで培った技術と経験の集大成として開発した複動形超低摩擦シリンダーです。 パイレックス(R)ガラス製シリンダーとカーボングラファイト製ピストンの超精密嵌合がシールを不要とし、超低圧入力でのスムーズな駆動を実現しました。 また、超低速、超...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エッチ・ケー・エスジャパン

Airpot（エアーポット）ピストン/シリンダーセット

カーボングラファイト製ピストンとパイレックス(R)ガラス製シリンダーを…

Airpot（エアーポット）ピストン/シリンダーセットは、カーボングラファイト製ピストンとパイレックス(R)ガラス製シリンダーをセットにした超精密空圧機器です。 Airpot社独自のテクノロジーであるピストンとシリンダーの超精密嵌合が生み出すスムーズモーションを、自由な発想でさまざまなアプリケーションにご利用いただけます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エッチ・ケー・エスジャパン

クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミニチ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空レギュレータ

超高感度な真空レギュレータ。大気圧近辺の低真空域も確実に制御

ー製品は複ダイアフラム式構造で、適正な面積と柔軟な素材により感度特性は31Pa～127Paと超高感度です。 ー当製品は分析装置サンプルガス導入系制御、搬送系制御や各種試験装置、半導体製造装置及びタイヤ工場における加硫機制御等様々な用例にご利用頂いております。 ー使用方法は二種ございます。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

真空導入機構『トランスファーロッド／回転導入器』

超高真空対応で回転防止機構のあるトランスファーロッドや、ベローズ式回転…

超高真空対応（ベアリング軸受け）の「トランスファーロッド」をはじめ、 コンパクト設計で非磁性構造の「ベローズ式回転導入器」や、シャッタ機構 に適した「磁気結合型回転導入器」をご用意しております。 【ラインアップ】 ■トランスファロッド「HFTR-300/450/650」 　・超高真空対応（ベアリング軸受け） 　・回転防止機構/遠隔操作機構（オプション） ■ベローズ式回転導入器「HBR-...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

油拡散真空ポンプ

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポ…

【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が容易に行える ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

チタン合金製真空コンポーネント

既存の真空チャンバー、真空部品をチタン合金製に変えてみませんか？

チタン合金を真空チャンバーや真空部品の材料に用いることにより、非常にガス放出の小さい真空システムを可能にする技術を開発いたしました。これにより素早く、簡単に超高真空/極高真空を得ることが可能になりました。 チタンはもともと真空への応用に適した素材です。軽量、完全非磁性、低熱膨張率、低熱容量、などなど多くの利点を有しています。我々の技術は、この本来優れた...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

電子ビーム真空蒸着装置

メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上！

系はTMP80L/secとRP50L/minの組合わせで、 　全て電磁バルブを使用した全自動排気系 ■到達圧力は液体窒素トラップ無しで10-5Paに入る ■メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

装置もご用意しております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ＜真空成膜装置＞ ■装置の拡張性を考慮 ■経済性なシステムとなるよう設計 ■簡易・小型のものから1mを超えるターゲットサイズも対応 ■実験から生産まで幅広い分野で実績あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

HVA社高真空・超高真空バルブ

高品質・コンパクトな高真空バルブ

HVA社の高真空バルブ・超高真空バルブは、半導体製造装置をはじめ、研究機器など様々 な分野に対応する多種多様のゲートバルブ、スリットバルブを取り揃えております。...

メーカー・取り扱い企業： ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター

ワイドレンジ真空計　CC-10

大気圧から超高真空まで、1台の真空計で連続して自動計測できます。

CC-10ワイドレンジ真空計は、大気から超高真空までを一つの真空計で連続して自動計測できます。 従来、荒引き用と高真空用のそれぞれの真空計に加えて、チャンバーを大気に戻す(パージ)ための真空スイッチ(大気圧センサー)を使用して別々に測定し...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

　非蒸発型ゲッターポンプ　マジックNEG

残留水素でお悩みの方に！

BeCu合金を使った熱陰極ゲージの低ガス放出化技術製品を弊社ではマジック 商品と称したことから、同系列の本NEGポンプをマジックNEGポンプと命名しました。 マジックNEGポンプの最大の魅力は、 超低価格のCF70タイプおよび、 114タイプをご提供可能なことです。 消耗品としてご購入いただける金額ですので、 NEGを初めてご使用される お客様にもお試し頂けます。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

廉価版ナノ粒子製造装置『UFP-AT-300SS型』

超微粒子・ナノ粒子を手軽に製作可能！リース対応もＯＫでリーズナブル！

当社では、真空ポンプをはじめとして、ナノ粒子（超微粒子）製造装置、真空バルブなど 真空部品など真空装置、真空計を取り扱っております。 今回ご紹介した「超微粒子・ナノ粒子製造装置」のほか、 下記の様々な製品を取り揃えております。詳細はお気...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

真空対応超薄型台はかり　PLPV

真空環境対応型台はかり！

各種真空機器使用分野での計量...カスタムメイドも対応しています。お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 東洋測器株式会社

クライオポンプ

よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域

必要不可欠な「超高真空」 半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広...

メーカー・取り扱い企業： ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター

小型真空デバイス（水エゼクター）　ヴァッカス（VACCHUS）

真空装置のダウンサイジング実現！真空ポンプ不要、液流だけで高真空を発生

ス」は、真空ポンプ不要で液流だけで高真空を発生させます。 吸込周量0.1m³/min以上の少量の真空源として最適です。 用途は脱気、蒸留、冷却、乾燥など様々です。 【特長】 ・真空装置の超小型化 ・省電力 ・耐久性 ・安全性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニクニ 本社、本社営業部、大阪営業所、名古屋営業所、福岡営業所

デバイスネット対応マスフローコントローラ　MC-5000L

デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラで…

の単電源動作 ○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.) ○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許） ○コネクタ方式（横・上）選択可能 ○完全デジタル操作 ○超高性能1.125インチ幅 ○面実装ガス　インターフェイス対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』

高真空～超高真空装置搭載に好適！最大4ヶのオプションボード取付け可能で…

データ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ（オプション）のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表示形式 ■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示 ■圧力レンジは自動切換 ■豊富な外部制御機能により完全な遠...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『真空スイッチ』

大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能！各種真空系の制御信…

【特長】 ■単極双投接点を備えている ■作動圧力の上限または下限において、ON・OFF2点制御信号が得られる ■真空側はすべてSUS-304を使用 ■大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『直線導入機』

構成部品はすべて非磁性体！真空側と大気側をベローズで完全に遮断したベロ…

『直線導入機』は、真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、 圧力が10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。 オールメタルなのでハードベークが可能。超高真空系に適しています。 ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中での リークの心配がありませ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

回転導入機(磁気結合型・ベローズ式)

3kg･cmから最高100kg･cmの高トルクタイプのものまで各種ご用…

当製品は、真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が 10^-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。 磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機をご用意。 真空ブレージング接合を採用し、エラストマーシールは一切使用して おりませんので、...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

角型ゲートバルブ（超大型）

角型ゲートバルブ（超大型）

１０世代に対応したバルブです。 安定した性能をもち、納入先のお客様よりご信頼をいただいております。 ...１０世代に対応したバルブです。 安定した性能をもち、納入先のお客様よりご信頼をいただいております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

XGS600　真空計

大気圧から超高真空までの計測が可能！広帯域型の真空計です。

XGS600真空計は色々なタイプのトランスデューサと組み合わせることにより、大気圧から超高真空までの計測が可能です。キャパシタンスダイアフラムゲージによる高精度、耐腐食性の計測もできます。最大12個までのトランスデューサと接続が可能、同時に8個まで表示することができます。8個のセットポ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

新開発：1軸/2軸精密ウォブルスティック

精密ウォブルスティックは、超高真空チャンバー内の繊細な操作のために開発…

Ferrovac社製の『ウォブルスティック』は、超高真空内でのデリケートで 精密な操作のために特にデザインされており、シャフトの動きが大気圧と 超高真空圧差の影響を受けないので、滑らかに制御が可能です。 ハンドルを放しても、シャフトは同じ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

大型精密石材-エアフローティングガイドレール

大型精密石材-グラナイトエアベアリング/エアーフローティングステージ/…

プライヤーであり、さまざまな産業やニーズに適した花崗岩材料を提供 ■⼤規模・特殊加⼯ ・豊富な花崗岩の在庫を有し、コンポーネントコラム、表⾯パネル、機械ベースを中⼼に 　様々な加⼯を実現 ■超精密加⼯ ・恒温室、恒温ブース、豊富な測定機器を備え、サブミクロン単位の超⾼精度製品の⽣産が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ND GROUP 日本支社

磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG1300M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

超高真空光学実験用チャンバー

日揚科技(Htc)はお客様ニーズに応じて全面的な真空プロセスに対応でき…

日揚科技(Htc)はお客様のご要望に沿った真空チャンバーを製造した豊富な経験があります。真空チャンバーを良く使っている材質はステンレス、アルミ合金、カーボンスチール等です。形状は角形、円筒形、複雑な形状もあります。表面処理はブラスト、研磨、電解研磨等可能です。それ以外、日揚科技も真空装置を組立能力を持ち、真空チャンバーの設計と製造するサービスを延ばして、真空マジュール或いは真空システムが統合できま...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司