高性能・高圧 多用途ポンプ 【プラステコ】 L.TEXシリーズ

PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…

用途によって選べるタイプ！！ ●ポンプ単体（装置組込式）　●制御部一体型 標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ－ポンプです。 当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。 最大流量は 10mL/min ～ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、 研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラステコ 本社

超高圧湿式微粒化装置『ナノヴェイタ NVL-ES』

PR圧力をあげても極力粒子にダメージを与えない構造！クロスコンタミを抑制で…

『ナノヴェイタ NVL-ES』は、乳化・分散・解繊・破砕など様々なシーンに 対応できる、メディアレス湿式微粒化装置です。 数十μmの粒子をナノオーダーにし、特性の向上や新たな特性を付与する 目的で使用されています。 処理条件を数値制御できるためデータ管理が容易で再現性が高いのも魅力。 タッチパネルは操作性が良く、感覚的に操作することができます。 【特長】 ■乳化・分散・解...

メーカー・取り扱い企業： 吉田機械興業株式会社 三重ナノテク生産技術センター

超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」は、新開発のファイバー式光学モニターの採用や、安定した温度制御が可能な80点モニターガラス機構を搭載することで設計通りの特性が得られる高精度を実現しました。 徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。 【特徴】 ○高効率排気システム ○低パーティクル仕様（オプション） ○高精度膜厚制...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

装置もご用意しております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ＜真空成膜装置＞ ■装置の拡張性を考慮 ■経済性なシステムとなるよう設計 ■簡易・小型のものから1mを超えるターゲットサイズも対応 ■実験から生産まで幅広い分野で実績あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

ロールtoロール生産ラインにCMWH超広幅ウェブクリーナー装置

ロールtoロール生産ラインで超広幅装置をご検討のお客様へ

光学系フィルム（PET、TAC、PVA、PVC、PMMA等）の2350mm~3000mmの広幅ウェブでも安定した除塵を実現いたします。広幅ラインで懸念されやすいカーボン芯を使用することにより低慣性、高剛性、軽量化を実現。メンテナンス性等全てを考慮した広幅装置をご提案させていただきます。 ＜コンバーティングの技術領域＞ コーティング技術（ウェットコーティング、ドライコーティング〔蒸着、スパッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤンゴージャパン

微細加工　ニッケル　六角　トリミング加工　微細穴

レーザー微細形状加工：ニッケル六角トリミング加工

ニッケル薄板に六角穴を超短パルスレーザーで、トリミング加工しました。 微細穴に形状をつけることが可能です。 超短パルスレーザーの非熱加工なら、難削材でも細い残し幅で複雑形状でもバリを抑えた微細な加工ができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社光機械製作所 HIKARI LASER LAB.

新開発：1軸/2軸精密ウォブルスティック

精密ウォブルスティックは、超高真空チャンバー内の繊細な操作のために開発…

Ferrovac社製の『ウォブルスティック』は、超高真空内でのデリケートで 精密な操作のために特にデザインされており、シャフトの動きが大気圧と 超高真空圧差の影響を受けないので、滑らかに制御が可能です。 ハンドルを放しても、シャフトは同じ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

化合物半導体用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１６５０ＳＰＢ型）

先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…

従来型よりコンパクトなチャンバに大口径クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。 蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。 実績豊富な６連式...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

環境対応はんだ付材料『次世代表面実装ソルダーペースト』＋装置『鉛フリーはんだ対応エコリフロー炉』

保存・供給安定性、濡れ性、耐熱性等の問題点を解決！次世代環境対応！

だ対応エコリフロー炉　SNR-825】 ドラゴンブローシステム及び最新式フラックス回収機構を搭載!鉛フリーにおける高品質なはんだ付けを実現。 □特長 ・新開発ドラゴンブローシステムにより、超低ΔＴが実現 ・ヒーター毎の温度設定が可能で設定自由度が高いプロファイルが可能 ・最新式のフラックス回収機構を標準装備し、炉内のベト付きがほぼ無し ・気密性の高いマッフル構造で炉内酸素濃度５０...

メーカー・取り扱い企業： 千住金属工業株式会社

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

VISTA株式会社は、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。 TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。 また、蒸着装置...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

分子線エピタキシー（MBE）装置

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

●特徴 本装置は10-8Pa以下の超高真空中に置いた基板を加熱し、基板上に堆積させたい原料を独立に供給して基板上に結晶を成長させる真空蒸着法で、蒸発原料に固体を使用して分子線蒸着源（クヌーセン・セル）により原料の蒸発を行う固体ソースM...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

電子ビーム蒸着『EFMシリーズ』

豊富なラインアップをご用意！有機分子の蒸着への応用が可能な電子ビーム蒸…

トヤマが取り扱う電子ビーム蒸着『EFMシリーズ』をご紹介します。 UHV条件での超高純度サブモノレーヤーから多層薄膜の成膜に特化。 多くの実績のある「EFM 3」の他、イオンビームアシストタイプの「EFM 3i」 大型サンプル用の「EFM 4」など、豊富なラインアップがご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トヤマ

直動形電磁弁

直動形電磁弁

小形４ポート３位置　直動形電磁弁 真空吸着、真空破壊制御に最適 応答時間　２ms 作動回数　５億回超 禁油仕様標準、安定作動、異物トラブル防止 真空・正圧の両用可能、大流量、インターロック回路標準...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

超高真空対応小型電子ビーム蒸着源 「KME-70」

シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。

KME-70は単原子層薄膜作成用に設計された、小型の簡易型蒸着源です。 ロッド状材料もしくはルツボに導入した材料を電子ビームで加熱するため、高融点材料の蒸着が可能です。 シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。 【特徴】 ○シンプルな設計で簡便性を重視 ○フラックスレートモニタリング用電極付 ○手動式シャッター機構を標準装備 ○ロッド状材料とルツボのどちらも...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

ミニチュアエバポレータ

UHV対応の小型蒸発源です。モノレイヤー単位の蒸着レートで薄膜制御性に…

超高真空対応の小型蒸発源です。電子衝撃加熱蒸発源の一種です。静電場収束によって熱陰極から発生する電子を蒸発材料に照射して蒸発を得ます。磁場収束型の電子衝撃加熱に比較して小型です。モノレイヤー単位の蒸着レートで薄膜制御性に優れる点が特徴です。...

メーカー・取り扱い企業： アドキャップバキュームテクノロジー株式会社

超高温耐熱　O-Ring

超高温耐熱　O-Ring

パロフローウルトラ材料は超高温耐熱での安定性、耐薬品性にすぐれており、超高純度が必要な操作環境用途に合致します。高性能なパーフロロエラストマーです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

単発型電子銃

TELEMARK電子銃シリーズ

単発型の電子銃です。超高真空対応モデル、ルツボ交換やベーキング可能なモデルなど多種多様なラインナップが揃っております。それ以外カスタムも応相談。...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置　Sapio-DBR

LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！

【標準装備】 ○超高速排気系 ○EB-GUN　×2式 ○RFイオンソース ○ファイバー式光学式膜厚計 ○6連水晶式膜厚計 ○ハロゲンヒーター（120℃±5℃内） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

1軸/2軸トランスファーロッド

UHVチャンバー間でサンプルを輸送することを目的とした1軸サンプルトラ…

『RM40』は、超高真空用途向けのシンプルなオールメタルシールの 直線回転サンプル導入機です。 主に、UHVチャンバー間でのサンプル輸送に好適。 空気側と真空側にある希土類磁石のセットは、ハンドルから内...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

コンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』

扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用…

『PAC-LMBE』は、拡張性の高い超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。 基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の いずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。 また、ロードロック...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを…

『MC-LMBE』は、操作性の高いコンパクトな超高真空レーザーMBE（PLD） システムです。 1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニットを搭載。 モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着しています。 また、ロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

アルミハニカムパネル事例集【同じ剛性でアルミの1/5へ軽量化】

アルミの1/5の超軽量！剛性を保ちつつ大幅な軽量化を実現するアルミハニ…

アルミハニカムパネルであれば剛性を保ちながら大幅な軽量化を実現できます。しかも、寸法やロットによっては、従来のアルミや鉄などの加工品に比べてコストダウンも可能です。 【特長】 ■軽量＆高剛性 パネル体積の約9割が空気のため軽量です。アルミ箔製のハニカムコアは「蜂の巣」のように6角形を敷き詰めた「最も少ない材料で最も丈夫な構造」を実現します。 ■コストダウン 寸法やロットによっては、軽...

メーカー・取り扱い企業： モリシン工業株式会社 本社

仕様多様化真空フランジ-「ICFフランジシリーズ」

高真空及び超高真空に対応可能の真空部品

日揚科技(Htc)は供給している真空フランジはKF(NW)シリーズ、ISOシリーズとICFシリーズの3種類があります。ICFフランジシリーズ は製品多様に揃えています。 ICFシリーズフランジを分類すると固定型、回転型、ボルト穴タイプ、タップタイプになっています。また、両側に口径を異なる接続の変換フランジもあります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 .....

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

電子ビーム蒸着装置

ヤシマの電子ビーム蒸着装置はすべてカスタムオーダー。ムダなく、将来の拡…

高融点材料の真空蒸着には電子ビーム蒸着装置が定番です。 弊社では弊社オリジナルだけでなく各社の蒸着ソースに対応します。 電子ビームを安定させる高真空・超高真空の環境を提供します。 基板ヒーター、回転など対応します。 ロードロック仕様に対応します。 シーケンサ・タッチパネルによる手動/自動運転も対応します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

アルミハニカムパネル事例集（機械系）【軽量化＆コスト削減に貢献】

同じ剛性でアルミ板の1/5、鋼板の1/10の超軽量化を実現し、コスト削…

アルミハニカムパネルは体積の約90%が空気であるため大幅な軽量化が可能である一方、6角形の蜂の巣状のハニカムコアが剛性を保ちます。また、軽量化に伴う材料費減の効果により、従来の無垢材、鋳物、溶接、板金などでは実現できなかったコストダウンが追求できます。1品もののオーダーメード品から量産品まで柔軟に対応させて頂いております。御見積のご依頼、製品に関するお問い合わせ、カタログ・事例集・カットサンプルの...

メーカー・取り扱い企業： モリシン工業株式会社 本社

高電圧リレー

高電圧リレー

キロバックの高電圧真空リレーは、その高真空技術により高電圧、大電流切替回路の超小型化を実現しました。 また、スイッチングの高速化、高電圧接点の真空封入による安全設計を特長として、半導体製造装置のDC/RFスイッチングにも最適な製品です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

トランスファーロッド（Ｚ-φ軸　KTLシリーズ）

弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用…

マグネット方式の為、外部との真空封止は完全で、半永久的に安定した動作を得られます。 真空中に取り付けられた直線運動及び回転運度を要する機器への応用が可能です。 本体の内部には、電界研磨処理を施し超高真空領域まで使用可能です。 駆動部のストッパーを使用することで、任意の距離・角度での位置決めが可能です。 オプションとして、回転止め機構や延長ハンドルを取り付けることが可能です。 また、腐食...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

トランスファーロッド（Ｚ-φ軸　KTXシリーズ）

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッ…

マグネット方式の為、外部との真空封止は完全で、半永久的に安定した動作を得られます。 真空中に取り付けられた直線運動及び回転運度を要する機器への応用が可能です。 本体の内部には、電界研磨処理を施し超高真空領域まで使用可能です。 駆動部のストッパーを使用することで、任意の距離・角度での位置決めが可能です。 オプションとして、回転止め機構や延長ハンドルを取り付けることが可能です。 また、腐食...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

ミニチュアエバポレータ

ミニチュアエバポレータ

超高真空対応の小型蒸発源です。電子衝撃加熱蒸発源の一種です。静電場収束によって熱陰極から発生する電子を蒸発材料に照射して蒸発を得ます。磁場収束型の電子衝撃加熱に比較して小型です。モノレイヤー単位の蒸着レートで薄膜制御性に優れる点が特徴です。...

メーカー・取り扱い企業： アドキャップバキュームテクノロジー株式会社

直線型多連電子銃

TELEMARK電子銃シリーズ

直線型フランジマウントタイプ（CF254またはCF304）の超高真空対応の多連電子銃です。3kW～10kW、2～9連まで可能です。それ以外カスタムも応相談。...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社