高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【樹脂成形ラインを小型化/インライン化】超小型射出成形機

PR型締めに独自機構の採用で省スペースでありながら、『コスト削減、生産性向…

超小型射出成形機を使った『ジャストインタイムのものつくり』 車載用電子部品・美容部品の生産ラインにおいて、組立工程の中に成形機を組み入れて自働化、省力化、省人化したいというニーズから当社の小型射出成形機を導入して頂いています。 製品の市場投入におきましては、小回り性を利用し開発段階から製品の市場投入までの期間を削減します。 【機器特長】 ■全電動サーボモーター仕様（クリーンルーム対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メイホー

超高感度 質量分析装置　WATMASS－MPH DAシステム

【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの…

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の 技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。 弊社の超微量ガス分析装置『WAT...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減！一般的な四重…

『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計（質量分析計）です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、 低省費電力化とイオン源の低温化に...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

　非蒸発型ゲッターポンプ　マジックNEG

残留水素でお悩みの方に！

BeCu合金を使った熱陰極ゲージの低ガス放出化技術製品を弊社ではマジック 商品と称したことから、同系列の本NEGポンプをマジックNEGポンプと命名しました。 マジックNEGポンプの最大の魅力は、 超低価格のCF70タイプおよび、 114タイプをご提供可能なことです。 消耗品としてご購入いただける金額ですので、 NEGを初めてご使用される お客様にもお試し頂けます。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

【ウェビナーご招待】デバイスの質量ガス分析

極微少量の「残留ガス」検知で半導体チップや車載センサの劣化防止｜超高性…

。部品の劣化を招く「残留ガス」への対策や品質の要求基準が厳しくなるものの、測定が困難なのが課題です。今回は、最近業界で求められる品質の要求基準を解説し、質量ガス分析装置の基本、東京電子の特許取得済み超高性能「質量ガス分析装置」の実力を事例で紹介します。 □費用 無料（要視聴予約） ※会員登録後「視聴リストに追加」するだけで視聴予約が完了します ▼半導体・電子部品製造特集の視聴...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

極高真空計『3B-Gauge』

X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計

』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。 電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。 【特長】 ■3つの測定限界を総合的に改善 ■10-12...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』

業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現！

析計） (RGA) の技術分野で世界をリードするインフィコン社が、 お客様の真空アプリケーションに適したスタンダード型および、 ハイパフォーマンス型 RGA を提供します。 【特長】 ■超高速データ収集 ■TCP/IP イーサネット接続 ■デュアルフィラメント ■アノード、カソード、リペラーを統合したフィラメントキット ■互換性を備えたセンサとエレクトロ二クス・ユニット（マッ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』

新設計のセンサによるMTBFの向上とランニングコストの削減を実現！

な 障害を回避できます。 また、用途に適したフィラメントを選択できるため、プロセスにより フィラメントの寿命が縮まるような事はありません。 【特長】 ■1ポイント当たり1.8msの超高速データ収集 ■標準校正器（オプション） ■TCP/IPイーサネット接続が可能 ■デュアルフィラメント（2本） ■現場で交換可能な2次電子増倍管 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替え…

当社では、この他にも「極高真空計 3B-Gauge」「超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS」など 極高真空製品を多数取り扱っています。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

低ガス放出・低温化を実現する 0.2%BeCu合金技術資料

従来の常識を破る真空構造材 0.2%BeCu合金 低ガス放出・…

特性として熱伝導率が極めて高く、さらに熱輻射率が低いことから高温にならず、ガス放出を大きく抑えることができます。またベリリウムを含有させることにより硬質になり、銅ガスケットの使用が可能となるため極・超高真空下での使用に適している素材となります。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ

極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアッ…

■極・超?真空の?精度な質量分析 ■表?分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電?刺激によって発?するガス分析 ■微量ガス分析（TDS/Out Gas） ■封?デバイス/MEMSのガス...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

極微小リークの計測方法でお困りで はありませんか？

答えはこちら！極微小リーク検査のソリューションと事例をご紹介！

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の 技術を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。 弊社の超微量ガス分析装置『WAT...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか？

答えはこちら！質量分析のソリューションと事例をご紹介！

『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるようにイオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、 低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

極高真空(XHV)製品『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現

当社では、この他にも「極高真空計 3B-Gauge」「超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS」など 極高真空製品を多数取り扱っています。 【SEMICON Japan 2019　概要】 会期：2019年12月11日(水)～13日(金) 会...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

真空チャンバーの内壁からのガス 放出でお困りではありませんか？

答えはこちら！真空チャンバーのガス放出に対するソリューションと事例をご…

当社では、この他にも「極高真空計 3B-Gauge」「超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS」など 極高真空製品を多数取り扱っています。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社