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17件 - メーカー・取り扱い企業
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PR精度はなんと±0.1%R.S.で最大流量7500L/分!2次標準器とし…
スクリューメータ 容積式流量計「OMGシリーズ」は、流体が直線的に流れる構造ですので一般的なギアー式に比べると格段に圧力損失が低く、流量計内部の負荷も軽減されます。 測定精度は±0.1RS と非常に高く、流量基準器としてもご使用いただけます。 対応流体は、接着剤,シーラー,PVC,ポリオール等の高粘度液体の計測はもちろんのこと、ガソリン,軽油,灯油等の燃料の低粘度液体の計測も可能です。また、豊...
メーカー・取り扱い企業: 日本テスコン株式会社
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PR耐熱最高1,100℃!耐高温、耐摩耗、ケミカル耐性に優れたフレキシブル…
耐熱ホース「CPシリーズ」は最高1,100℃の高温排気ガスに対応可能なフレキシブルホースをはじめ多数製品を揃え、エンジン試験・車両試験・高温炉や鋼管ジョイント部での使用など多様なシーンで活躍しています。...・耐高温性、耐炎性に優れた耐熱用ホース ・スチールガイドをらせん状に編み込み、耐摩耗性の向上(引きずりに強い)を実現 ・独自の技術により、ホースとスチールガイド間の抗張力性の向上を実現(脱落し...
メーカー・取り扱い企業: エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社
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化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…
Siプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。 GaAs用のホットプレートタイプに比べ高温(900~1000℃)まで対応。 窒化膜半導体の電極の合金化に実績。 急速昇降温型の加熱炉を装備し、均一な加熱と最適な温度プロファイルで電極膜のアニールを制御。 生産量・プロセスにあわせて最適...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現!高品質の電極膜を安定して形…
量産用途の蒸着装置として高い稼働率を誇ります。 【特長】 ■信頼性の高い基本構成 ■豊富なオプション機構 ・蒸発源、多連式電子銃(10kw)、抵抗加熱蒸発源、多元同時蒸着機構 ・高温加熱(最高550℃)=3面プラネタリードーム ・基板クリーニング、イオンガン、RFボンバード機構 ・基板ドーム、3面プラネタリードーム、公転ドーム、高温加熱用公転ドーム ※詳しくはPDF...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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目的・コストに合わせて柔軟に対応!大学・公的研究機関や基礎実験用に。
簡易実験型)とも目的・コストに合わせて柔軟な 仕様対応が可能。デモ機を常設し、サンプルテスト対応いたします。 【特長】 ■実績豊富なハードと柔軟なコスト対応 ■目的に合わせた豊富なオプション機構(高温加熱・基板冷却・多元同時蒸着・ 有機物用蒸発源 リフトオフプロセス対応) ■プラズマ電極・RFコイルなどのイオン化機構・プラズマ電極追加対応 ■サンプルテストからハードのカスタマイズ、納入後のフォ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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豊富な実績を誇るベストセラータイプ、高温半田付やペースト焼成・金属粒子…
元雰囲気置換。N2による不活性雰囲気では実現できない低酸素濃度と還元雰囲気処理をコンベア炉による連続処理で実現。 水素雰囲気の還元効果を応用し、通常のリフローでは対応できない高い信頼性を求められる高温半田付や連続還元雰囲気処理熱処理に対応。 各種ペーストの焼成にも実績豊富。 300mmウェハ対応のCtoCタイプでシステムLSIのウェハバンプのリフロー工程もカバー 従来の半田付・ロー付・ペー...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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硬質膜用スパッタリング装置STL5521型(精密レンズ金型用)
最大5元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロー…
最大5元kソードを装備し、5元同時スパッタが可能な専用スパッタ室と重量基板の搬送に適したロードロック機構で金型コーティングに対応。 650℃の加熱とガス冷却機構を併用する特殊基板台を装備。 高温加熱による膜の密着力の確保と処理の高速化を実現。 幅広い材質・形状に最適な膜種・処理温度・プロセスを実現できる硬質膜用専用ロードロックタイプスパッタリング装置...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…
。 基板のトレイ搬送も標準対応、大気側の基板ハンドリングで異種基板の同一装置での成膜・処理を実現。 各用途専用カソード(ワイドエロージョン・強磁性体・酸化物・リアクティブ用)に加え特殊基板機構(高温加熱・磁場印加・冷却等)で幅広い用途に対応。社内デモ機によるプロセステストを基に専用装置を個別設計。 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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シンプル コンパクト 高機能 実験、基礎研究に最適 ユーザーニーズに応…
標準2元の抵抗加熱蒸発源を装備した全手動型蒸着装置。 Φ2~3インチウェハから特殊基板まで柔軟に対応。 蒸発源追加、同時蒸着、基板冷却・高温加熱機構等豊富なオプション 社内デモ機にてサンプルテスト対応...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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研究開発から量産までサポート!
回転での大面積成膜が可能です。 ●タッチパネルによる操作性向上、ロギングシステムによるデータ管理が容易。 【各種 選択機能】 ●カソード変更(大型カソード化、4インチカソード多元化) ●高温加熱機構(800℃) ●バイアススパッタ機構 【ラインナップ】 ●ロードロック式スパッタリング装置 ●マルチチャンバスパッタリング装置 ●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置 ●サイ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…
基板加熱ヒーターを標準装備しており、成膜前の基板のべ―クと共に幅広い用タッチパネルによる全自動操作とデータロギングを標準装備し安定した稼動を実現しています。 オプション類も豊富で基板水冷機構・高温加熱機構・同時蒸着機構・ロードロック機構など実績機構より目的に合わせて選択可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ
も目的に合わせて選択可能でチャンバサイズに合わせて標準型以外の大型カソードも搭載できます。 カソードも膜種に合わせて強磁性体用、コンベンショナルタイプなどの各タイプが選択できます。 その他機構も高温加熱、基板冷却(水冷)、多元同時スパッタなど多くのオプションにより幅広い用途に対応いたします。...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。R&D用の多目的小型研究用から…
全機種クリーンルーム対応BOXタイプ 10㎾電子銃装備 高融点金属&酸化物対応 抵抗加熱電極併用 多層膜&合金対応(オプション) 薄ウェハ対応ドーム&ウェハ治具 プロセスに合わせ高温加熱(裏面電極シンター)や冷却(リフトオフプロセス対応 基板機構変更でウェハだけでなくセラミックやガラス基板にも対応...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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小径ウェハ(4インチ)や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…
化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のSiウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温(1000℃)均一加熱 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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ウェハプロセス対応 本格量産システム アニール・シンター・ポリイミドキ…
加熱。高いクリーンネスや低酸素濃度を求められるプロセスに最適。縦型石英管型アニール装置。 最大8インチ相当のウェハや各種基板に対応。CtoCシステム採用による自動化&クリーンシステム。 中温から高温まで安定した温度分布性能と急令機構による短タクト処理 真空だけでなく各種雰囲気(不活性、酸化、還元)雰囲気処理も可能な多機能型熱処理装置 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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ポリイミドキュア装置(300mmウェハ対応 クリーンベーク装置)
300mmウェハ対応ポリイミドキュア、ベーキング、低温アニール、多層基…
スを両立。先端デバイスの量産ラインで採用実績豊富な高信頼性装置。 半導体用ポリイミドキュアだけでなくフレキシブル基板ベーク・太陽電池セルアニール等幅広い用途に対応。 オプションにて高真空タイプ。高温処理タイプ対応。 ウェハプロセス対応の石英管型CtoCタイプもラインアップ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置 全手動操作で低コスト…
機構標準装備 :排気系 拡散ポンプ&油回転ポンプ 操作系:全手動 オプション機構 磁性材用カソード コンベンショナルカソード DCバイアス 逆スパッタ機構 バイアススパッタ機構 基板高温加熱 主ポンプ変更(ターボ分子ポンプ採用) 全自動化 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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ロードロックタイプスパッタリング装置(枚葉搬送タイプ)デモ対応中
ディスクリート素子から先端デバイスまで、R&Dに量産に。コンパクト、ハ…
0mmウェハ対応のスパッタリング装置。 基板搬送は枚葉(CtoC)タイプを基本とし、基板のサイズ、形状によりトレイによるCtoC搬送。 カソードは大型1元タイプと多元タイプが選択可能。基板加熱も高温および冷却が選択可能。 スパッタもDC,RFにパルスDCによるリアクティブスパッタモードより選択。緻密な酸化膜も形成可能で、化合物半導体のゲート酸化膜に対応...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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神港精機の真空半田付装置に新型登場 優れた均熱性・昇降温特性と雰囲気制…
パワーデバイスモジュールの生産を支える神港精機の真空半田付装置がアップグレード。昇降温特性と均熱性能を向上させ処理寸法も拡大。従来通りの雰囲気制御性能と処理温度の高温化によって金属ペーストの焼結接合に対応。 低酸素濃度の実現と100%水素雰囲気による還元力によっての濡ペーストの酸化防止し濡れ性を大きく向上。 オプションの加熱加圧機構の追加でボイドレス接合も実...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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溶接ヒューム回収に!局所排気装置に好適な難燃性耐熱ホース!
難燃性・屈曲性に優れた高機能耐熱ホース(最高1,100℃)は、…
エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社 -
常温から約150秒で1200℃に!高速高温カートリッジヒーター
短時間で1200℃まで上昇!加工時間の短縮、生産性の向上に貢献…
三洋熱工業株式会社 -
高温加熱用ヒーター製品「予熱くん」カスタマイズ対応します
加熱・高温保持についてお困りの方必見!「カスタマイズ対応」加熱…
南海モルディ株式会社(旧:南海鋼材株式会社) -
ARO社 ダイアフラムポンプ FDA準拠(サニタリー)ポンプ
【医薬品・食品業界に!】 衛生性(サニタリー)が重要視される…
タイヨーインタナショナル株式会社 -
従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現
立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動…
株式会社宇野澤組鐵工所 -
金型向けレーザークラッディング設備
主に金型・周辺治工具向けのレーザークラッディング(レーザー溶接…
南海モルディ株式会社(旧:南海鋼材株式会社) -
★中心粒径250nm~★焼結体向け超微粒SiCパウダー
【低温焼結・高密度化】焼結用材料に好適!超微粒α-SiCパウダ…
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