MANNER社製『テレメータ』

PR自動車、航空機、船舶、タービン、押出機等の回転体で、様々な計測技術を提…

-　回転体のトルク、測温、振動等の計測に -　標準パッケージからカスタムパッケージまで豊富な選択肢 -　誘導式、中距離伝送タイプ等、様々な機種展開 -　タービンのような高速回転、エンジン、トランスミッション内の耐熱等、優れた環境負荷性能 -　1~124chまで用意でき、カスタムハウジングも用意 -　高応答周波数、高サンプリングレート -　短い遅延時間で信頼性あるリアルタイム計測 -　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツイ 東京本社

耐薬品性クランプ「Eloclamp」

PR治具とブスバーの固定に使用！接触面積を増やして電流を流す効果が見込めま…

「Eloclamp」は、電気メッキおよびアルマイト業界向けでも 使用出来る耐薬品性クランプです。 高品質のプラスチック製で、薬品や極端な温度下に対して 強い耐性があります。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■ELOCLAMP ■ELOCLAMP 高荷重タイプ ■ELOCLAMP パフォーマンス ■ELOCLAMP ブラックライン ■ELOCLAMP アク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社河口・サポート 名古屋事務所

真空部品『超高真空ビューイングポート』

広く鮮明な有効視野！透過率の変化や変色が少なく優れた耐放射線特性があり…

『超高真空ビューイングポート』は、真空容器内を外部より観察するための のぞき窓です。 コバールガラス、または合成サファイアとコバールを封着したものを ICFフランジに溶接しているので、10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用可能。 特にサファイア製ビューイングポートは、紫外線領域(短波長)の電磁波や 粒子線の照射に対して安定した透過特性を持っています。 【特長】 ■広く鮮...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空フランジ(真空部品)『ICFフランジ』

シール用ガスケットは銅板製で超高真空用特殊処理を採用！オス・メスなしの…

当社では、超高真空フランジとして『ICFフランジ』を取り扱っています。 当製品は、メタルシールフランジで、現在知られている超高真空用 フランジの中では特に信頼性が高く、取り扱い方法も簡単。 専用の無酸素銅製ガスケットを使用します。 【特長】 ■"Capturing"の理論により、ガスケットを弾性的にシール ■10^-10Pa以下の圧力に耐える仕様 ■-196℃より+450...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空バリアブルリークバルブ

全金属製で450℃までのベーキングが可能！広範囲にわたりガス流量の調節…

『超高真空バリアブルリークバルブ』は、導入ガス流量の調節を 必要とする真空装置に使用する製品です。 調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下と きわめて微少流量領域からのガス導入が可能。 また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、 超高真空装置用に適しています。 【特長】 ■熱と外部衝撃に強いシール部 ■微少ガス流量を安定調節 ■優...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空対応除震システム（フランジ）　ＶＩＢＲＡＴＩＯＮ　ＩＳＯＬＡＴＯＲ

超高真空対応除震システム（フランジ）　ＶＩＢＲＡＴＩＯＮ　ＩＳＯＬＡＴ…

表面分析、精密加工などの装置に付いているターボ分子ポンプの振動を10：1と軽減させることのできる『バイブレーション　アイソレーター』を是非、お使いください。 【特長】 ●超高真空対応です。 ●耐熱温度は250℃です。 ●振動を10：1と軽減できます。 ●ＣＦフランジ、ＩＳＯフランジ対応です。 ●コンパクト設計で取付も簡単です。 ●成形ベローズを使用し、有効内径を最大まで広げました...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

電子顕微鏡用液体ヘリウム冷却装置

トランスファーチューブはオリジナルの3重管式を採用！ヘリウムの消費量を…

『電子顕微鏡用液体ヘリウム冷却装置』は、液体ヘリウムを連続フローさせ サンプルを冷却するクライオスタットです。 電子顕微鏡は振動を嫌うため、ヘリウムのサプライ・リターンに 細いステンレス管を使用し、外部からの振動を除去しています。 冷却によるサンプルホルダーの膨張・収縮を最低限に抑えるため、 熱交換器全体にヒーターを施工し、温度コントロール時の膨張・収縮を抑え 高倍率でもサンプ...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

高温マスフローコントローラ　MC-3000L-TC series

多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L…

独自の特許技術で1.0％F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。 水蒸気などの高温ガス制御に最適です。 【特長】 ○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃（非通電）が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC ※その他機能や詳細に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

超高真空フランジUFCシリーズ

ISO3669-1986に準拠した超高真空対応のベーカブルフランジです…

UFCシリーズは、アルバック独自のナイフエッジ型メタルシール方式のISO3669-1986に準拠した超高真空対応のベーカブルフランジです。 UFCフランジを使用した各種フィッティング、銅ガスケット、ボルトセットなども各種取りそろえています。 【仕様】 ○使用圧力領域　大気圧～ 10^-11Pa ○許容リーク量　1.0×10^-11Pa・m3/s ○使用温度範囲　－196 ～ 450°...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

真空乾燥システム

充電池などの水分・溶剤乾燥に！高精度の温度コントロールで歩留まり向上

大村技研の『真空乾燥システム』は、充電池やリチウムイオン電池、 リチウムイオンキャパシタ極板等の水分及び溶剤乾燥に利用する装置です。 多数本による乾燥で省スペース化、乾燥時間短縮を実現。 また、高精度な温度コントロールにより、歩留まり向上に貢献します。 フルカスタム対応による製作で、お客様の要望に応えます。 【特長】 ■フルカスタム対応による製作で仕様の満足度に貢献 ■多...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

サクションカップ「VALUE LINE」フラットコンケーブ

リーズナブルな価格で、優れた性能をご提供します。

バリューラインの名にふさわしいリーズナブルな価格設定。 ・標準なアプリケーション、例えばカートン、搬送速度の遅い段ボールの組立て、木材、インジェクションモールディングなどに適しています。 ・耐摩擦性に優れた材質 ・薄いリップのため、多少粗い表面や多孔質なワークに対してもグリップ力は優れています。...サイズ20mmから70mmの7種類のフラットコーンケーブタイプ。 安定性に優れ、表面が曲面...

メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社

コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』

部品交換のみの容易なメンテナンス！1台2役でシステムのコストダウンや管…

『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、 高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負荷低減に貢献。 また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。 【特長】 ■測定安定性の改善 　・新開発の放電アシスト機能によりピラニとコールドカソードの切替不良...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空対応トランスファーベッセル (UHVスーツケース)

コンパクトで軽量化されたモジュール式ポータブルシステム！

Ferrovac社製の『UHVスーツケース』は、様々な構成に対応しており サンプル表面を清浄に保持しながら超高真空及び極低温環境下での保管や 搬送、装置間の移送等が可能なモジュール式ポータブルシステムです。 NEG（非蒸発型）ゲッターポンプと小型イオンポンプを融合させた 超小型高性能UHV用コンビネーションポンプ「NEXTorr(R)ポンプ」を 採用しております。ご要望の際はお気軽に...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

高真空用CMOSカメラ『バキュームアイ』

オートフォーカス機能を搭載！豊富なオプション対応可能な高真空用CMOS…

『バキュームアイ』は、高真空タイプ(10＾-5Pa相当)の高真空用 CMOSカメラです。 重量は1.8kg。オートフォーカス機能を搭載しています。 オプションで、LED照明機能や全長変更、防着・保護ガラス・アタッチメント などが可能です。 【特長】 ■オートフォーカス機能を搭載 ■重量：1.8kg ■オプションで、LED照明機能や全長変更、防着、保護ガラス、 　アタッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ムサシノエンジニアリング

デバイスネット対応マスフローコントローラ　MC-5000L

デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラで…

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ 　 (SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile) ○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応） ○＋11〜24V...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

チタン合金製真空コンポーネント

既存の真空チャンバー、真空部品をチタン合金製に変えてみませんか？

チタン合金を真空チャンバーや真空部品の材料に用いることにより、非常にガス放出の小さい真空システムを可能にする技術を開発いたしました。これにより素早く、簡単に超高真空/極高真空を得ることが可能になりました。 チタンはもともと真空への応用に適した素材です。軽量、完全非磁性、低熱膨張率、低熱容量、などなど多くの利点を有しています。我々の技術は、この本来優れたチタン材に、さらに真空応用にとって重要な特性...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

【真空装置の断熱材に】切削が容易なスーパーエンプラ・セラミックス

断熱性（低熱伝導率）・低アウトガス・高耐熱を兼ね備えた材料で、真空装置…

◎使用される温度域（℃）で使い分けが可能です。 温度域：～150℃ 品名：PEEK樹脂 特徴：安価、低ひずみ、耐蝕性 温度域：150～300℃ 品名：ベスペル SP-1　、 ベスペルSCP-5000（ポリイミド樹脂） 特徴：断続では480℃まで使用可、純度99.999％、高機械強度 温度域：300℃～ 品名：マコール（マシナブルセラミックス） 特徴：MAX800℃、超...

メーカー・取り扱い企業： 石原ケミカル株式会社 高機能材料

真空高温炉『MINI-VAC-NT』

小型の真空炉ですが内部の有効容積は横式丸型で非常に大きく設計されており…

『MINI-VAC-NT』は、当社の「真空炉技術」から開発された真空高温炉です。 特殊な操作技術が必要でなくワンハンドルで高真空が得られ、高真空はもちろん 不活性ガスに使用できMINI・VAC-1型は低真空、酸化雰囲気でも使用が可能。 また、ヒーター構造が周囲と後部にもあり温度上昇も早く、温度分布は もちろん温調もP.I.D動作のため800℃±3℃の精密な温度制御ができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京真空

真空パージ雰囲気焼戻し炉『NVPTシリーズ』

N2ガスパージで光輝処理が可能な真空熱処理炉

『NVPTシリーズ』は、真空パージ後N2ガスを大気圧直下まで封入し 対流加熱を行うため、酸素、水分などの存在がなく光輝処理が可能な 真空パージ雰囲気焼戻し炉です。 本製品はオプションで高真空仕様（油拡散ポンプ装備）、高温仕様を ご用意しております。 【特長】 ■温度分布性能の向上のため、シール性の優れたバンク構造、 　ヒータの円周配置、3分割制御 ■セラミックファイバーを使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IHI機械システム 本社　セールスグループ

真空熱処理炉

既成品からオーダーまで対応！プレス付真空熱処理炉や超高温熱処理炉をご紹…

当社で取り扱う真空熱処理炉をご紹介いたします。 加熱温度が常用600℃の「プレス付真空熱処理炉」をはじめ、 ハロゲンランプ等の電極の充填、脱ガス等、真空熱処理を行う 「超高真空脱ガス炉」などをラインアップ。 製品知識の高いスタッフが万全の修理体制をとっており、既成品から オーダーまで対応をします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■プレス付真空...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

スクリュー真空ポンプ COBRA Industry ファミリー

液体や粉じんのキャリーオーバーにも耐性を持つパワフルなドライ真空ポンプ…

【製品説明】 中真空および粗引きに適した堅牢で高い信頼性の真空ソリューション。多様な仕様を展開し、更に要件に合わせた調整が可能です。 【特長】 ■ 堅牢：プロセスガス経路を最適化。液体や粉体のキャリーオーバーが可能 ■ 耐食：シリンダーの温度分布を均一に保つ設計で耐食性が向上 ■ 高効率：特許取得の「セルフバランシングスクリュー」で高効率化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

軽量・薄型・高断熱！輸送容器に適切な真空断熱材

従来品より30%重量カットし、断熱性能を10倍以上に高めた高機能断熱材

『シルサーム・パネル（VP）』は、平均粒径20nmの微細な無機芯材を ハイバリアフィルムに封入し、真空下でシールした真空断熱材です。 非常に高い断熱性能が、20年以上の長期にわたり持続。（当社試算） 様々な形状・加工に対応可能で、医療用定温輸送容器や保冷用貨物コンテナまで 幅広い用途の「断熱ニーズ」に活躍します。 【特長】 ■ 静止空気より圧倒的に優れた断熱性能 　 (熱伝導...

メーカー・取り扱い企業： シルサーム・ジャパン株式会社

GM冷凍機型クライオスタット

特別な架台を必要とせずに電磁石に設置させる事が可能！最低到達温度は15…

『GM冷凍機型クライオスタット』は、スイッチ一つで簡単に15K以下の 温度環境を得ることができる装置です。 磁気抵抗測定、ホール効果測定、などの測定が可能です。 テール部はオプションで非磁性材料（ベリリウム銅・FRP・真鍮など）で 製作可能で、VSM（振動試料型磁力計）に使用することも可能です。 また、0～90°まで回転させる事が可能で、特別な架台を必要とせず、 電磁石に設置さ...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

LEMO■半導体製造装置用コネクタ

「過酷な環境下の使用」にも耐えるLEMOコネクタ。その信頼と実績により…

LEMOコネクタは、 振動・引っ張り・ねじれ・衝撃などにさらされる過酷な環境下での使用に十二分に耐え、 狭い場所での作業や短時間での作業などに特に有効に働いています。 またステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの装置で 数多くのモデルが半導体製造装置で採用されています。 ■下記のような環境下でも使用出来るコネクタをお探しの際は是非お問合せ下さい。 ・高密度...

メーカー・取り扱い企業： 丸紅エレネクスト株式会社

液体ヘリウム連続フロークライオスタット

フォトルミネッセンス測定や光半導体の評価など光学的測定をサポートします…

当製品は、液体ヘリウムを連続フローさせサンプルを冷却する クライオスタットです。 フォトルミネッセンス測定や光半導体の評価など光学的測定をサポート。 光導入窓の大きさはφ5～φ50mmまで製作が可能です。オプションで 低温シールドシャッターを取り付けることが可能で、極低温時ヘリウムの 蒸発量を抑えることができます。 また、石英ガラスが標準仕様ですが、他材質の窓材を使用するこ...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

低供給圧力 高真空度形 多段ノズルエジェクタ『真空発生器VVV』

0.35MPaの低供給圧力で、高真空・大流量を確保する多段ノズルエジェ…

『真空発生器VVV』は、ワーク吸着搬送をはじめ、真空包装や脱泡・脱気に 適した低供給圧力 高真空度形の多段ノズルエジェクタです。 デジタルプレッシャゲージで真空度の確認が容易。 また、排気ポート仕様にサイレンサ付を選択の場合、ストレートに エルボブロックが付属されておりますので、2タイプの排気取出しが可能です。 【特長】 ■簡易メンテナンスにて長寿命 ■真空取出方向を変更...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

複合真空計『TG301CD』

ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用！専用アプリでデータの管理と…

『TG301CD』は、B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、 大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能な複合真空計です。 ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用しており、B-Aゲージ領域では、 グリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも 感度低下が少なく高精度で測定することが可能です。 この他にも、コールドカソ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミラプロ

Airpot（エアーポット）ピストン/シリンダーセット

カーボングラファイト製ピストンとパイレックス(R)ガラス製シリンダーを…

Airpot（エアーポット）ピストン/シリンダーセットは、カーボングラファイト製ピストンとパイレックス(R)ガラス製シリンダーをセットにした超精密空圧機器です。 Airpot社独自のテクノロジーであるピストンとシリンダーの超精密嵌合が生み出すスムーズモーションを、自由な発想でさまざまなアプリケーションにご利用いただけます。...○10億サイクル以上の長寿命。 ○軽量かつ超低摩擦のため、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エッチ・ケー・エスジャパン

スクリュー真空ポンプ COBRA NC シリーズ

化学、製薬業界の各種プロセス用途をはじめとした多くのアプリケーションに…

COBRA NC シリーズは、効率性の優れたドライスクリューポンプです。 当シリーズは、今までの堅牢な構造はそのまま残し、改良を加えました。 非常に厳しいプロセス条件下でも、 特殊のコーティングを施した一体型の不等ピッチ形状スクリューロ ーターが安全性・信頼性の高い運転を実現し運転コストについても低減しています。 【特長】 ● 高度なスクリュー設計 ● 効率性：省エネ、低メン...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

高電流密度イオンビーム型イオン銃

EUROVAC社製VARIAN型廉価版3keVイオン銃

EUROVAC社(スウェーデン国)は、30年以上前に設立され、ミュンヘンのパーキンエルマー社PHI部門出身の物理学者たちによって運営されています。実用的、技術的、基礎的な研究課題の解決に向け、お客様をサポートする体制を整えています。1998年にEUROVAC社は、バリアン表面科学部門(米国/パロアルト)を買収し、イオン銃、電子銃、LEED、RHEED、CMAの製造をスウェーデンのストックホルムに移...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

VISTA株式会社は、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。 TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。 また、蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

高圧加圧ガス冷却横型真空炉『RQシリーズ』

幅広い冷却ガス圧に対応する真空熱処理炉

『RQシリーズ』は、シンプルな冷却ガス上下切替機構を搭載した 高圧加圧ガス冷却横型真空炉です。 オプションとして対流加熱機能の付加が可能。 循環ファンによる対流加熱は850℃まで昇温でき、真空加熱（放射加熱）の 欠点である低温での昇温遅れを大幅に改善します。 【特長】 ■省エネルギー性を高めるため、インターナルチャンバ外表面温度を200℃以下に維持 ■開閉ドアは、クラッチ式ド...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IHI機械システム 本社　セールスグループ

高性能マスフローコントローラ　MC-3000L series

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デ…

独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ 　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

真空プローバーシステム『SB-MCPSシリーズ』

極低温から高温までの温度を選択可能な真空プローバーシステム！

『SB-MCPSシリーズ』は、豊富なオプションで 低温から高温まで対応可能な真空プローバーシステムです。 液体窒素冷却ユニット(80K～500K)をはじめとして、液体ヘリウムフロー型 冷却ユニット(5K台～300K)、高温ユニット(室温～600K)などの 低温・高温オプションをご用意しています。 極低温から、高温までの温度を選択することが可能です。 【仕様】 ■温度範囲：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマルブロック

超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」は、新開発のファイバー式光学モニターの採用や、安定した温度制御が可能な80点モニターガラス機構を搭載することで設計通りの特性が得られる高精度を実現しました。 徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。 【特徴】 ○高効率排気システム ○低パーティクル仕様（オプション） ○高精度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

電子ビーム真空蒸着装置

メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上！

本装置は、前進的な試料作りを目的とし清浄高真空中で電子ビームにより 特にMg合金を初めとする全ての金属に適した蒸着装置として開発された装置です。 真空排気系はTMP80L/secとRP50L/minの組合わせで、全て電磁バルブを使用した 全自動排気系。到達圧力は液体窒素トラップ無しで10-5Paに入ります。 この他、電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置「マグネトロン ...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

Airpot（エアーポット）エアーダンパー&アクチュエーター

パイレックス(R)ガラス製シリンダーとカーボングラファイト製ピストンを…

Airpot（エアーポット）エアーダンパー&エアーアクチュエーターは、パイレックス(R)ガラス製シリンダーとカーボングラファイト製ピストンを超精密嵌合させた大変ユニークなダンパー&アクチュエーターです。 シールを一切使用していないため、始動摩擦が極めて小さく、駆動摩擦も一定のため、急激な速度変化にも対応可能です。 また、使用環境の変化に対する影響も無く、数千万サイクルを超えるメンテナン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エッチ・ケー・エスジャパン

アジレント社製ターボ分子ポンプ 305シリーズ

アジレント社中型 ターボ分子ポンプです。 ワイヤレス通信で動作設定・…

アジレント社製 305シリーズターボ分子ポンプはオイルフリー、取り付け位置自由な中型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなどの軽い気体に対して高い圧縮率を持ち、高スループット・高フォアライン耐圧を実現しました。 またワイヤレス通信にてお使いのスマホよ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

真空乾燥・真空ベーキング装置 DQ "Noa"Type

豊富な実績に裏打ちされた真空乾燥器・真空乾燥装置のスタンダード。研究開…

DQ-P（ポンプ組込タイプ） 省スペースのポンプ組込み一体型、停電時 のオイルバック防止など保護対策も充実。 DQ-S（卓上タイプ） 設置場所に合わせた真空ポンプとのつなぎ 方が可能、スペースを有効利用できます。...■高真空…到達圧力：×10^1Pa 油回転真空ポンプ単独の排気系としては高い真空度が得られます。漏れの極めて少ない真空室でのクリーンな加熱処理を提供。 ■効率的な排...

メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社

真空乾燥・真空ベーキング装置 DN "Aurora"Type

到達圧力 ×10^1Pa により、多様な研究開発の要請にお応えする真空…

外装はオールステンレス製の美しいヘアライン仕上げで、設置場所に合わせた 真空ポンプとのつなぎ方が可能です。 実験机の上などのスペースを有効利用できる真空乾燥装置です。 ...■高真空…到達圧力：×10^1Pa 油回転真空ポンプとつないで高い真空度が得られ、漏れの極めて少ない真空室でのクリーンな加熱処理を提供 ■真空度の測定が可能 ピラニ真空計のセンサーをセットできるゲージポート(φ15...

メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社

真空チャンバー照射用パルスLEDライトシステム

真空装置内の観にくい箇所を明るく照らし出します

"真空装置内のサンプル周りや受け渡しなど、薄暗く確認し難い 場所を照らすLEDライトシステムです。 フランジのボルトに装着し、チャンバーの外から内部を照らします。 低消費電力・高輝度・高寿命で、パルス電源のため、温度も高く なりません。 小型電源・リモートコントローラと組み合わせ、最大10個まで コントロール可能です。 価格は弊社ホームページよりご確認ください。 ..."・低消費電...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

極高真空計『3B-Gauge』

X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計

『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。 電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。 【特長】 ■3つの測定限界を総合的に改善...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

半導体関連の装置部品加工を主とし、最大加工精度1μを保証します！

高精度三次元測定機を有し、1μの精度を保証いたします。受託検査も可能

お客様のご希望の精度を保証する為、三次元測定機を複数設備。 LEGEX９１０６はミツトヨ製の最高クラスの高精度三次元測定機で、高精度の要望にお応えするべく 導入しました。 地下振動を最大限抑える為、アクティブダンパーを利用した免震構造用い、振動影響を無くし1μｍを保証しています。 また、±０．５℃以内の恒温室に設置することで製品の温度管理を行い、熱膨張による測定のバラつきを最小限に抑えており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三栄精機工業

オイルフリーコンビネーションポンプ（１ポンプ仕様）

【新製品】印刷機や製本機に最適なオイルフリーコンビネーションポンプです…

１ポンプでバキューム（真空）とブロワの両方を使用できるコンビネーションポンプです。印刷、製本、製袋工場に最適です。 【特長】 ■オーバーホールサイクル20,000時間を達成 ■メンテナンス性向上 ■排気温度を大幅に低減（アフタークーラ仕様） 【仕様】 ■真空度　　　0～60kPa ■圧力　　　　0～70kPa ■モータ出力　5.5kW ■風量　　　　0～118m3/h ...

メーカー・取り扱い企業： オリオン機械株式会社

グラフェン開発用小型熱CVD装置 SFCVシリーズ

大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した…

少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、 同時に大幅なコストダウンを実現しました。 また、従来小型では困難とされてきた5～100Pa での圧力コントロール機能を備え、 より多様な処理パターンに対応可能としました。 さらに炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、 大気放出ガス希釈ユニットなどの安全装置を備えています。 詳しくは、カタログをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

TELEMARK製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着（IAD）技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。TELEMARKのグリッドレスイオンソースシステムは独自のデザインのイオン源により、ガラス、プラスチック、金属の様々な基板で安定なイオンアシスト蒸着を可能にしました。...TELEMARK製イオンソースシリーズは、 1. 軽量コン...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

真空重ね合せ装置　真空貼合装置

真空中で2枚のガラス基板等のアライメントを行い、高精度に重ね合せます。

ガラス基板等の仮固定用にUVランプを装備しております。...基本仕様 基板サイズ Max: 300 (W)x400 (L)mmt:0.5~11mm 重ね合せ精度 10μm以下(パターンピッチ公差含まず) 真空チャンバー 真空度10Pa以下 加圧力 Max 1,000kgf (ロードセルにより検出) ガラス基板固定 静電チャック方式 加熱機構 上下テ...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

多段ノズルエジェクタ『大流量真空発生器VLM』

多段ノズルと積層可能構造の採用により、吸込流量はエア消費量の平均約2.…

当社では、積層可能構造で-94kPaの高真空、最大1,110L/min[ANR]の 大吸込流量を確保する多段ノズルエジェクタ『大流量真空発生器VLM』を 取り扱っております。 取出方向は側面、前面、回転型の3種類をご用意。 （前面取出しは1段積層タイプのみ） 自動車、半導体、食品、薬品分野はもちろん、一般産業など 様々な産業分野に適しています。 【特長】 ■高真空・大流...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

仕様多様化真空フランジ-「ICFフランジシリーズ」

高真空及び超高真空に対応可能の真空部品

日揚科技(Htc)は供給している真空フランジはKF(NW)シリーズ、ISOシリーズとICFシリーズの3種類があります。ICFフランジシリーズ は製品多様に揃えています。 ICFシリーズフランジを分類すると固定型、回転型、ボルト穴タイプ、タップタイプになっています。また、両側に口径を異なる接続の変換フランジもあります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 .....

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

ファイファー社製真空計

低真空から高真空までの各種真空計です。 ICFでもISO-KFでも在…

お客様のご要望に合わせた真空計をご提案致します。 ●精密な測定をしたい ●プロセスガスの測定をしたい ●大気圧から高真空まで１台で測定したい なんでもご相談ください。 ...コントローラ 　●1ch 表示器 　●3ch 表示器 　●6ch 表示器 トランスデューサ 　●ピラニゲージ 　●ピエゾゲージ 　●キャパシタンスゲージ 　●　　　　〃　　　　　（温度コン...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

配管部品　導入ガス流量調整バルブ「ベローズ式L型アングルバルブ」

配管部品　ガス量調整バルブ

ベローズ式で高真空領域まで使用できる高性能バルブです。 ...【特徴】 ◯Ｏリングタイプで高真空領域対応 ◯パイトンＯリングを使用することにより、ベーキングも可能 ◯耐熱温度は150℃ ◯ステンレスボディーのため、シール部分の傷の心配がない ◯手動・圧空タイプをラインナップ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

テクノアルファの『リフロー装置』

安定的な温度プロセスを実現できるリフロー装置などを多数取り扱っています…

当社取り扱いの『リフロー装置』をご紹介します。 当社ではプロセス開発、マイクロエレクトロニクスパッケージの少量生産に 好適なSST社製「真空・加圧リフロー装置」をはじめ、高精度に昇温・ 降温設定をオート制御できる「Model 5100」や3D実装・立体的な構造物にも対応可能な「VPSリフロー装置」などを取り扱っております。 【取扱製品】 ■SST社製 真空・加圧リフロー装置 ■...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

真空装置『ガス採取装置』

希少サンプルを5系統以上に分配可能な真空装置！

『ガス採取装置』は、ガス分析を目的として、希少サンプルを 超高真空とPLCソフトの技術でバルブ制御し、不純物の無い超高真空容器に 5系統以上に分配できる真空装置です。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■ガス分析系：高精度四重極質量分析計　2台搭載 ■サンプルガス分配：5系統（容積確度±5％） ■バルブ開閉：モーター駆動／PLC制御（モータートルク、開閉...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイブイシー

原子層堆積装置 「ALD-Series」

複雑な形状の基板への成膜に最適で、低温成膜で樹脂基板にも対応します。ま…

ALD（Atomic Layer Deposition）とは原子層堆積法という単原子層を1サイクルで成膜する手法で、サイクルを繰り返すことにより薄膜を形成します。 一原子層レベルの均一なレイヤーコントロールが可能となり、高品質かつ段差被覆性の高い薄膜を形成する事が可能です。 【特徴】 ○複雑な形状の基板への成膜に最適 ○低温成膜で樹脂基板にも対応 ○ガスバリア性に優れた薄膜が得られる...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

プレス付真空熱処理装置『PRESS-VAC-2S型』

5Ton迄の拡散接合などの多目的の実験炉として使用することができるプレ…

『PRESS-VAC-2S型』は、さまざまな熱処理が可能な真空装置です。 真空の状態でプレスを行うことで、通常の状態でプレス加工するのとは 違った処理をすることが可能です。 また、熱処理に関しましてはプログラム制御を行いますので、細かい 温度管理が可能。今までのものとは異なる新しい製品の開発などに 利用することができます。 【特長】 ■プレスユニットの圧縮能力については任...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

真空脱泡装置

本装置は、真空排気機能によってワーク液内部から効率的に脱泡し、均一で泡…

1) 主　仕　様 ■ 到達圧力： ×10^1Pa ■ 排気時間： 5 分 ■ バルブ操作： 手動式 ■ 最高温度： 150℃ ■ 真空槽： SUS 及びSS ■ 真空ポンプ： KS-20 型 2000L/min 2) 主　仕　様 ■ 到達圧力： ×10^1Pa ■ バルブ操作： 手動式 ■ ...

メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社

真空広域恒温装置（スペースチャンバー）

広領域にわたる安定した圧力、すぐれた恒温性を発揮

宇宙開発材料及びコンポーネント等の寿命試験等の実験を目的として開発されたスペースチャンバーです。広領域にわたる安定した圧力、すぐれた恒温性を発揮します。...【特徴】 ■主に宇宙開発材料及びコンポーネント等の 　寿命試験等の実験を目的として開発されたスペースチャンバー ■広領域にわたる安定した圧力、また、すぐれた恒温性を発揮 ■SATO の超高真空技術、低温技術の集積 ■使用温度範囲 ...

メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社

Smart film Vacuum Conditioner

PET Filmの前処理　&　Filmの熱収縮の調整　＆ITO膜の連続…

Smart film Vacuum Conditioner(SVC)はPET Filmの脱ガス・脱水分などの前処理及びFilmを無張力状態に加熱処理することで、Filmの熱収縮の調整（平坦化）、ITO膜の連続的な結晶化処理が可能な設備です。 ■装備特徴 • Flimを無張力で熱処理して0.1%以下の極低熱収縮Filmを生産 • 均一な基板温度に加熱可能 (基材の平坦化) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ

プレス付真空熱処理装置

0.3Kg3/cm2の圧力雰囲気処理も可能！製品をつくる時の装置として…

『プレス付真空熱処理装置』は、真空及び不活性ガス雰囲気において、 さまざまな形状の試料をヒーターによって均一に加熱する真空装置です。 真空の状態でプレスを行うことで、通常の状態でプレス加工するのとは 違った処理をすることが可能。 また、サーボプレスにより50KNまで加圧ができ、拡散接合にも好適な 「真空ホットプレス装置」もご用意しております。 【特長】 ■さまざまな熱処理...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

1軸/2軸トランスファーロッド

UHVチャンバー間でサンプルを輸送することを目的とした1軸サンプルトラ…

『RM40』は、超高真空用途向けのシンプルなオールメタルシールの 直線回転サンプル導入機です。 主に、UHVチャンバー間でのサンプル輸送に好適。 空気側と真空側にある希土類磁石のセットは、ハンドルから内側軸への 強固な結合を確実にするために必要な力を発揮します。 【ラインアップ】 ■RM40-0500-0030 ■RM40-0750-0030 ■RM40-1000-00...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

新真空熱処理炉『HV9』

型式：TITANH6！IoT制御システムや閉鎖型冷却システムなど搭載

当社の『HV9』をご紹介いたします。 リモート、クラウドを経由した遠隔監視、遠隔制御システムの「Vacuprof」や、 クラウドサーバー対応予測保全システム「PdMetrics」を搭載。 CCコンポジット炭素繊維強化複合材料により放射効率を向上し、 4層グラファイトフェルトによる高断熱構造。効率的な昇温、冷却が可能です。 【特長】 ■閉鎖型冷却システム ・冷却水を閉鎖循環...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ファインテック