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自動で薬液を調合してエッチング槽に必要量投入!シーケンサ制御方式を採用…
ダ部へと自動搬送。 また、装置下側に薬液供給タンクがあり、自動で薬液を調合して エッチング槽に必要量投入します。 【主な仕様】 ■被加熱物:GaAs(ガリウムと砒素)ブロック ■カセット:PTFE専用カセット ■搬送機:自動ロボット搬送(サーボモーター駆動) ■制御方式:シーケンサ制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダン科学
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ICPエッチング装置 RIE-800iPC/RIE-400iPC
真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご…
・ 低圧力域から大流量・高圧力域の幅広いプロセスウィンドウを実現しています。 【特長】 <RIE-800iPC> ■最大Φ8”ウエハ対応 ■放電形式に誘導結合プラズマを採用 ■真空カセット室を備えプロセス再現性や安定性に優れる ■ウエハとプラズマ間距離を最適化し、良好な面内均一性を確保 ■TMP(ターボ分子ポンプ)や高周波電源をユニット化し、交換が容易 ※詳しくはPDF資...
メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社
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エッチング中に発生するガスや蒸気を除去
【特徴】 ■塩化第2鉄エッチング液用活性炭が異臭や酸を吸着 ■エッチングマシーンの排気口へピッタリ差し込め取り付けが簡単 ■乾式フィルターを採用し、取り替えが簡単 ■活性炭カセット代は1時間当たりおよそ25円と経済的 ■活性炭カセット寿命 :150時間 ■排気風量 :約35L/分 ■排気ダクト長:2m以内 ■防水ファン :過負荷保護回路内蔵(電流カット方式採用) ...
メーカー・取り扱い企業: サンハヤト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理す…
本機は手動でカセットの入ったバスケットをハンガーに取付、処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置になります。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…
スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...
メーカー・取り扱い企業: アクテス京三株式会社 技術センター
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【デモ機貸し出し可能!】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エ…
本機はウエハーの洗浄、エッチング処理を行う装置です。 カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しウエハ搬送!
供することが出来ます。 『自動ウエハ洗浄装置』は、枚葉式のウエハ自動エッチング装置です。 ウエハ搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理 詳しく...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行いま…
て、エッチング・シャワー洗浄、 乾燥処理を行なう 【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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