８９００型シリーズ　脱気装置

装置のロングライフ運転に成功しました。脱気装置の高耐久性は、送液ポンプ…

大きな真空変動もなく、安定した溶存酸素を取り除いた溶媒を、送液ポンプに供給する高性能な脱気装置を開発しました。 パルスモータと独自の制御ソフトの組合せ、そして装置作動中は常時大気導入機構の自己クリーニング方式で真空ポンプの長寿命が実現できました。 脱気モジュールの透過膜は、高性能テフロンAF（アモルファス　フルオロポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＡＱＵＡＴＨ

ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）用サーボドライバ

移動距離数十ミリ程度の位置決めに適したボイスコイル型リニアモータ（ＶＣ…

１．通常偏差カウンタに溜まりを持たない為、指令パルスとエンコーダパルス(追従)が一致し、指令パターンと追従パターンとの移相遅れがありません。（Phase-Locked　Loop） ２．２軸ドライバの相関関係を正確にトレースできます。 ３．微量送りにも即応性を発揮します。 ４．サンプリング制御をしていないので非常に高速応答です。 ５．４MPPS maxと高速ですので、高分解能...

メーカー・取り扱い企業： サーボテクノ株式会社

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

ロボット仕様 被搬送物 ～300mmウェーハ 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ 2相パルスモータ 動作範囲※ アーム第3関節中心 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 312mm 340度 300mm 搬送速度(平均)※ アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

【半導体製造装置関連】ミニマルスプレーコーター

レジストをスプレーノズルで塗布する装置。 つくば産総研・ミニマルファ…

パルスモータ軸数：3軸 ワーク（ノズル）移動用ＸＹステージ 塗布材料供給用シリンジ 塗布用ホットプレート：最大100℃ ベーク用ホットプレート：最大150℃ 気体制御：スプレーノズル用 ウェハ裏面回り込み用 ノズル乾燥防止：カップに液浸（PEGMA等） ウェハ供給：airPLAD hs5.0より セットパラメータ ・スプレー用空気圧（霧化圧） ・塗布材料供給シリンジ送り量 ・ワー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

【半導体製造装置関連】インプリント装置

モールドをワークに転写する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術…

品により機械的に固定可能とすること レプリカモールド 材質 PDMS熱可塑性樹脂 サイズ φ１２．５mm 固定方法 押さえ部品により，機械的に固定可能とすること 転写機構部 駆動源 パルスモータ 荷重センサ 圧電素子 (分解能1 N) 荷重 最大 １kN まで設定可能とすること 荷重設定 パラメータ入力 （最大１KN） 加圧分解能 0.1 μm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

R3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 落とし込みによるラフガイド方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm 360度 20mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 230mm/s...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

ェーハ （その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） ○ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着 ○機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 ○モータタイプ 全軸2相パルスモータ ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 552.7mm 340度 300mm ○搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

ェーハ （その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） ○ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着 ○機械構造形式 円筒座標型 制御軸 4軸 ○モータタイプ 全軸2相パルスモータ ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 575mm 340度 300mm ○搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

ロボット型式 STWHR4156-200-PM 被搬送物 ～300mmウェーハ ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着で保持 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 4軸 モータタイプ 2相パルスモータ 動作範囲 アーム第3関節中心 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 312mm 340度 200mm 搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 3...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

ト型式 TSCR3060N-135-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 真空吸着保持方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm 360度 135mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 230mm/...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル