小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空スイッチ　（端子台付防水型絶対圧基準高真空スイッチ）

精度の高い長寿命性を要求する真空制御の検出端として好適

電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない極めて動作感度の高い構造になっております。 半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−等に数多く使用されています。 配線取りつけは、スイッチ内部に３P端子台がついており、被覆外形φ7〜φ11のキャップタイヤコ−ドで配線できます。 取りつけは、フランジ型とネ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三和電機製作所