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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント(成膜ソース、ステージなど)、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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素早いポンプダウンと膜質の向上にお役に立ちます
素早い冷却、素早い昇温 蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。TELEMARKのTVPシリーズは最新の技術進歩を取り入れたクライオトラップです。...
メーカー・取り扱い企業: VISTA株式会社
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小型冷温調機でコンパクトに適材適所でお応えします!
■ダイカストマシーン 金型の冷却 ■MRI ヘリウム冷凍機冷却及び傾斜磁場コイルの冷却 ■包装機 ヒートシール後の冷却 ■ファイバーレーザ ダイオードレーザの発振部及び光学系の冷却 ■真空蒸着装置 チャンバーの冷却 ■X線検査装置 光源、またはLEDチップの冷却 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カンネツ
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ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善!真空引き時間も大幅に短縮でき…
オポンプと異なり、別置きの大型ヘリウムコンプレッサやヘリウムラインが必要なく、コンパクトで低消費電力。半導体プロセス装置のロードロックチャンバー、トランスファーチャンバーやプロセスチャンバー、真空蒸着装置の真空補助ポンプとして最適です。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイ・アール・システム
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独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』
真空装置メーカーの技術・経験を結集!自社設計により柔軟な仕様変…
株式会社エイエルエステクノロジー