半導体製造装置の製品一覧 （7ページ目）

精密切断機『エクセロン』

高剛性主軸の採用でセラミックス系複合材料・超硬金属の精密切断に。切断砥石径は最大250mm。切片厚さはデジタル表示で正確な制御。

<　「切る・削る・磨く」技術で未来の「ものつくり」に奉仕する　> 切断・研磨で40余年の実績と経験で、お客様の目的に合った最適なご提案を心がけています。 研究・技術・開発・品質管理・理…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

大型試料切断機『エクセロン』

高剛性主軸の採用でセラミックス系複合材料・超硬金属の精密切断に。切断砥石径は最大250mm。切片厚さはデジタル表示で正確な制御。

<　「切る・削る・磨く」技術で未来の「ものつくり」に奉仕する　> 切断・研磨で40余年の実績と経験で、お客様の目的に合った最適なご提案を心がけています。 研究・技術・開発・品質管理・理…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

自動試料切断機『エクセロン』

高剛性主軸の採用でセラミックス系複合材料・超硬金属の精密切断に。切断砥石径は最大250mm。切片厚さはデジタル表示で正確な制御。

<　「切る・削る・磨く」技術で未来の「ものつくり」に奉仕する　> 切断・研磨で40余年の実績と経験で、お客様の目的に合った最適なご提案を心がけています。 研究・技術・開発・品質管理・理…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

複合旋盤加工／A5052／アルミ加工部品は弊社にお任せください。

最短半日見積り／A5052材（アルミ）で複合旋盤加工機を用いた多工程切削加工部品の紹介です。

某大手電機メーカー様よりご依頼頂きました。 計測装置用の保守メンテナンス部品の製作を承りました。 アルミ A5052材で複合旋盤加工機を用いた多工程切削加工になります。 弊社では、この様な複合旋盤…

メーカー・取扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

【今さら聞けない半導体不足の原因とは？】テクノロジーナビ

【半導体不足】が叫ばれている今、その原因についてまとめた資料を無料でダウンロードしていただけます。

テクノロジーナビblogとは・・・ エンジニアの皆さんも、これからエンジニアを目指すあなたにも必見の”技術”に関する情報をお届け！ 今さら聞けないテクノロジー関連の情報や、知っておくべき技術ト…

メーカー・取扱い企業： 株式会社アウトソーシングテクノロジー

難削材用オシレート切断機　 セラミックス、単結晶材、複合材切断

高速・高機能切断機「 ミニセラミクロン 」シリーズ　JIS R1601・1607に準拠　　難削材試験片のマルチ切断を実現

研究目的の多様化に伴う切断ニーズの高度化に対応したミニセラミクロンに高速機能を付加したシリーズ。 切断時のチッピングやクラック発生を防ぐ為の加工条件選定が可能。 【 ラインナップ 】　 ■ 3型　M…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

試料研磨機の選び方 「選定目安表」 【 研究・品質・開発分野 】

研磨したい材料・目的・研磨方式に応じた最適な研磨機選びのご参考に。加工効率は正しい機種選定によって大きく向上します。

研磨加工したい材料、例えばセラミックス系や岩石・鉱物等の硬脆材料、樹脂系材料や電子部品のような複合材料、金属材料などから適切な機種を絞り込んでいきます。 研磨の目的に応じた研磨方式の選定、研磨対象と…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

ELID搭載　研削盤『ヒカリオン(R)・ラップ研削盤III型』

ELID（電解インプロセスドレッシング）搭載型のラップ研削盤。片面／両面ラップ研削が可能。理化学研究所との共同開発製品です。

ELID（電解インプロセスドレッシング）搭載型　ラップ研削盤 ■□■特徴■□■ ■片面ラップ、両面ラップ研削が可能 ■一定圧での研削が可能（圧力転写型加工） ■強制切込みによる研削が可…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

研削盤 『 プレパラップ、プレパラップオート 』 　 卓上研削盤

岩石プレパラート作りに。高精度の基準面出しと無気泡・徐冷式マウントプレスで経験がなくてもプレパラートを作製可能。

平面度を求め易く、外周ダレは極小で高精度。偏光顕微鏡用試料の薄片作製技術から生まれた、カップホイール使用の立軸小型平面研削機。 ■ カップ型ホイールを用いて平面研磨を行います。 ■ コラムは堅牢…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

精密切断機 『 セラミクロン1型 』　大型切断機

難削材用マルチ式切断機　理学工学研究用

構造用セラミックスなど難削材料（窒化硅素・炭化硅素）や超硬金属などを高能率にマルチ切断（またはシングル切断）する本格的なオシレート精密切断機 【　特　徴　】 ■ 主軸の高剛性、高出力はもとより、…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

イワキフォトレジストディスペンスポンプ　PDSシリーズ

再現性±0.3%（F.S.）以下、大幅な省レジストを実現

■□■特長■□■ ■大幅な省レジスト ■多様なコートプロセスに対応 ■ダウンタイムの短縮 ■コンタミフリー ■高粘度用途に対応（PDS-H115) 詳しくはPDFデ…

メーカー・取扱い企業： 株式会社イワキ

【資料】Cu/Moエッチング液 SDM ver.70

Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！

当資料は、「Cu/Moエッチング液」のSDMをご紹介している、 バージョン70です。 「PESENG基板 実験条件 概要」では、今回の試作内容が、T角が40(±10)、 CDロスは0.9～1…

メーカー・取扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社

【資料】Cu/Moエッチング液 SDM ver.69

Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！

当資料は、「Cu/Moエッチング液」のSDMをご紹介している、 バージョン69です。 「PESENG基板 実験条件 概要」では、膜構成がCu/Moで、膜厚は560/25、 T角は45(±10…

メーカー・取扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社

薄片研磨用 試料研削機『 プレパラップステップオート 』

全自動研削機　研究室・検査室用

小型平面研削盤「プレパラップ」のテーブル移動を自動化、切込を自動定寸化させた研削盤。 1回の切込量は 0.001mm～ 設定可能。 本機は、試料をセットし数値の設定のみで自動定寸切込により薄片の研磨が…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

試料研磨機 『 スピードラップ 』　 　硬組織標本・薄片用研磨機

組織片の大きさや厚さによりラップ定盤の回転と加工圧（エア）を調整可能、極薄の研磨薄片を作る両面ラップ式の自動薄片研磨機

2枚のダイヤモンドラップ盤を向かい合わせてあり、硬組織切片を間に挿入して研磨することにより、極薄の研磨薄片を作る両面ラップ式の自動薄片研磨機 【　特　徴　】 ・ 40mm角程度の骨切片を、10μm…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

卓上平面研削機 テクノラップ、テクノラップステップオート　研究用

教育機関、研究室・実験室向けに小型化した立軸平面研削機。カップ型ホイールを装着し高い平面度が求められる試料研削に対応。

教育機関、研究室・実験室向けの小型卓上平面研削機 ■主軸回転数は無段変速、試料の加工特性に合わせて回転数が調整可 ■研削切込量が最少0.01mm（ステップオートは0.001mm）から設定可能で試…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

精密切断機 『 コンポジッター 』　　研究室・実験室用

精密切断機『 コンポジッター 』　※複合材料切断・薄板切断　研究室、試験室向け

広い作業台と高い操作性の上刃式薄板材専用の切断機。FRP・CFRP・GFRP、板ガラス・セラミックス基板などのマルチ切断に。 切断機の生命線である主軸は、ベアリングスパンを広くとりブレード先端部の振れ…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

ELID搭載　切断機「ワン・ツー・カットIII型」理学・工学研究

≪ 第12回中小企業庁 長官賞受賞 ≫ マルトーと理学研究所の技術指導により開発された高精度切断機。安定した砥粒突出量で研削可能

マルトー社と理学研究所の技術指導者により開発された 高精度な切断機 ■□■特徴■□■ ■切断および研削砥石にELIDを行う事により、常に一定の砥粒の突出量を得ることができ、安定した研削が…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

平面研削機 オートロンミニ1型　自動立軸平面研削　学術・研究向け

小型の自動立軸平面研削機として開発、材料特性に合わせて主軸回転数、切込量、送り速度が自由に調整できます

材料特性に合わせて主軸回転数、切込量、送り速度の選定が幅広くできます。 ■ 材料特性に合わせて主軸回転数、切込量、送り速度の選定が 　 幅広くできる ■ 砥石軸の設定切込量が0.1μm/pass…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

難削材料切断機 ミニセラミクロン　オシレート精密切断　理学・工学

理学・工学研究用に最適な切断機。切断時のチッピングやクラックの発生を防ぐ為に加工条件の選定が可能。1枚刃で精密切断を行う切断機。

切断時のチッピングやクラックの発生を防ぐために、加工条件の選定が可能な設計。 1枚刃で精密切断を行う難削材用の切断機 【　特　徴　】 ■ 高能率自動切断ができる ■ 砥石250Dmm使用で、M…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

マルトー 試料乾燥機　両手が使えるフットスイッチ、温度調節機能付

室温～60度まで送風温度が調整可能な試料乾燥機。電源ON/OFFはフット式で両手フリー。ノズル先端は自在式、試料サイズにセット可

電源のON、OFFはフット式なので、両手はいつでも自由に使えます。上下方向左右方向自在式で、試料の大きさに合わせてセットできます。 ■フットスイッチ式 　 電源のON、OFFはフット式なので、両手は…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

小型レシプロ切断機　ミクロンマイスター　卓上型　高精度

小型精密切断機（卓上置き）。連続浅切り込み方式。充実したオプションを用意しており様々な用途に対応。

レシプロ切断方式のコンパクトな卓上精密切断機 ■□■特徴■□■ ■最小切り込み量0.1μm/passで設定可能のため 　 極薄刃（100μm以下）や微細砥粒刃（＃1000以上）の使用が可…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

【加工事例】シリコンブロックの切断・研磨

株式会社マルトーのシリコン加工事例をご紹介。

10×10×10mmのブロック切り出し、及び全面鏡面研磨を行った 事例をご紹介いたします。 【概要】 ■切断（ブロック切り出し） 　・アドフィックスでセラミックスマウント台に固定したシリコ…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

【加工事例】電気化学測定用電極の機械研磨

株式会社マルトーの金電極加工事例をご紹介。

サイクリックボルタンメトリーの試験後、電気化学測定用電極の表面を 再生（使用済サンプルの除去及び表面状態の改質）を行った事例をご紹介します。 【概要】 ■研磨 　・電気化学測定用電極（φ6…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

精密ラップ研削機 『ラポテスターGP2型』　 研究室・試験室向け

研究目的に合わせて様々な条件下での研磨・研削が可能なラップ研削機。新材料の研削・研磨加工及び、加工条件テストが可能。

新材料の研削・研磨加工はもとより、組織観察用試料の作製や高精度鏡面研磨、CMPなど多岐にわたる加工条件テストができます。 ■ 切込方式は、強制切込方式と定圧研磨方式とが選択でき、上定盤・下定盤共に独…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 …

メーカー・取扱い企業： 東京電子株式会社

特殊構造採用の電気ヒーター　気体加熱器『クリーンホット』

断熱材不要で高効率、クリーン加熱が可能なヒーター！気体加熱器「クリーンホット」はヒーター曲げ技術を生かした電気ヒーターです！

気体加熱器『クリーンホット』は、特殊ヒーターおよび特殊構造の採用に より加熱効率がよく、加熱対象ガスをすばやく昇温し、正確な温度制御が 可能な電気ヒーターです。 内部特殊構造により、断熱材を…

メーカー・取扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

耐水性・耐薬品性の高い業務用LEDベースライト

次亜塩素酸やアルコールを使用する場所にも使用できるLED！ステンレス金具で取付簡単。食品工場に納入実績多数。

『X-powerシリーズ』は、-40℃までの冷凍庫や冷蔵庫にも使用可能であり、 非常に適用範囲が広い汎用タイプの防水（IP65）LED照明器具です。 食品工場または冷凍倉庫用として幅広い分野へ…

メーカー・取扱い企業： 株式会社電費半分 本社、埼玉営業所

高精度低荷重フリップチップボンダーCB-600 アスリートFA製

搭載精度±1[μm]、超低荷重0.049[N]を実現！極低荷重対応の高精度ボンディング

『CB-600』は、超低荷重対応のフリップチップボンダです。 高精度Z軸制御を生かしたツールの引き上げ動作で、 セラミックヒータによる常温～ 450℃まで加熱接合が可能。 ヘッド交換で超…

メーカー・取扱い企業： 日精株式会社 本社

加圧・上面／両面ラップ対応 ドクターラップ付属品『パワーヘッド』

エア／ウエイトが選べる加圧研磨、大型試料や小型同一試料の多数研磨で役立つ上面ラップ式、高能率な両面ラップ式等、多様な研磨に対応。

切断・研磨で40余年の実績経験　マルトー製。 ML-182用マルチパワーラップユニット ※旧ML-180にも装着が可能です。 ドクターラップに装着することにより、様々な研磨方式が可能にな…

メーカー・取扱い企業： 株式会社マルトー 本社

UV完全カット防虫LED蛍光灯『X-powerシリーズ』

食品工場や半導体製造装置工場向けLED照明。交流用仕様と直流用仕様両方対応 。CE獲得輸出用機器向き

多くの昆虫が見ることができる光の領域は紫外線領域に大きく偏っています。 殆どの虫は400nm以下の光しか見えないが、一部の虫は570nmまでの光が見えています。 電費半分の防虫ランプは虫の可視…

メーカー・取扱い企業： 株式会社電費半分 本社、埼玉営業所

台湾製エンジニアリング・プラスチック製ねじ等

台湾製エンジニアリングプラスチックのファスナー等部品をお届けします。

絶縁性、耐蝕性、耐熱性、非磁性、軽量性等エンジニアリング・プラスチック（エンプラ）が持つ性質を 生かし、化工、医療・医薬、食品機械、機械設備等の分野で活用できる時代が来ています。 対応材質：PEEK、…

メーカー・取扱い企業： 三島国際貿易株式会社

エレクトロニクス･半導体業界向け硬さ･弾性率･粘弾性評価

セミコンダクタ・スマートフォンなどの研究開発のためのナノインデンテーション試験

エレクトロニクス･半導体産業では製品開発のためにナノインデンテーションテスタによる表面機械特性評価が用いられます。 微小荷重にてダイヤモンド圧子を対象サンプルに押し込むことにより、硬さ・弾性率・粘弾…

メーカー・取扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン

マニュアル式フリップチップボンダーCB-505 アスリートFA製

少量生産、各種実験に適したマニュアル式フリップチップボンダー

『CB-505』は、汎用性の高い装置コンセプトにより、各種パッケージ(※１)、各種接合プロセス(※２)に対応しています。 ※１　MEMS、５G、データ通信、ミリ波センサ、フォトニクス、 AR分野…

メーカー・取扱い企業： 日精株式会社 本社

卓上型フリップチップボンダーCB-200 アスリートFA製

超省スペース、100[V]電源対応のセミオートFCボンダー

『CB-200』は、少量生産及び多品種生産に適応します。 汎用性の高い装置コンセプトにより、各種パッケージ(※１)、各種接合プロセス(※２)に対応しています。 ※１　MEMS、５G、データ通信…

メーカー・取扱い企業： 日精株式会社 本社

受託サービス：デバイスの質量ガス分析

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造…

メーカー・取扱い企業： 東京電子株式会社

《ソノシス》超音波スプレーノズル

レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

超音波スプレーノズルで形成された粒子（液滴）はピエゾ部分の振動で砕かれます。 即ち、加圧式と異なり粒子にスピードがありません。 そのため、自然に落下してしまうか、風の影響で浮遊してしまいます。 …

メーカー・取扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

266nm ナノ秒パルス 固体レーザー

産業用 266nm パルスレーザー　0.5W-3Wモデル

産業用 微細加工用レーザー (Advanced Optowave Corp.社製)は、電子部品や半導体製造用途向けに多くの生産現場で使用されています。多くは24/7で運用されており、高い信頼性能を評価…

メーカー・取扱い企業： サンインスツルメント株式会社 本社

小型実験機で高精度を実現　スリット式塗布装置　リサーチコータ

様々な塗布条件や材料に柔軟に対応、高精度な塗布均一性を実現したコンパクトなスリットコーター（ダイコーター）。

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）…

メーカー・取扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

【低ガス放出　セラミックス】電気絶縁部品　「ブッシング」

【RoHS　環境対応品】絶縁性や耐熱性に優れたセラミックブッシングです。分析機器や真空装置の部品として幅広く採用されております。

■□■特長■□■ ●優れた電気的特性 ●高耐熱性 ●低吸水性 ●優れた機械的特性 ●長寿命 ●低ガス放出 ■□■製品例の他にも貴社の技術仕様に合わせて多様な形状を承りますので、 お…

メーカー・取扱い企業： 株式会社友玉園セラミックス

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。現地での排気ガス成分分析による処理剤設計もします。

乾式除害装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。 トムクリーンを処理対象成分に合…

メーカー・取扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式スパッタリング装置

高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 …

メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

X線TV検査装置『SOFTEX SHR-90』

SOFTEX製Micro-focus搭載！超高解像度を実現したX線TV検査装置

『SOFTEX SHR-90』は、SOFTEX製 X線発生器、高解像度Flat Panel Detectorを 搭載しており、従来のX線検査では見えにくい製品の検査が可能になった X線TV検査装置…

メーカー・取扱い企業： ソフテックス株式会社 営業本部

プラスチックバネ(スプリング)

「ばねの革命児」プラばね！ ～プラスチックバネとは思えない反発力と耐久力～

プラばねは、金属ばねにはない軽量性・耐薬品性・絶縁性・断熱性・非磁性・デザイン性などの特長を兼ね備えています。 同じ形状でも素材を変えることにより特長が変化しますので、お客様のご要望に合わせた「…

メーカー・取扱い企業： 日本ケミカルスクリュー株式会社

精密ロックナット『TWIN FU-NUT』

プリべリングトルクタイプの精密ロックナット

『TWIN FU-NUT』は、プリべリングトルクタイプの精密ロックナットです。 2枚のフリクションリング（特殊バネ）で、「FINE U-NUT」の ゆるみ止め性能をさらに強化しました。 …

メーカー・取扱い企業： 株式会社冨士精密