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大気圧マイクロホロープラズマ ロボット搭載μ-AP大気圧プラズマ
第4の状態(プラズマ状態)を大気圧下で作り出す装置です。
大気圧マイクロホロープラズマ ロボット搭載μ-AP大気圧プラズマは、第4の状態(プラズマ状態)を大気圧下で作り出す装置です。電極構造をホロー形状にし、ホロー部で電子密度のプラズマが増加し、高密度のプラ…
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Radimoラジカルモニター <対向型ラジカルモニターDP型>
世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。
Radimoラジカルモニター <対向型ラジカルモニターDP型>は、エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の原子状ラジカルを計測し、プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置。世界…
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