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光学式エリアスキャナFlying Spot Scanner310
12inchウエハの全面厚み測定が可能。走査ステージレスで、振動の影響無しで高速測定。オンライン、オフライン、ウエハ検査用途に。
Flying Spot Scanner310』は、XY2軸のガルバノミラーにより広範囲(~φ310)のエリアスキャンができる光学式測定器です。ステージ走査が不要なため、ステージからの振動の影響もありま…
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厚み測定-光学センサ『CHRocodile 2LR ver2』
非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。
新製品『CHRocodile 2LR ver2』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。前回の『CHRocodile 2LR』と異なる新ディテクタを採用し、約2倍の厚み測定範囲…
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不透明体の非接触厚み測定 レーザフォトサーマルセンサ 導入事例有
不透明体の厚み高精度測定なら、Enovasenseの レーザフォトサーマルセンサ。材料に依らず、最小10nmから厚み測定可能。
フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 ■特長 ・非接触で、不透明体の厚み測定が可能。 破壊試…
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高速・高精度な厚み測定、形状測定に!プレシテック社 非接触センサ
色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・高精度な厚み測定、形状測定に強み。様々な材質に対応可!
プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した 光学式センサの開発・製造をしています。 高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、ウエハ厚み、エッ…
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3次元形状測定用ラインセンサCHROCODILE CLS2.0
非接触ラインセンサCLS第二世代。高精度・高速・広範囲の3次元形状測定。エッジや斜面へ最適な高許容角度性。ウエハ厚みで多数実績。
新製品『CHROCODILE CLS2.0』は、951万ポイント/秒で非接触高速3次元形状測定を実現できます。分解能も最大Y2um, Z 0.05umと、非常に高精度な測定が可能。全世代品より、測定時…
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蓄電池・バッテリーの測定をサブミクロン分解能で高速高精度で測定
高温環境での平坦度測定や製造工程中の異物検査、ボタン電池のエッジ形状検査、セパレーター厚みやコーティング厚みの測定等の実績豊富!
当社は色収差共焦点・干渉を原理とした非接触タイプの測定器を取り扱っています。 膜厚測定、形状測定、粗さ測定、変位測定、外観検査に適用でき、加工中のインプロセス測定やインラインでの高速検査、オフラ…
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小型で安価な高精度光センサ『CHRocodile Mini』
高精度・高速で、安価なシングルポイントセンサ。厚み・距離・高さ測定用に組込み可能なセンサ。半導体ウエハ検査用途にも最適。
『CHRocodile Mini』は、100万円以下の安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度な測定/検査が可能で、nm分解能の距離測定、最大4表面、3層厚みの同時測定もできます。粗面、鏡…
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非接触厚み測定 光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」
薄膜(数um)~厚膜(780um)まで高精度に測定できる幅広いプローブをラインナップ。ウエハ検査用途にも。
『CHRocodile 2シリーズ』は、サブミクロン分解能でウエハ厚のインプロセス測定が可能な非接触センサーです。 抜き取りでの品質管理にも使われています。半導体業界の他、コンシューマー家電、ガ…
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【資料】コンシューマー向けエレクトロニクス製造プロセス向け製品
コンシューマー向け!色収差ラインセンサーによる形状及び厚み検査などを掲載しています
当資料は、コンシューマー向けエレクトロニクス製造プロセス向け製品の アプリケーション事例及びご提案を掲載しています。 光学ポイントセンサーによるサブミクロン精度による変位、形状、 厚み測定を…
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バッテリー製造及びそのコンポーネント検査向けセンサーのご紹介
各センサーの測定原理や対応センサー、製品情報、使いやすさなどをご紹介!
当資料では、プレシテック・ジャパン株式会社で取り扱う、さまざまな コンポーネント検査向けセンサーの性能についてをご紹介しております。 「色収差共焦点シングルポイントセンサー」や「光学ポイントセ…
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光学式エリアスキャナ「Flying Spot Scanner」
振動の影響を受けずに高速エリアスキャン。オンライン、オフライン、品質管理、ウエハ検査用途に。
『Flying Spot Scanner』は、XY2軸のガルバノミラーにより広範囲(~φ80)のエリアスキャンができる光学式測定器です。ステージ走査が不要なため、ステージからの振動の影響もありません。…
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新色収差共焦点センサー『CHRocodile MPS 2L』
サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無!ホットエンド工程にも対応可能
『CHRocodile MPS2L』は、同時に24測定ポイントができる 新色収差共焦点センサー(MPS)です。 波長差は一定の厚さに対応。 複数ポイントを1つのプローブヘッドで対応可能です。…
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CHRocodile 2DPS+CHRocodile 2IT
半導体向けインプロセス中におけるウェハー厚み測定センサーのご紹介!
当資料は、ウェハー厚み測定センサーについて掲載しています。 接触ゲージとの置換に好適な「CHRocodile 2シリーズ」をはじめ、 半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザインなどをご紹介…
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高速カメラ『CHRomatic Vision Camera』
インライン向けの高速で、高精度な外観検査用のラインカメラです。ウエハ検査用途にも。
『CHRomatic Vision Camera』は、高速な外観検査用のラインカメラです。 色収差共焦点原理を利用しているため、焦点深度が最大3mmと広いタイプです。 焦点合わせが不要となり…
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厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』
ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応
『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア…
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厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』
多種多様な材料の厚み測定、広い測定レンジから加工中と加工前後を1台で対応!ウエハ検査用途にも。
プレシテックの2ITシリーズは、分光干渉法を利用した非接触の厚み測定用センサでです。 高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ・フィルム・コーティング・エアギャップなどの 厚み測定・検査など…
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エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』
XYステージ不要!分光干渉原理による厚みと距離(変位)測定が可能!ウエハ検査用途にも。
『Flying Spot Scanner』は、分光干渉測定技術と高速スキャン システムを結合したスキャナです。 80mm径を高速スキャンしオフライン、インライン、品質管理に対応。 定義可能な…
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3次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』
サブミクロン精度で高速・広範囲を3次元形状測定。エッジや斜面にも対応できる広い許容角度が特長。ウエハ検査用途にも。
『CHRocodile CLS』は、100万ポイント/秒で高速3次元形状測定を実現できます。分解能も最大XY 1um, Z 0.02umと、非常に高精度な測定が可能。レンジ幅、分解能、精度から最大6種…
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小型光学式厚み/距離測定用センサ『CHRocodile C』
コスト重視におすすめな安価なタイプ。厚み測定、距離測定用センサ。ウエハ検査用途にも。
『CHRocodile C』は、安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度は他のラインナップと変わらず、nm分解能の距離測定 最大4表面、3層厚みを同時測定できる厚みセンサとして使用できます…
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画像センサ『CHRomatic Vision Camera』
振動の影響不要!環境に依存せず簡単な操作性を実現します!ウエハ検査用途にも。
『CHRomatic Vision Camera』は、ラインカメラをベースとして 色収差共焦点原理を応用した製品です。 コンパクトで組込みシステムをコンセプト(外部光源不要)で chroma…
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