ガス化 | イプロスものづくり

PR防災・停電対策・BCP対策向け非常用電源には災害に強いLPガス発電機を…

豊富なラインナップからお客様に適した発電機をご提案。【LPガス発電機のメリット・優位性】 ■ガソリン発電機のように使用後放置してもキャブレターが詰まらない ■スズがでず、大気汚染物質の排出量が少なく、CO2も削減できる ■燃料の保管が容易のため、必要な量に応じて備蓄可能。72時間も対応可能。【LPガスのメリット・優位性】 ■分散型エネルギーで復旧が早い。 ■国土強靭化計画で「エネルギー供給...

メーカー・取り扱い企業：富士瓦斯株式会社（フジガス）

ポータブル元素分析装置『MH-6000A』【設置工事不要】

PR＜液体の濃度変化にタイムリーに対応＞設置工事不要のため【現場分析/即時…

『MH-6000A』は、液体の濃度変化をタイムリーに管理したい場合や、現場分析する際にお勧めのポータブル元素分析装置です。 ◇活用現場事例◇ ◎非鉄金属精錬 ◎金属表面処理 ◎飲料製造 ◎水耕栽培 ◎発酵・培養 etc... 小型で工事不要のため、分析ニーズのある場所に配置が可能。即時分析ができ、DX化に寄与。また、波長帯と分解能の調整もでき、アルカリ溶液の測定も可能です。ガス配管...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロエミッション

特殊構造採用の電気ヒーター　気体加熱器『クリーンホット』

断熱材不要で高効率、クリーン加熱が可能なヒーター！気体加熱器「クリーン…

気体加熱器『クリーンホット』は、特殊ヒーターおよび特殊構造の採用により加熱効率がよく、加熱対象ガスをすばやく昇温し、正確な温度制御が可能な電気ヒーターです。内部特殊構造により、断熱材を使用しなくても外装パイプ表面温度の低温化を実現。断熱材不要なためクリーンルームなどの環境で使用可能。ヒーター容量（W）に応じて6種類のラインナップから選択可能です。製造業現場においての...

メーカー・取り扱い企業：新熱工業株式会社本社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替え…

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材です。 BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。【特長】 ■到達真空を改善 ■銅...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

乾式除害装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択することにより、多種多様な排気ガスに対応できます。...【幅広い対応範囲】　各種処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに　最も適した処理剤の選定ができます。　また...

メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

実績豊富なバッチタイププラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」をベースとし最大Φ６００ｍｍもしくは５００ｍｍ□までステージを拡大。大型ステージでファインピッチのエッチング・各種有機物のアッシング・表面改質・クリーニングなど幅広いプロセスに対応「従来機種ＥＸＡＭ」同様にウェハ・ガラス・セラミック基板のエッチングを行なうと共に大型実装基板・カット済みのフィルム基板のエッチング・クリーニング・表面処理...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム…

『TD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な集積化ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより効率の良いヒーティングが可能。流量の再現性が求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサ（前駆体）供給に適しています。【特長】 ■高温環境に対応 ■安定したCv値 ■PFAシー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

小型圧力ゲージ　ＰＧ−２０

半導体のガス供給系の集積化システムに対応した小型圧力ゲージ

半導体のガス供給系の集積化システムに対応した小型圧力ゲージ＜特長＞ ■表示部外径20mm(1.125インチ)／1.5インチベースブロックへの着脱が容易 ■視認性に優れた3・1／2桁LEDデジタル圧力表示 ■配管の方向に合わせて表示部の回転が可能 ■スイッチ出力（NPN／PNP）、電圧出力、電流出力の選択が可能 ■センサ素子と継ぎ手は電子ビーム（EB）溶接による一体構造 ...

メーカー・取り扱い企業：ニデックコンポーネンツ株式会社 (旧社名: 日本電産コパル電子株式会社)

脱気システム Livalley

気泡の原因を元から除去！既存プロセスに後付けするだけで溶存酸素を10p…

半導体・電子部品、食品、医薬品、化粧品業界の皆様からの問い合わせ多数！通常の純水に溶け込んでしまう空気の成分である窒素、酸素のガス成分を減圧や気液分離方式で取り除き、コントロールすることにより減少させた脱気水を用いて、既存プロセスの歩留りを改善します。 ■特徴１：生産・検査・試験プロセスの歩留まり改善液体に溶け込んでいるガス成分（窒素、酸素等）を高効率で除去、または供給することで液...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東設本社ヘッドオフィス

スパッタリングの基礎知識

【技術資料を無料進呈】緻密で硬質な成膜が可能！自動車のミラーなどの生産…

フィルムやガラスの基材の表面に薄膜を形成する手法には、塗布、印刷、めっき、蒸着などがありますが、金属やセラミックで構成されるナノレベルの薄膜を精度高く形成するために使われるのが「スパッタリング」という技術です。実際のスパッタリングにおいて「石」の役割を果たすのが、真空の容器（真空チャンバー）内に充填されたアルゴン（Ar）などの不活性ガスです。スパッタリングでは真空中にア...

メーカー・取り扱い企業：デクセリアルズ株式会社

大気圧プラズマ生成用電源

パルス放電での大気圧プラズマ生成に

いた大気圧アーク放電です。そのためマッチング等の調整が不要です。・パルス電源なので、室温からの処理も可能です。投入電力を増やすことで最大400℃程度の領域まで可能です。・ガス種に依存せず、ガス化できるものであればほとんどの物質をプラズマ化出来ます。・１台の電源で多チャンネル出力が可能なので、低コストで大量処理が可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社栗田製作所本社・京都事業部

卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』

初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能！研究ステージに合せてグレー…

『FDS/FRSシリーズ』は、必要な機能を備えた研究開発用の卓上型マグネトロンスパッタ装置です。基本仕様は、DCスパッタ/シングルカソード/ロータリーポンプで構成される金属薄膜用スパッタ。 RF化、カソード増設、ターボ分子ポンプ仕様などの拡張オプションにより、研究ステージに合せてグレードアップしていただくことが可能です。【特長】 ■初期導入コストを抑え、後の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社FKDファクトリ

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！【特長】 ■広い測定範囲を実現（10＾5Pa ～ 10＾...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

撥水コーティング装置テスト受付中

プラズマ処理で撥水コーティング。低温処理で樹脂フィルムに対応。サンプル…

エッチング・クリーニングで実績豊富なプラズマ技術で撥水コーティングに対応。樹脂フィルム・ガラス・金属薄膜、多種の基板を撥水処理。プロセス変更で親水化やクリーニングにも対応コパクト・リーズナブル・高信頼性、サンプルテストでプロセス開発に協力。実績と対応のプラズマ表面処理装置...標準２５０ｍｍ□の処理ステージで各種表面処理（撥水化・親水化・表面酸化・クリーニング）基板と目的に合わせて...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

2,000℃を超えるカーボン加熱炉の開発・設計・試作支援

光ファイバの線引炉やガラス化炉で30年の実績がある加熱炉・加熱システム…

古河電気工業（株）でコーポレートの生産技術部門に26年間所属し、生産技術開発センター長を５年勤めました。主に光ファイバの開発・量産ラインへの装置導入の業務を行ない、現在も導入した装置が現役で活躍しています。私が担当した1980年後半から通信バブル崩壊するまでは毎年線引速度が高速化しプリフォーム径も大型化してゆく時代でした。私が担当した当時は、購入した線引炉の水漏れがたびたび起きて、自社で線引炉...

メーカー・取り扱い企業：プロセスD&Tラボ千葉

電解複合研磨とは

SUS・アルミなど加工可能材質多数！金属の溶出作用＋機械的擦過作用した…

「電解複合研磨」とは、電解による“金属の溶出作用”と研磨剤による “機械的擦過作用”を複合した表面研磨方法です。施工法は、電解現象によって被研磨面(陽極)に生じる不動態化被膜のうち、凸部に生じた被膜のみを砥粒擦過により除去し、この部分に選択的に電解溶出作用を集中させ金属鏡面を得ることができます。樹脂攪拌層をはじめ、粉体機器や化学工業機器などに適用されています。【効...

メーカー・取り扱い企業：三和産業株式会社

高耐熱樹脂　『PEEK』　【短納期　小ロット　対応可能】

半導体、航空宇宙、食品、医療などでマルチに活躍する高性能樹脂！切削…

PEEKは「高耐熱性」「機械的強度」「耐薬品性」などに優れた熱可塑性高機能樹脂(スーパーエンプラ)。 PEEKは連続使用温度約250℃、融点は334℃で熱可塑性樹脂で最高ランクの熱的特性を誇る。耐薬品性に非常に優れており、高温下での耐酸・耐アルカリ性に非常に優れている。又、幅広い周波数範囲で優れた絶縁性・誘電特性を発揮。 PEEKは切削による1個からの対応に加え射出での量産ロットにも対応可...

メーカー・取り扱い企業：ナラサキ産業株式会社メカトロソリューション部　機能材料課

卓上型ＵＶ照射装置　MUV

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

処理が出来、表面改質やウエ　ハ洗浄等の処理プロセスの開発に最適 ○ウエット洗浄とは異なり廃液を出さず、試料に物理　的ダメージを与える事なく高度な洗浄効果が得られる ○有機汚染物質はガス化して排気される為　有機汚染物質の再付着が起こらない ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

化合物半導体用電極膜アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…

Ｓｉプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。ＧａＡｓ用のホットプレートタイプに比べ高温（９００～１０００℃）まで対応。窒化膜半導体の電極の合金化に実績。急速昇降温型の加熱炉を装備し、均一な加熱と最適な温度プロファイルで電極膜のアニールを制御。生産量・プロセスにあわせて最適な装置構成を提案可能な実績豊富なウェハプロセス用熱処理装置。 ...横型石英管...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

プラズマクリーナー　G1000

ボンディングパッドの洗浄(ボンダビリティ向上)、表面改質・親水化(モー…

G1000 / G500は、ガスプラズマのエッチング効果を利用して低圧環境下で洗浄対象物の表面をクリーニングするシステムです。ご用途に合わせて使用するガス(アルゴン、酸素、水素＋アルゴン等)を選択することにより、有機質のみならず無機質汚染も確実に除去します。 HIC基板やリードフレームのボンディング面洗浄によるボンディング強度の向上や、表面改質(親水化)による濡れ性改善に最適なシステムです。...

メーカー・取り扱い企業：ハイソル株式会社

ペン型大気圧プラズマ装置P500-SM

【国産】超小型、微細な加工やラボ用途に適した、ペン型タイプの大気圧プラ…

洗浄・表面改質・親水化・接着強化に優れた、ペン型タイプの大気圧プラズマ装置の販売・レンタル・受託をおこなっております。【特徴】 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によってはサンプル表面を40℃程度に。) ■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。 ■窒素のみを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）

急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングな…

実績豊富な真空半田付装置の基本構成を応用。半田付用の熱板加熱で高速熱処理。高密度実装基板・プリント板の成膜前の脱ガス・乾燥。セラミックス材料の乾燥など多用途に最適。太陽電池セルの低温べ―クや薄膜のアニールにも有効でインライン化にも対応。...急速加熱用熱板で３００ｍｍ□の基板の処理に対応。基板冷却機構により短時間・短タクト処理を実現。長時間の加熱によるダメージが問題となる基板に安定した...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応しコンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCのグ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【国産】ペン型大気圧プラズマ装置

表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…

『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます！ペン型トーチ採用で微細な加工やラボ用途に適し、初心者でも簡単に取扱いできます。【特長】 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によっ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

酸化シリコン成膜CVD装置

3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しま…

当製品は、酸化シリコンを成膜する為のCVD装置です。コンパクトな設計となっており省スペース化を実現。内面処理は電解研磨、チャンバー材質はSUS316です。また、3インチウェハ対応となっております。【特長】 ■酸化シリコンを成膜 ■コンパクトな設計となっており省スペース化を実現 ■3インチウェハ対応 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック

高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』

IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…

高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。ウエハーをIPA（イソプロピルアルコール）の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置『TIDシリーズ』は、IPAの品質管理...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

水溶性パーツ洗浄機『トレント』

圧力･温度･水溶性洗剤の組み合わせにより強力に素早くパーツ洗浄が可能

『トレント』は、水性ベースの高性能パーツ洗浄機です。【特長】 ●自動機械では洗浄できない部分も、素早く細部まで洗浄が可能 ●カバーがあるので洗浄剤の飛び散りがない ●定額のレンタル料でメンテナンスを実施するので、大型初期投資が不要で経費を削減可能 ●人体に無害な水溶性洗剤を使用 ●水洗浄可能なあらゆる金属とパーツ洗浄が可能 ●洗浄液の油分を分離し、洗...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナデン本社

Smart film Vacuum Conditioner

PET Filmの前処理　&　Filmの熱収縮の調整　＆ITO膜の連続…

Smart film Vacuum Conditioner(SVC)はPET Filmの脱ガス・脱水分などの前処理及びFilmを無張力状態に加熱処理することで、Filmの熱収縮の調整（平坦化）、ITO膜の連続的な結晶化処理が可能な設備です。 ■装備特徴 • Flimを無張力で熱処理して0.1%以下の極低熱収縮Filmを生産 • 均一な基板温度に加熱可能 (基材の平坦化) ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＳＵＫＷＯＮ

次世代クリーン化技術！超音波非接触浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…

従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに搬送・低破損率 ....

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケー・ブラッシュ商会本社

超高性能光学薄膜用蒸着装置「Sapio 1300/1550」

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

超高性能光学薄膜用蒸着装置「Sapio 1300/1550」は、新開発のファイバー式光学モニターの採用や、安定した温度制御が可能な80点モニターガラス機構を搭載することで設計通りの特性が得られる高精度を実現しました。徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。【特徴】 ○高効率排気システム ○低パーティクル仕様（オプション） ○高精度...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

気体加熱用特殊ヒーター「クリーンホットヒーター」

特殊な内部構造により断熱材不要！高効率、高速昇温！クリーン加熱 (特…

気体加熱ヒータークリーンホットは、外部への放熱を最小限に押さえ、ヒーターハウジング外面の低温化を実現したことにより公害の原因となる断熱材が不要となりました。同時に、熱効率が良くなった結果、気体加熱時間が短縮され短時間昇温を実現しました。さらに、ヒーターハウジング内の特殊構造により、ガスの流速を大きくとることができるので、ヒーター電力の密度を高く設定することが可能となり、大容量のシーズヒータ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インテリンク