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31件 - メーカー・取り扱い企業
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PRICタグによりウェア管理業務を省力化! 洗濯回数が把握できるようにな…
当社では、お客様のクリーンウェアにICタグを取り付け、当社工場への 入荷時と出荷時に専用のICタグリーダーで読み取りを行い、ウェアごとの 洗濯回数データを管理できる『ICタグによるクリーンウェア管理サービス』を行っております。 ICタグを取り付けたウェアごとに洗濯回数を個別管理できるため、 お客様が設定された洗濯回数を超えたウェアをタイムリーに交換可能。 ウェア劣化によるコンタミネー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社菱進
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PRエアステージLBTシリーズ
エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50mm~500mm エンコーダは用途により1um~0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...
メーカー・取り扱い企業: TOYO ROBOTICS株式会社
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全塗工工程が完全密閉状態で進む!最新鋭の技術を駆使したCEDコーター
【機械仕様】 ○塗工速度範囲:~400m/min ○塗工液粘度範囲:100~30,000mPas ○塗工厚み範囲:10~500μm wet 【製品紹介】 ○クリーンブース内CEDコーター →クリーンパーテーション内に塗工ヘッドを設置し、 塗工部でのクリーン度をアップ →「発塵を極力抑えたい」というお客様に最適 ○クリーン用カセットチェンジタイプCE...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノスマート
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短納期・小ロットでも対応可能です。 経験豊富な技術者による対応。 …
~100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶 各種設備装置 ・クリーンブース(クリーンルーム内に設置) ・スリットコーター ・卓上スピンコーター Φ500シリーズ (インナーカップ方式対応可能) ・卓上スピンコーター Φ300シリーズ ・ホットプレート ・...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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低粘度から・高粘度の液体を均一に塗布するロールコーター
ゴムロールのプロが設計する新しい発想の組み合わせ。クリーンなフィルムに均一にコーティングすることを可能にした、クリーン・コーティングソリューションです。 ...
メーカー・取り扱い企業: テクノロール株式会社
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塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度:数cp~10,000c…
m 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶 【テスト実験設備】 ・クリーンブース(クリーンルーム内に設置) ・スリットコーター 400×500mm ・卓上スピンコーター Φ500シリーズ (インナーカップ方式対応可能) ・卓上スピンコーター Φ300シリーズ ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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250℃のロール表面温度で±0.5℃以内の温度分布を実現するジャケット…
『超高精度誘導発熱ジャケットロール』は、オイルロールの設置が難しい クリーンルームでの高温精密加工を可能にしました。 可燃物を使わない安全でクリーンな電気式制御で、ナノレベルの厚み精度が 求められる光学用フィルムや、食品包装資材の加工に優れた特性を発揮します。 ...
メーカー・取り扱い企業: トクデン株式会社
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実験可能サイズ:600×700mm(最大) ランプ照度:50~140…
能サイズ:600×700mm(最大) ・ランプ照度:50~140mW ・ランプ灯数:5本 ・ステージ搬送速度:0.5~5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー:N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム:クラス10,000 ・接触角計での測定可能 【特徴】 ・高照度RF放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量:3.8kg 寸法:W3…
能サイズ:600×700mm(最大) ・ランプ照度:50~140mW ・ランプ灯数:5本 ・ステージ搬送速度:0.5~5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー:N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム:クラス10,000 ・接触角計での測定可能 【特徴】 ・高照度RF放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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~10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! マニュアル機やセミオート機のラインナップもあります! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ロール・スプレーコーターの置き換え!回転カップ式レジスト塗布装置
多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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生産設備・研究開発向け!薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供!
プロセスフローと対応装置】 ■洗浄 ・スクラブ式 ・スプレー式 ・UV洗浄 ■レジスト塗布 ・スピンコータ ・ロールコータ ・DIPコータ ■プリベーク ・ホットプレート ・クリーンオーブン ・IR炉 ■露光 ■現像 ・スプレー式 ・パドル式 ■ポスト・ベーク ・ホットプレート ・クリーンオーブン ■エッチング ・スプレー式 ・ディップ式 ■剥離・洗浄...
メーカー・取り扱い企業: 大村技研株式会社
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自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ)
レジスト塗布~露光~現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…
T社製) ■装置サイズ:(例)1650×1350×1800(Φ4"本体) 3000×1500×1800(□4"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(自走式ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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厚さ100um!極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置 コーター
GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績(…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー(塗布・現像)
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度~高粘度レジス…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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段取り替えなし!複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター
現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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両面プロセスに最適!両面自動フォトレジスト塗布装置 コーター
ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます!
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ガラスラミネーター
ネート装置実績にて、ラミネートロール、巻取り/巻出しロールの組み合わせは多種多彩に対応可能です。カスタマイズにてロール幅、ロール径、テンションコントロールの有無、EPC、セパレータ巻出し/巻取り、クリーン環境等々特殊用途にも対応可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: 新光エンジニアリング株式会社
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MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター)
BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能!高温ベ…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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室温・大気圧下で高品質な薄膜を形成!電着による塗布とX-Yロボットで高…
×600+突起物60(扉開時1050)(D)×600(H) 使用可能塗液:非導電性で極性溶媒を使用するもの 【ユーティリティ】 電源:AC100V 圧空:0.4MPa以上のクリーンドライエアー(圧空) 【オプション対応致します】 設計から製造まで弊社の技術者により製品を作っております。 お客様からの様々な要望に専任の担当者が親身に対応させて頂きます。 その他...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社魁半導体
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フォトレジスト量削減!回転カップ式塗布装置(スピンコーター)
ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効!回転カップ式スピンコータ…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【総合カタログ無料プレゼント】ディップコーター、ナノインコーター
実験・開発用卓上ディップコーター(ディップコーティング装置)、ナノイン…
きるマイクロスピードディップコーター、 窒素とのガス置換機能を備えたBOX とナノインコーターとの一体型装置、 ワーク表面に離型剤を定着させるナノインコーター(円筒型対応)、 ハイスペックのクリーン度を要求される方に最適な超音波洗浄槽付き洗浄装置、 プリント基板製造工程で、ドライフィルムに代わるパターンレジストを板状の 銅板に連続塗布、乾燥、冷却を自動で行う全自動ディップコーティング装置...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SDI
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ワーク幅 300~1500mmに対応!片面・両面小幅アプリケーション
【特徴】 ○68シートのプリカット粘着シートロールが標準品として付属 →メンテナンスが簡単 →優れた粘着性でクリーンロールとの併用でさらに効果を発揮 ○ラップアングルでのアプリケーション専用にデザインされている →極めて狭いスペースの設置に対応可能 ○空間と製造ラインの状況によりガイドロールを設置すること...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤンゴージャパン
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IC・MEMSの実験に適した安価で超小型!即稼働の実験装置をご提案!
で高性能な小型装置を取り 揃え、安価・小型化・高性能・短納期をモットーに研究費削減の逆風に 立ち向かいます。 【特長】 ■全工程の小型装置の提供 ■サプライ製品も品揃え ■Miniクリーンルーム設備も ■コンパクトで高性能な小型装置を多数ラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アシストナビ
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研究・試作用途に最適!各種乾燥方式を選択可能な高精度設計塗工機
します。 【特長】 ■研究、試作用途に対応した高精度設計 ■各種カセットチェンジコーターラインナップ ■各種乾燥方式(乾燥ノズルを選択可能) ■設置場所を選ばないコンパクト設計 ■クリーン対応 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノスマート
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低粘度~高粘度レジスト対応!小口径~大口径まで、どのウェハサイズの装置…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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大型角基板用(~430mm)回転カップ式自動レジスト塗布コーター
430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます!正方形、…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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角基板対応自動レジスト塗布・現像装置(コーター・デベロッパー)
低粘度~高粘度レジスト対応!どのウェハサイズの装置も作製可能です!
■現像ノズル:1組 ■リンスノズル:1組 ■ベークユニット:3組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタリングユニット:1組 ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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10000cP!高粘度対応自動レジスト塗布装置(スピンコーター)
10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能!ASAP(エイ・エス…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高粘度フォトレジスト対応!密閉式自動レジスト塗布装置(コーター)
高粘度フォトレジスト塗布に自信があります!10000cPのポリイミドで…
ニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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コンパクトな生産機としても機能!企業の研究・開発を支えるラボ塗工機
します。 【特徴】 ○研究、試作用途に対応した高精度設計 ○各種カセットチェンジコーターラインナップ ○各種乾燥方式(乾燥ノズルを選択可能) ○設置場所を選ばないコンパクト設計 ○クリーン対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノスマート
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