射出成形機用オートメーションシステム『KePlast』

PR制御装置、コントロールパネル、I/Oコンポーネントの幅広いスケーラビリ…

『KePlast』は、プラスチック機械用に特別に開発された制御システムです。 簡単な油圧射出成形機から全電動射出成形機、さらにロボットによる追加処理を伴う複雑な多成分系まで使用目的の全範囲をカバーしています。 i1000シリーズ、「新製品」i1100シリーズ、i2000シリーズ、「新製品」i3000シリーズ、i8000シリーズのコントローラは容易な開発と高機能により、お客様の生産性を向上します...

メーカー・取り扱い企業： ＫＥＢＡ　ＪＡＰＡＮ株式会社

長寿命・高性能フッ素樹脂（ＰＴＦＥ）パッキン≪オムニシール≫

PR高温から極低温、超高圧から高真空、過酷なニーズに対応するフッ素樹脂（Ｐ…

オムニシールはPTFEと耐食金属スプリングを組合せたSAINT-GOBAIN PERFORMANCE PLASTICS社の高性能シーリングです。 ロケットの燃料系シールとして開発されたオムニシールも現在では医療機器、分析機器、食器機械のほか、 油・空圧機器、ポンプ、バルブといった一般産業用としても幅広く使われています。 【特長】 ■ほとんどすべての化学薬品（酸、アルカリ、有機溶剤など）...

メーカー・取り扱い企業： タフトレーディング株式会社

メカニカルブースタ　SMB-Cシリーズ

【省エネ】最少の消費電力で排気能力を最大化するメカニカルブースタ

下記仕様もございます。 ●SMB-Dシリーズ アルミ製で軽量・コンパクトな機種です ●SMB-DMシリーズ マグネットカップリングにより大気圧からの運転が可能です ◆◇◆詳しくはお問い合わせください◆◇◆...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

標準バッチタイプスパッタリング装置（ＳＲＶシリーズ）

多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ

コンパクトな筐体に３元のカソードを組み込んだ標準バッチタイプスパッタリングシリーズ。広い膜厚分布均一範囲と自動制御機構によって各種電子デバイスや関連材料の成膜工程をの基礎開発から量産までカバーします。 多くの納入実績に支えられた成膜プロセスとオプションにより御要望を確実にサポ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SSHシリーズ

省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポン…

豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、 省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを 有したスマートドライポンプです。 ●独自設計の面シールスクリューロータにより、 ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドラ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

標準バッチバッチタイプ蒸着装置（ＡＭＦシリーズ）

電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。Ｒ＆Ｄ用の多目的小型研究用から…

半導体・ＭＥＭＳ・各種電子部品（センサー、水晶振動子等）の研究開発から本格量産まで幅広く対応する標準型蒸着装置のラインナップ。 全機種クリーンルーム、クリーンバキューム対応で各種選択機構を装備。 実績豊富な標準仕様から個別要求に細やかに対応。 蒸発源・加熱温度・基板機構（プラネタードーム・公転ドーム）操作・ロギングソフト　全てカスタマイズＯＫ 社内デモ機でプロセステストも対応　幅広く柔軟な...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、 従来ドライポンプでは不向きとされていた 凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの 吸引を含むハードプロセスにおいても 安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、 ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ、...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水封式真空ポンプ　SWシリーズ

あらゆるガスの排気に対応する神港精機の水封式真空ポンプ

豊富な販売実績を持つスタンダードモデルです。 他方式ではトラブルの基となる様々なガスを 封水でシールすることにより安定して排気します。 ◆水封式真空ポンプは、 水でシールすることで 凝縮性ガスや引火性ガスの 排気も可能にします。 ◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、 多少の粉塵では止まりません。 ◆腐食性ガスが混入する用途では、 ステンレス等の耐食性に優れる材質の選定も可能です。 ◆二段...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

封液循環型　水封式真空ポンプ　SW-S/AS-Cシリーズ

有害物の流出を防ぐ封液循環型の水封式真空ポンプ

有害ガスが封液に溶解して排水されることを防ぐため、 封液を直接流出させずに循環させる 「封液循環型」の水封式真空ポンプです。 排水処理でお困りの場合に適しています。 ◆水封式真空ポンプと気水分離タンク、 熱交換器で構成されており、 コンパクトにユニット化しました。 ◆腐食性ガスが混入する用途では、 ステンレス（SUS316相当）等の 耐食性に優れる材質への選定も可能です。 ◆軸封部はグランド...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

油拡散ポンプ『SD、SDBシリーズ』

長年の使用に耐える堅牢な構造で高速排気！多くの実績を誇る油拡散ポンプ！

『SD、SDBシリーズ』は、冶金・素材関係で非常に多くの実績を誇る 油拡散ポンプです。 長年の使用に耐える堅牢な構造で高速排気が大きな特長です。 薄膜形成装置・冶金関係・化学関係など多くの用途で信頼を得て...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

油回転真空ポンプ　SR/SRPシリーズ

圧倒的な堅牢性を誇る油回転真空ポンプ

過酷な現場を含め、 幅広い用途で生き残ってきたロングセラー商品です。 高い耐久性により多くのユーザーから信頼を得ております。 ◆過酷な現場での使用実績が豊富で 耐久性に優れる油回転真空ポンプです。 ◆安定して低い圧力が得られます。 ◆シンプルな構造で故障が少ないです。 ◆標準装備のガスバラスト弁により、 微量の水蒸気でしたら排気が出来ます。...オプション品： オイルミストトラップにより ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【耐食性】水封式真空ポンプ　SW-ASシリーズ（ステンレス製）

耐食性に優れるステンレス製（SUS316相当）の水封式真空ポンプ

腐食性ガスを吸引するプロセスでは、 接ガス部に耐食性材質を採用することで、 故障を低減できます。 ◆耐食性材質としてグレードの高い SCS14（SUS316）のステンレスで製造します。 ◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。 ◆Oリングやメカニカルシールの材質変更も可能です。 ◆同じ型式であれば鉄製のポンプとも取り合いが同じため、 配管工事不要で、既設機からの置き換え...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【化学業界向け】ドライ真空ポンプ

水封式真空ポンプからの置換えに適したタフなドライ真空ポンプ

SST/SSXシリーズに、 オプションのクリーニングセット、 シールパージセットを付属し、 ケミカルプロセスに適した カスタマイズとなります。 吸引物の量・性質や運用方法に応じて オプション品のヒータセットや 追加ド...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

マルチチャンバスパッタリング装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…

標準仕様では対応の困難な各種用途・基板に積極対応。 Ｒ＆Ｄ・ディスクリート・化合物・ＭＥＭＳ・パッケージ・実装工程・マスク・小型ＦＰＤ　多くの基板に専用機構を用意。 基板のトレイ搬送も標準対応、大気側の基板ハンドリングで異種基板の同一装置での成膜・処理を実現。 各用途専用カソード（ワイドエロージョン・強磁性体・酸化物・リアクティブ用）に加え特殊基板機構（高温加熱・磁場印加・冷却等）で幅広い用...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

研究開発用スパッタリング装置

コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…

少量生産対応可能な上位機種の能力を手動操作型の簡易実験機で実現 ８インチ対応の多元高周波スパッタリング装置。高速排気と高いプロセス性能によりＭＥＭＳ・化合物半導体・電子デバイスの基礎研究に対応 電子部品の量産対応実績を持つバッチタイプスパッタリング装置シリーズ

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

研究開発用真空蒸着装置

目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。

『研究開発用真空蒸着装置』は、 大学・公的研究機関や基礎実験用に適した小型蒸着装置シリーズです。 コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型と全手動で抵抗加熱源を 基本構成とした簡易実験型の2機種をラインアップしています。 両機種（前扉型・簡易実験型）とも目的・コストに合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ポンプの特性と材質によってパーティクルや塩素系ガスの排気に実績豊富なシステム。 豊富なポンプの組み合わせによって幅広い要求に対応。 成膜前の粗引排気にラフプロセス用ドライ真空ポンプ（SSHシリーズ）を使用する事でさらに信頼性の高いシステムにグレードアップ。圧力調整機構を含めた排気システムとして提案可能。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

多目的スパッタリング装置

研究開発から量産までサポート！

信頼性の高い標準型のハードウェアと豊富な実績に支えられ、神港精機は1967年に1号機を世に送り出して以来、多くの分野で活躍しています。柔軟で先進的なソフトウェアにより常に最先端を切り開く最新型の装置の装置を提供しています。...【特長】 ●金属・合金・絶縁膜など広範囲な材料や反応性成膜の形成が可能です。 ●基板固定での高速成膜や、基板回転での大面積成膜が可能です。 ●タッチパネルによる操作性...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

Φ300mm基板対応　ロードロック式スパッタリング装置　

大型基板の自動搬送に対応し、研究開発～量産までの応用が可能な装置です。…

大型基板の自動搬送に対応したロードロック式スパッタリング装置です。 【主な特長】 ・Φ300mmを例とする大口径基板のベア搬送が可能 　（角基板の対応も可能です。） ・独自設計のカソード機構により、汎用ターゲットサイズでの 　広範囲膜厚分布を確保 ・ターゲット交換、成膜室の点検/補修が容易なチャンバー構造 ・将来的なプロセス室の増設も可能 ・独自の緻密膜形成ユニットをオプション...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

先端薄膜プロセス開発・少量生産専用の低コスト型マルチチャンバスパッタリング装置。 膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応 Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種プロセスに実績 蒸着・アニール・ＣＶＤなどの異種プロセス室も装備可能で実績のあるメインフレーム（搬送システム）に各プロセス室を自由に...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【化学業界向け】水封式真空ポンプ（ステンレス製）

ステンレス製（SUS316相当）の水封式真空ポンプで腐食性ガスへ対応

ケミカルプロセスでは、 腐食性を含んだ様々なガスを吸引します。 接ガス部にステンレス（SUS316相当）を用いることで、 通常の鉄製に比べ格段に耐食性に優れる 水封式真空ポンプとなります。 ◆蒸留、乾燥、反応用途などで数多くの実績があります。 ◆接ガス部は耐食性材質として、 グレードの高いSCS14（SUS316）のステンレスのため、 腐食性ガスの吸引も可能です。 ◆粉体・凝縮性ガス・引火...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【真空焼結炉向け】ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）

油回転真空ポンプからの置き換えに最適なドライポンプ

SST/SSXシリーズにオプション品のクリーニングセット、 シールパージガスセットを付属することで 真空焼結炉に適したカスタマイズとなります。 バインダーの量や運用方法次第では、 オプション品のヒータセットや 追加ド...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店