メタルマスク | イプロスものづくり

PRG１～G６ｈの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…

当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流支援まで幅広く手掛けています。また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネルディスプレイ用（LCD・OLED）フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの先端分野...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ディー・アール・エス（DRS)

速乾で仕上りキレイな洗浄剤『アサヒクリンＡＥ‐３０００シリーズ』

PRモノづくりで重要な洗浄工程でお困りの方に朗報！乾燥時間の短縮、乾燥温度…

オゾン破壊係数0！不燃性で乾燥性のよいフッ素系の溶剤です。 ★次の問題は、AE-3000 / AE-3100Eで解決！・乾燥や冷却に時間がかかる・乾燥シミが残って歩留まりが下がる・商品が錆びる・廃液が多い・可燃物の使用量が多い・水シミが残って美観が損なわれる・効率よく水分除去できる乾燥工程がほしい【特　長】・乾燥性：適度な沸点で蒸発潜熱が小さく乾燥性に...

メーカー・取り扱い企業：ＡＧＣ株式会社化学品カンパニー

よくわかる！ガラスマスク・スクリーンマスク・メタルマスクの基礎

＜半導体関連マスク‐基本資料公開＞部署異動や転職で、はじめて各種マスク…

竹田東京プロセスサービスファインプロセス本部では、プリント基板や電子部品の電子回路形成用として使用されるフォトマスク（ガラスマスク）、スクリーンマスク、メタルマスクを、短納期かつ低価格でご提供しております。万全の生産体制で高精度かつ高品質なマスクでお客様の多様なニーズにお応えします！本資料は、当社ならではの視点で『ガラスマスク・スクリーンマスク・メ...

メーカー・取り扱い企業：竹田東京プロセスサービス株式会社湘南藤沢センター、北陸センター、テクノセンター

【技術情報】「メタルマスクの価格」について徹底解説

条件が合致すればコストダウンも可能！メタルマスク部材の状況と当社での取…

当コラムでは、メタルマスク部材の状況と当社での取り組みをご紹介しています。昨今、原材料の高騰による値上げが各所で騒がれており、メタルマスク部材も多聞に漏れず高騰しておりますが、当社は値上げを現状では考えており...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メイコーテクノ

メタルマスク製品カタログ

多彩なメタルマスクを社内製作で提供！メタルマスク製品を多数掲載※無料進…

『メタルマスク製品カタログ』は、電子部品実装用メタルマスク、半導体パッケージ用精密版、ディスプレイ用マスクの開発・製造・販売を行っている、プロセス・ラボ・ミクロンの製品カタログです。高アスペク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プロセス・ラボ・ミクロン

メタルマスク・レーザー加工装置『T11-Hp/Sp』

加工不良を撲滅する検査機能付！低価格と高速加工を実現したメタルマスク加…

ダイナトロンの『T11-Hp/Sp』は、地球環境に配慮した、 メタルマスク・レーザー加工装置です。オンボードスキャニングで開口加工毎にデータと比較検査と自動再加工を実現。加工不良を撲滅します。アシストガスに圧縮空気を使用しており、冷却水、酸素ガスが...

メーカー・取り扱い企業：ダイナトロン株式会社

着脱式メタルマスク『疾風』

専用保管BOXでコンパクト収納！両面セット収納で最大1/8のスペース削…

当社では、独自の内部機構により、長時間安定したテンションを維持できる着脱式メタルマスク『疾風』を取り使っております。ワンタッチで簡単着脱、段取り替え時間ロスを可能な限り低減しました。また、作業者によるバラツキもありません。【特長】 ■専用保管BOXでコンパク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メイコーテクノ

『SMT実装用メタルマスク』

豊富な種類で多用途に対応するメタルマスク！短納期対応が可能なタイプも

『SMT実装用メタルマスク』は汎用大開口、高信頼実装、高密度実装など幅広い印刷用途に対応します。エッジングメタルマスクをはじめ、PHメタルマスクやSHGメタルマスクなど豊富な種類を取り揃え、用途に最適なメ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プロセス・ラボ・ミクロン

メタルマスク『レーザーメタルマスク』

高精度・高細密のハンダ印刷が可能！フレキシブルな生産対応・納期対応！

『レーザーメタルマスク』は、ご要望の形状に合わせてレーザー加工された高精度メタルマスクです。プリント基板等への安定した高精度なハンダ印刷を実現します。レーザー加工機でのSUS材直接加工のため、フィルムは不...

メーカー・取り扱い企業：アサヒテック株式会社

【メタルマスク】実装用治具

部品熱ダメージ保護や部品浮き防止などに！実装用の治具についてご紹介しま…

株式会社メイコーテクノでは『実装用治具』を取り扱っております。異形状、薄物、フレキ搬送や個片基板面付け化などの用途にご使用いただける「搬送キャリア」をはじめ、メタルマスクと同時発注可能な「バックアップブロック」や「フローパレット」などを各種ご用意。用途に合わせてお選びいただけます。【ラインアップ】 ■搬送キャリア　・レジンキャリア／マグネットキャリア...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メイコーテクノ

【メタルマスク特殊加工】スーパーファイン処理

レーザー加工メタルマスクの開口壁面の凹凸を平滑にするスーパーファイン処…

当社の特殊加工『スーパーファイン処理』のご紹介です。当社では、レーザー加工メタルマスクの開口壁面の凹凸を平滑にするスーパーファイン処理を行っております。この加工を施すことで、従来のメタルマスクと比較し、クリーム半田の抜け性が良くなります。そのため、版のニジミも低減...

メーカー・取り扱い企業：大伸産業株式会社

ソノコム　メタルマスク

ソノコム社製のメタルマスクをご紹介！仕様やオプションなどを掲載

当資料では、中部工営が取扱っているソノコム社製の『メタルマスク』をご紹介しています。高密度実装向けに対応する「レーザーメタルマスク」をはじめ、抜群の板厚精度と寸法精度を実現した「アディティブメタルマスク」などをラインアップ。その...

メーカー・取り扱い企業：中部工営株式会社

【高効率量産向け】微細高密度混載実装印刷用メタルマスク

【展示会にてサンプル展示予定】プリント基板との版離れ性が向上！有機溶剤…

『ecoface』は、SUSのプリント面、開口壁面に、ディンプルを形成したメタルマスクです。スムーズな版離れを実現することで、面内におけるはんだ体積のバラツキを抑制することが期待できます。【特長】 ■特殊な表面によりプリント基板との版離れ性が向上 ■有機溶剤、アルカリ耐性が...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プロセス・ラボ・ミクロン

SHGメタルマスク【極小部品での連続印刷時のばらつきを軽減！】

極小部品での連続印刷時のばらつきを軽減！特性向上も期待できるメタルマス…

『SHGメタルマスク』は極小部品、高アスペクト開口での連続印刷時のばらつきを低減します。開口壁面の平滑化、開口エッジの鋭化により微小部品での高アスペクト印刷が可能。各種コーティングオプションとの併用により、さらなる...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プロセス・ラボ・ミクロン

メタルマスク特殊加工・実装関連製品のご紹介

当社で行っているメタルマスクへの特殊加工や、実装関連製品をそれぞれ掲載…

当カタログでは、大伸産業株式会社で行うメタルマスクへの特殊加工や、実装関連商品を多数掲載しております。 メタルマスクへの特殊加工では「スーパーファイン処理」や「チタンコート処理」「ハーフエッチング処理」をご紹介。実装関連製...

メーカー・取り扱い企業：大伸産業株式会社

メタルマスクはんだ飛散防止ユニット『LMC-SAM1』

エアー＆バキュームでクリーン環境へ！メタルマスクは機器に置くだけで簡単…

『LMC-SAM1』は、開口部の付着はんだを大気中に飛散させず回収する メタルマスクはんだ飛散防止ユニットです。機器操作は足踏みSWで簡単操作。下面からのLED照射で開口部が鮮明にご覧いただけます。また、メタルマスクは機器に置くだけで簡単にセット可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ルックス電子

レーザーメタルマスク【業界最安の9,800円】

・一般的なメタルマスクの費用の約1/3で製作！・レーザー加工による…

」はプリント基板の試作製造に携わって約30年の経験を持つプリント基板の老舗です。現在では設計から基板製造、部品調達、部品実装、ハーネス加工まで、ワンストップ基板サービスも承っております。 メタルマスクについては国内外の信頼のおける専門工場と提携、更には独自流通システムの構築によって大幅なコストダウンを実現しました。枠付きのレーザーメタルマスクが9800円という価格は業界でもまだ例がなく、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東和テック

メタルマスク判定機『LMJ-SAM3-T』

目視から画像・テンション管理で品質向上に貢献！

『LMJ-SAM３-T』は、マスク洗浄結果の自動判定が可能な メタルマスク判定機です。機種切替直後の不良率を低減。また、クリーニング後の目詰まり、異物付着を自動で判定します。その他にも、ガーバーデータとの比較によるマスク加工精度の自動判定やメタ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ルックス電子

メタルマスク加工サービス

土曜日も出荷可能！メタルマスクのことなら当社にお任せください

当社のメタルマスクは全てファイバーレーザーにて加工しております。レーザー加工にてメタルマスクの開口壁面の凹凸を平滑にするスーパーファイン処理や、同一版の中で部品によってクリーム半田量を減らしたい時 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社イトウプリント

高性能　はんだ印刷用メタルマスク　ＰＲＯマスク／ナノマスク

実装不良率シングルＰＰＭ～実装不良率０％を実現する為のメタルマスク

量産での不良率削減に大きな効果を発揮！極小部品のはんだ量を安定化、高アスペクト印刷を実現します。 ●高密度実装　●微細部品実装 ●試作～量産まで部品実装工程の信頼性確保に...【特徴】 ■極小部品のはんだ量を安定化、高アスペクト印刷を実現 ■量産での不良率低減（はんだボール、ショート、未はんだを低減） ■混載基板のはんだ量バラつき低減 ■はっ水性：はんだ抜け性を向上させるために撥水...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プロセス・ラボ・ミクロン

半自動メタルマスク製版装置『CombiMaster』

製版作業の半自動化で生産性アップ、生産コスト削減。専用接着シールは低環…

半自動メタルマスク製版装置『CombiMaster』は、製版作業時に接着剤を手作業で塗る工程を半自動化でき、生産性の向上、省力化・省人化に貢献する製品です。専用接着シールにより、洗浄耐久性の向上に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MkFFJapan

メタルマスクにおける電解研磨加工

クリームハンダの抜け性を向上！品質問題の解決と品質UPをサポート致しま…

『メタルマスクにおける電解研磨加工』についてご紹介します。開口加工後のSUSプレートに電解研磨処理を施すことによって、開口内壁の凹凸を平滑化することが可能。この処理により、 0.4mmピッチの...

メーカー・取り扱い企業：東海神栄電子工業株式会社

マイクロ半田ボール配列用メタルマスク

B層は基板との密着性が高く、デザインによっては更に密着性を増すことも可…

『マイクロ半田ボール配列用メタルマスク』は、基板と半導体パッケージの接続に必要な、半田バンプ形成に使用される半田ボール配列用のマスクです。マイクロ半田ボールは従来の半田ペースト印刷によるバンプ形成より、より高密度...

メーカー・取り扱い企業：アサヒテック株式会社

メタルマスクの洗浄後検査の課題解決

「洗浄後の検査」が課題となっていた課題解決事例をご紹介します！

『メタルマスク判定機』を活用したプリント基板実装のお困りごと解決事例をご紹介します。「洗浄後の検査」が課題となっており、メタルマスクの洗浄後の検査を目視で行っていました。また、機種切替が多いと...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ルックス電子

リワークマスク洗浄ツール　RMC　Series

マスク開口部にはんだ残っていませんか？ BGA・CSPリワークなどで…

ク用マスクとSMT印刷機兼用での使用が可能です。特にリワーク作業で使用する、小型マスクは小型ながら洗浄が大変な作業でした。リワークマスク洗浄ツール　RMC　Seriesなら、簡単にメタルマスク洗浄を行なうことが可能です。是非一度お試しください。 ...

メーカー・取り扱い企業：メイショウ株式会社

スクリーン版/メタルマスク版　洗浄装置

スクリーン版／メタルマスク版を壊さない臭いを漏らさない環境と人…

１．スクリーン版／メタルマスク版の性能維持版の金属枠とマスクの接着部分に洗浄液がかからないため、テンションが緩む事象および接着部分剥がれを回避。２．臭いの漏えい防止部分洗浄方式により、洗浄～乾燥の全ての工程で...

メーカー・取り扱い企業：沖電気工業株式会社 EMS事業部

【メタルマスク】サン工芸オリジナル着脱枠システム

特許取得済み！メタルマスクの取付け、取外しがワンタッチに行えるサン工芸…

1本の簡単操作で、メタルプレートと枠の着脱が行えるオリジナルの『着脱枠システム』を取り扱っております。実装は印刷が最も重要な工程です。印刷工程の中でも大きなファクターを占めるのがメタルマスクです。優れた特殊機構の採用で、均一で安定したテンションを得ることを実現。マスクテンションは任意に変更することができ、常に適切なテンションにて印刷が実現します。また、着脱枠はレンタ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サン工芸

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の表面処理などの特殊プロセスにも積極対応いたします。独自のチャンバ内構造により抵パーティクルのメタルエッチング (nmレベル)を実現しており、高い歩留りと稼働率が特長です。【特長】 ■nmレベ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

LPKF レーザー加工機『StencilLaser G6080』

メタルマスクレーザー加工機

メタルマスクの開口サイズはより小型化し、はんだペーストの印刷はますます高精度になっています。これはステンシル技術の発展の賜物だと言えるでしょう。速度、精度、安全性、そして、イニシャル及びランニングコストで優位性を実現した、LPKFステンシルレーザーG6080は業界のリーダーシップを担ってくメタルマスクレーザー加工機です。 LPKFステンシルレーザーG6080 は、高品質を保持したまま最小コストで高...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ブルックスジャパン

メタルマスク

お客様から評価される高精度メタルマスク開口技術

当社では、高精度のレーザー加工技術で、高度化・多様化する企業のニーズにお応えしております。マシンスペックだけでなく、独自の研磨技術でキレイな壁面を実現。他社が高品位マスクと呼ぶ品質レベルを、当社では標準でご提供させていただいています。【特長】 ■開発から出荷まで一気通貫 ■短納期に自信あり ■匠の技を持つスタッフ ■伝統で実績とニーズにお応え ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業：株式会社タク技研本社

インテリジェントマスクラック

イレクター互換スペーシアパイプ激安メタルマスク収納棚の販売

レール幅を変更することであらゆるサイズのマスクを収納できます。 650×550のメタルマスクを78枚(標準）収納できます。タク技研様スペースマスクもOKです。（オプション）御要望に応じてカスタマイズいたしますので、お気軽にお問い合わせお願い致します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社実装応援団

【メタルマスク】製品ラインナップ（メイコーテクノ）

ファインピッチ部品や小サイズ部品に対応！はんだのばらつきを抑制する製品…

株式会社メイコーテクノの取り扱う『メタルマスク製品』についてご紹介します。ファイバーレーザーによる安定したカット品質を誇る「Meiko Laser」をはじめ、開口部壁面を平滑化させることによりはんだの抜け性が向上した「Super F...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メイコーテクノ

【自動開口変換機能搭載】ステンシルCAM

部品実装会社様・EMSメーカー様必見！メタルマスクデータ編集システムの…

『ステンシルCAM』は、メタルマスクの形状作成・補正に特化したガーバー編集システムです。 メタルマスク形状を自在に編集して実装品質向上に貢献。国内のメタルマスク製造会社の7割で導入実績があります。編集を自社で...

メーカー・取り扱い企業：ダイナトロン株式会社

株式会社ボンマーク『メタルマスク』技術紹介

極小サイズチップの0402チップ・BGA＆CSP等の100μmの狭ピッ…

当社では、BGA＆CSPのバンプ成形印刷まで可能なマスクを供給できる『メタルマスク』製造技術を取り扱っております。次世代極小サイズチップの0402チップ、BGA＆CSP等の100μmの狭ピッチに対応可能なマスクをご提案致します。ご要望の際は、お気軽にお問合せく...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ボンマーク本社

【メタルマスク特殊加工】ハーフエッチング処理

スキージ面に任意の深さで、段掘りをする事により自由自在に調整できます！

当社の特殊加工『ハーフエッチング処理』のご紹介です。ハーフエッチング処理とは、同一版の中で部品によってクリーム半田量を減らしたい時にスキージ面に任意の深さで、段掘りをする事により自由自在に調整できます。また、金端子部等に版のにじみによる半田付着を防ぎたい際、マスク裏面にハーフ加工されると有効です。【特長】 ■位置精度：±0.05mm ■ハーフエッチング部板厚...

メーカー・取り扱い企業：大伸産業株式会社

超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ，ポリマーパーツ

アスペクト比100も可能。高精度･高アスペクト比のマイクロパーツ，サブ…

LIGAプロセスは，高アスペクト比を持つ微細構造製造のための複合プロセスです。 X線リソグラフィと電鋳により，金属やポリマーの微細構造体を高精度，高アスペクト比(100程度)，滑らかな側壁(<50 nm)，自由な横方向形状を持つメタル構造，レジスト構造を実現します。応用例･タルボ干渉計向けのX線回折格子 (日本を含め世界各国の研究所，産業界に導入) ･X線集光レンズ (放射光施設向...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ASICON

【メタルマスク】壁面平滑、開口エッジ鋭角化処理　UF

開口部壁面をより平滑に！

開口部エッジをシャープにすることにより、はんだ量のバラつきを制御！【最大メタルサイズ】600×700 【開口公差】±10μ 【板厚公差】±5μ 【材質】SUS304 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。...※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メイコーテクノ

はんだペースト印刷機『TD-4420』＆バンピングサービス

電子デバイスメーカー必見！印刷精度±10μmの狭小、狭ピッチ対応のはん…

ことで幅広い印刷ニーズに対して好適な印刷条件をご提供します。 ●コンタクト印刷とオフコンタクト印刷を組み合わせた"ハイブリッドスキージング"の実現によりスクリーン印刷の限界に挑戦します。 ●メタルマスククリーナーにはドライ・ウェット両方式を搭載し、粒子とフラックスを完全に自動除去します。 ●バンピングサービス、洗浄サービスはクラス10,000のクリーンルーム内で実施します。　（主要設...

メーカー・取り扱い企業：谷電機工業株式会社

【課題解決資料】フォトマスクのお悩みを解決する表面加工

＜加工サンプル無料貸出対応＞フォトマスク清掃に時間がかかる…CCDカメ…

セラミック、各種金属など）［当社について］竹田東京プロセスサービスファインプロセス本部では、高い品質と精度のキャリブレーションプレート、フォトマスク（ガラスマスク）、スクリーンマスク、メタルマスクを、短納期かつ低価格でご提供しております。半導体関連のマスク製品にお困りの際は、ぜひ当社へお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：竹田東京プロセスサービス株式会社湘南藤沢センター、北陸センター、テクノセンター

SMTクリームハンダ印刷用プラスチックマスク

0603サイズ部品、BGA/CSP部品の実装品質向上に最適です。

SMTクリームハンダ印刷用マスクは、メタルマスクと呼ばれる、ステンレス製が主流ですが、弊社ではこれをプラスチックで作成しております。プラスチックにすることにより、・目詰まりしにくい、高いはんだの抜け性を実現。・基板への良好な密着性で、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トミサワ

『アディティブマスク』

メタル厚を自由に選択！従来の印刷法では難しい工程のスクリーン印刷が可能…

で、SMT用途以外にドット印刷、スルーホール印刷など従来の印刷法では難しい工程のスクリーン印刷が可能になります。当社ではこのほか、位置精度が高く大型の高密度基板に適した『レーザーメタルマスク』も取扱っています。【特長】 ■ファインピッチQFP対応が可能 ■ソルダーペーストの抜け性が高い ■フラットでなめらかな断面形状 ■任意の板圧指定が可能 ※詳しくはPDF資...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ボンマーク本社

【技術資料】マイクロブラスト加工の基本＆ガラスマスクへの活用事例

ガラス、シリコン、セラミック、各種金属へ高精度な微細加工を実現するマイ…

［当社について］竹田東京プロセスサービでは、高い品質と精度のキャリブレーションプレート、フォトマスク（ガラスマスク）、スクリーンマスク、メタルマスクを、短納期かつ低価格でご提供しております。半導体関連のマスク製品にお困りの際は、ぜひ当社へお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：竹田東京プロセスサービス株式会社湘南藤沢センター、北陸センター、テクノセンター

伸光写真サービス　工業用精密マスク特長

長年の技術を生かし、さまざまな工業用マスクを幅広く提供しております

現在はプリント基板の製造が中心の伸光写真サービス株式会社ですが、その淵減は、工業用精密写真の製造です、創立以来培った長年の技術を生かし、さまざまな工業用マスクを製造しています。現在の精密写真は従来の銀塩カメラによる撮影からCAD入力・レーザープロッター出力による作画方式に変わりました。伸光写真サービス株式会社は、フォトマスクのメーカーとして長年にわたる技術を生かし、プリント基板用マスク、電子精密部...

メーカー・取り扱い企業：伸光写真サービス株式会社

５スワイプでわかる！フォトマスクの基本　※基礎知識資料進呈

とりあえず、これ！たった5スワイプで理解できる！フォトマスク初心者…

説明資料がほしい… ◆異動してきたばかりで情報収集したい… ◆今更基本的なことは社内で聞きづらい… ［当社について］高い品質と精度のフォトマスク（ガラスマスク）、スクリーンマスク、メタルマスクを、短納期かつ低価格でご提供しております。半導体関連のマスク製品にお困りの際は、ぜひ当社へお問い合わせください。 ※本資料は「PDFダウンロード」よりご覧いただけます。 ※その他ご不...

メーカー・取り扱い企業：竹田東京プロセスサービス株式会社湘南藤沢センター、北陸センター、テクノセンター

『Chip On Boardマスク』

高密度化対応！フリーアングルの凸形状がスキージ方向の実装を可能に！

『Chip On Boardマスク』は、すでに基板に部品が実装されていたり、表面に凹凸があるプリント基板のソルダーペースト印刷用に開発された メタルマスクです。実装済部品や凸部の位置と形状に合わせてマスクにも凸部を形成し、実装済み部品を保護する目的で使用されます。当社のCOBメタルマスクの素材は特殊Ni合金で、靭性を向上させて...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ボンマーク本社

はんだペースト印刷機【多彩な印刷形態を実現！】

圧入方式だからできる多彩な印刷形態を実現した、はんだペースト印刷機！ …

全量自動回収するためマスク上にはんだペーストは残りません。 ●コンタクト印刷とオフコンタクト印刷を組み合わせた”ハイブリッドスキージング”により様々な印刷ニーズに対応可能です。２．メタルマスククリーナーの特長(ＤＲＹ＆ＷＥＴ） ●マスクの表裏両面から強くコンタクトできるサンドイッチ構造により安定したクリーニング効果を実現します。 ●ＷＥＴクリーナーはマスク開口内のはんだ粒子・...

メーカー・取り扱い企業：谷電機工業株式会社

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

新開発プラズマ源HCｄ（ホローカソード放電）型電極搭載。無磁場・無アンテナのシンプルなk構造で従来型電極より一桁高いプラズマを密度を実現。独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくＣｕ薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。３００ｍｍウェハや積層基板、最大１ｍ□までの基板のメ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店