• 磁気式リニアスケール マグラインシリーズの総合カタログ 製品画像

    磁気式リニアスケール マグラインシリーズの総合カタログ

    汎用のオプティカル・エンコーダに劣らぬ精度を容易に得る事ができる、磁気…

    マグラインシリーズは磁石のN・S極をあらかじめ決められたピッチでマグテープの上に着磁します。 これによって生じた磁場の変化を検出ヘッドに内蔵された磁気抵抗素子が精密に測定し、サイン・コサイン状に変化するアナログ電圧信号に変換します。 ベクトル追従原理(インターポレータ)を応用したLSIの中のコンバータで任意の分解能のディジタル信号を得ることが出来ます。 センサとマグテープの間のギャップは着磁...

    メーカー・取り扱い企業: サンテスト株式会社

  • CMOSトライリニアカメラ『SW-4000TL-10GE』 製品画像

    CMOSトライリニアカメラ『SW-4000TL-10GE』

    小型・低消費電力!ハイスピードCMOSトライリニアカメラのご紹介

    『SW-4000TL-10GE』は、4Kトライリニア式カラーライン スキャンカメラの新製品です。 汎用性のあるGigE Visionインタフェースを採用。 ホストPCやネットワークに応じて速度の調整が可能です。 ほかにも基本機能として、ゲインコントロール、黒レベル補正、 マニュアル/自動ホワイトバランス調整、シェーディング補正、 PRNU/DSNU補正、タイムスタンプ機能を搭載...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェイエイアイコーポレーション

  • リニアアンプDC/ACサーボドライバ 製品画像

    リニアアンプDC/ACサーボドライバ

    移動距離数十ミリ程度の位置決めに適したリニアモータを高速移動と超精密位…

    ・通常偏差カウンタに溜まりを持たない為、指令パルスとエンコーダパルス(追従)が一致し、指令パターンと追従パターンとの移相遅れがありません。(Phase-Locked Loop) ・2軸ドライバの相関関係を正確にトレースできます。 ・微量遅りにも即応性を発揮します。 ・サンプリング制御をしていないので非常に高速応答です。 ・4MPPS maxと高速ですので、高分解能エンコーダに対応できます。...

    メーカー・取り扱い企業: サーボテクノ株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 昇降タイプ 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 昇降タイプ

    【真空対応】リニアエンコーダ内蔵で10nm分解能のZ軸用位置決めステー…

    光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 10nm分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を用意。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置) 製品画像

    1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

    リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm

    光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストローク...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-3150X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-3150X/XY

    【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-1020X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-1020X/XY

    【エンコーダ内蔵】高分解能かつストロークが長い位置決めステージ

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY  製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY

    【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れてお...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • Z軸用10nmステージ FS-1005PZ/1010PZ 製品画像

    Z軸用10nmステージ FS-1005PZ/1010PZ

    【昇降ステージ】リニアエンコーダ内蔵により10nmの高分解能・高い位置…

    光学式リニアエンコーダを内蔵した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 独自の設計により、Z軸にありがち...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 総合フィードバックステージシステムカタログ(大気・真空)第5版 製品画像

    総合フィードバックステージシステムカタログ(大気・真空)第5版

    リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステ…

    シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 (フィードバックステージシステム)の総合カタログ。 フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応1nmフィードバックステージシステム 製品画像

    真空対応1nmフィードバックステージシステム

    リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm…

    光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージシステム 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージシステム

    真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により10nm…

    ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用し...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • スタンドアロン超音波金属接合装置『UB500SA』 製品画像

    スタンドアロン超音波金属接合装置『UB500SA』

    生産現場や開発現場に配置し易くコンパクト!充実したプロセスモニタリング…

    『UB500SA』は、生産現場や開発現場に配置し易いコンパクトな スタンドアロン超音波金属接合装置です。 接合ヘッド内蔵のリニアエンコーダとリジッドクランプにより高剛性の 超音波ホーンユニットで接合部の位置を正確に制御。 また、低摺動加圧機構による広いダイナミックレンジを実現し、接合時の 変形に高い追従性を持ち、接合進...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アドウェルズ

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY

    【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作

    【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステー…

    アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作

    【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性…

    アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めが...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY 製品画像

    5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

    【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V) 製品画像

    真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

    [1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ

    アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が1台でできます。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等な特徴を備えています。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボール...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY

    【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れていま...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 精密フォトエッチング加工:SUS・銅等~独自材料のエッチング 製品画像

    精密フォトエッチング加工:SUS・銅等~独自材料のエッチング

    フォトエッチング技術 や独自材料を用いた高精細ハイブリッドエッチングで…

    フォトエッチング加工では、写真製版プロセス+エッチング液の 溶解作用により金属薄板を任意の形状に加工します。 プレス加工のようなバリや加工硬化が無く、 ミクロン単位の微細パターンも可能。 エッチングは精密部品の製造に適しています。 独自技術のハイブリッドエッチングでは、ニッケルクッラッド材を エッチング+電鋳加工の融合技術で加工し、高精細形状を実現。 複合加工(曲げ、成形...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社メルテック 本社工場

  • 真空対応5nmフィードバックステージ 20mm動作 製品画像

    真空対応5nmフィードバックステージ 20mm動作

    真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…

    位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY 製品画像

    5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

    【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • スダレタイプABZ相出力MR 製品画像

    スダレタイプABZ相出力MR

    スダレタイプABZ相出力MR

    Z相付ロータリ・リニアエンコーダ用途、スダレタイプABZ相出力MRです。 【特長】 ・ A,B相フルブリッジ出力。 ・ 多極磁石(λ=200μm)の移動を非接触で検出。 ・ 高調波歪み対策による高精度正弦波出力。...

    メーカー・取り扱い企業: 浜松光電株式会社 営業部東京事務所

  • スダレタイプABZ相出力MR 製品画像

    スダレタイプABZ相出力MR

    スダレタイプABZ相出力MR

    Z相付ロータリ・リニアエンコーダ用途、スダレタイプABZ相出力MRです。 【特長】 ・ A,B相フルブリッジ出力。 ・ フルブリッジパターンにより耐ノイズ性良好。 ・ 応答速度が速い(200kHz) ・ 低磁界...

    メーカー・取り扱い企業: 浜松光電株式会社 営業部東京事務所

  • モールドスダレタイプAB相出力MR 製品画像

    モールドスダレタイプAB相出力MR

    モールドスダレタイプAB相出力MR

    ロータリ・リニアエンコーダ用途、モールドスダレタイプAB相出力MRです。 【特長】 ・ 超薄型リードレスパッケージ。 ・ A, B相フルブリッジ出力。 ・ 多極磁石(λ=400μm)の移動を非接触で検出。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 浜松光電株式会社 営業部東京事務所

  • 超音波金属接合装置『UB1800SA』 製品画像

    超音波金属接合装置『UB1800SA』

    同種金属の接合に加えて、溶接では困難な異種金属の接合が可能です!

    充実したプロセスモニタリング機能を搭載しており、装置に内蔵された 各種センサ情報により、プロセス動作を詳細に把握でき、プロセス立ち上げ、 量産管理に有効。 また、接合ヘッド内蔵のリニアエンコーダとリジッドクランプにより 高剛性の超音波ホーンユニットで接合部の位置を正確に制御します。 【特長】 ■高剛性ホーンクランプ機構 ■高精度位置制御 ■高機能荷重制御 ■充実したプ...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アドウェルズ

  • 10nmフィードバックステージ FS-1100PX/XY 製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1100PX/XY

    【エンコーダ内蔵】10nm分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して位置検出誤差を少なくし、コントローラへ位置情報をフィードバックすることで高い分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 10nm 』...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-1100X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-1100X/XY

    【100mmストローク】ロングストロークかつ高分解能な位置決めステージ

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダで位置を検出してフィードバック制御を行っているため分解能・位置再現性・位置保持性に優れています。 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 直動案内機器 ナノリニア(R) NT…V 製品画像

    直動案内機器 ナノリニア(R) NT…V

    コストパフォーマンスに優れたスタンダードタイプ

    鋼製の可動テーブル部にマグネットと光学式リニアエンコーダ用スケール、鋼製のベッドに固定子コイル、リニアエンコーダ用ヘッドなどを配置した、機能美に優れたコンパクトなリニアモータテーブルです。...

    メーカー・取り扱い企業: 日本トムソン株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY  製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

    【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414

    50nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ

    サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-414はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応してい...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 40mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 40mm動作

    【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステ…

    アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114

    100nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ

    サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-114はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応してい...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • スリム型100nm分解能ステージ(40mm) 製品画像

    スリム型100nm分解能ステージ(40mm)

    エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ

    自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化 ...型式:FS-1040X(S) 分解能:100 nmまたは50 nm(内蔵スケール読み値) 再現性:±20...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージコントローラ FC-514 製品画像

    10nmフィードバックステージコントローラ FC-514

    10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載

    10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応していま...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411

    50nm分解能で位置決め!フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…

    サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージコントローラ FC-611 製品画像

    5nmフィードバックステージコントローラ FC-611

    検査や研究を効率化!5nm分解能で位置決め制御ができます。

    5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置) 製品画像

    10nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

    10nm分解能で位置決め!再現性に優れ、20~200mmストロークのス…

    ■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク 最大200mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置) 製品画像

    5nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

    5nm分解能で位置決め!再現性に優れ、可動距離がミリオーダー

    ■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより5nm分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク ボールねじ駆動のため最大50mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • ファウルハーバー社製:M1.2 x 0.25 x L1 製品画像

    ファウルハーバー社製:M1.2 x 0.25 x L1

    ステッパーモータに使用し、エンコーダ無しでリニアな位置決め制御を行えま…

    FAULHABER(ファウルハーバー)社製のリードスクリュー&オプション PRECIstep Technology、M1.2 x 0.25 x L1は、出力軸径 1.2 mm 、 ピッチ(mm) 0.25 のギアヘッドが組み込まれており精度(ピッチあたり:μm) < 0.5で駆動することが可能です。...M1.2 x 0.25 x L1 リードスクリュー&オプション PRECIstep Tech...

    メーカー・取り扱い企業: 新光電子株式会社

  • ファウルハーバー社製:M2 x 0.2 x L1 製品画像

    ファウルハーバー社製:M2 x 0.2 x L1

    ステッパーモータに使用し、エンコーダ無しでリニアな位置決め制御を行えま…

    FAULHABER(ファウルハーバー)社製のリードスクリュー&オプション PRECIstep Technology、M2 x 0.2 x L1は、出力軸径 2 mm 、 ピッチ(mm) 0.2 のギアヘッドが組み込まれており精度(ピッチあたり:μm) < 0.5で駆動することが可能です。...M2 x 0.2 x L1 リードスクリュー&オプション PRECIstep Technology ...

    メーカー・取り扱い企業: 新光電子株式会社

  • ファウルハーバー社製:M3 x 0.5 x L1 製品画像

    ファウルハーバー社製:M3 x 0.5 x L1

    ステッパーモータに使用し、エンコーダ無しでリニアな位置決め制御を行えま…

    FAULHABER(ファウルハーバー)社製のリードスクリュー&オプション PRECIstep Technology、M3 x 0.5 x L1は、出力軸径 3 mm 、 ピッチ(mm) 0.5 のギアヘッドが組み込まれており精度(ピッチあたり:μm) < 0.5で駆動することが可能です。...M3 x 0.5 x L1 リードスクリュー&オプション PRECIstep Technology ...

    メーカー・取り扱い企業: 新光電子株式会社

  • 真空対応サブミクロンフィードバックステージ 40mm動作 製品画像

    真空対応サブミクロンフィードバックステージ 40mm動作

    【真空で使える】エンコーダ内蔵の高分解能位置決めステージ

    内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れて...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム 製品画像

    真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム

    真空チャンバー内での位置決め用途に サブミクロン分解能で位置決め 可動…

    ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、サブミクロン分解能(0.1μm or 0.05μm)の再現性を実現した精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できま...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY 製品画像

    1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY

    【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

    光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

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